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公开(公告)号:CN116609872A
公开(公告)日:2023-08-18
申请号:CN202310148367.7
申请日:2023-02-14
Applicant: AGC株式会社
Abstract: 本发明涉及一种光学滤波器,具备基材和电介质多层膜,该电介质多层膜是低折射率膜与高折射率膜层叠而成的层叠体,上述低折射率膜和上述高折射率膜中的任一者的波长600nm处的消光系数k600为0.12以上且800~1570nm的波长区域的最小消光系数k800-1570MIN为0.01以下,或者自旋密度为5.0×1010(个/nm*cm2)以上,上述光学滤波器满足所有特定的光谱特性(ii-1)~(ii-3),上述高折射率膜是氧浓度的最小值为7~30atm%的硅膜。
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公开(公告)号:CN115685427A
公开(公告)日:2023-02-03
申请号:CN202210898048.3
申请日:2022-07-28
Applicant: AGC株式会社 , 日本真空光学株式会社
Abstract: 本发明涉及一种光学滤波器,具备基材以及在上述基材的至少一个主面侧层叠有低折射率膜和高折射率膜的电介质多层膜,上述电介质多层膜包含4层以上的膜厚为15nm以下的高折射率膜,上述高折射率膜的最小膜厚为1.5~5nm,最大膜厚为100nm以下,上述高折射率膜的波长600nm处的消光系数k600为0.12以上且800~1570nm处的最小消光系数k800-1570MIN为0.01以下、或者自旋密度为5.0×1010(个/(nm*cm2))以上,上述光学滤波器满足所有特定的分光特性(ii-1)~(ii-4)。
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