公开(公告)号：CN111379878B

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN201911233039.7

申请日：2019-12-05

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 广瀬泰久 ,  南谷隆弘 ,  西川桂一 ,  田中良典 ,  吉田尚史

IPC: F16K3/24 ,  F16K11/065 ,  F16K11/07 ,  F16K27/04

公开(公告)号：CN113446407A

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN202110324757.6

申请日：2021-03-26

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 铃木优子 ,  西川桂一

IPC: F16K1/22 ,  F16K31/04 ,  F16K37/00 ,  G01H17/00

Abstract: 本发明涉及蝶阀。提供了能够在抑制成本增加的同时准确地检测电动机处发生的异常振动的蝶阀。蝶阀(1)配设在具备压力传感器(35)的真空室(32)与真空泵(33)之间的配管(34)上，并且进行真空室(32)的压力控制，蝶阀(1)具备：伺服电动机(11)；蝶阀体(9)，其以连接于伺服电动机(11)的连杆(10)为中心沿开方向或者闭方向旋转；以及控制部(13)，其基于压力传感器(35)检测得到的真空室(32)的压力值来调整蝶阀体(9)的开度。控制部(13)具备异常振动检测程序(132a)，其至少在真空室(32)的压力值稳定的情况下基于在监视时间M1至M6内的蝶阀体(9)的开度的变动量来判断伺服电动机(11)处是否发生异常振动。