公开(公告)号：CN119234303A

公开(公告)日：2024-12-31

申请号：CN202380036419.X

申请日：2023-03-31

Applicant: CKD株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 铃木优子 ,  西川桂一 ,  吉田尚史 ,  吉村启佑 ,  片桐卓哉 ,  村上良

IPC: H01L21/683 ,  G05D23/19 ,  H01L21/3065

Abstract: 在循环后调温用流体的现在温度比第二温度T12更低的情况下，直到前述现在温度上升至比第二温度T12更低的既定的阈值(第三温度T13)为止，藉由指示比第二温度T12更高的温度(第四温度T14)的第一温度控制值C11，调整调温用流体的温度，以及，直到前述现在温度上升至阈值(第三温度T13)为止时，藉由指示与第二温度T12同样的温度的第二温度控制值C12，调整调温用流体的温度。

公开(公告)号：CN111379878B

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN201911233039.7

申请日：2019-12-05

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 广瀬泰久 ,  南谷隆弘 ,  西川桂一 ,  田中良典 ,  吉田尚史

IPC: F16K3/24 ,  F16K11/065 ,  F16K11/07 ,  F16K27/04

公开(公告)号：CN111379878A

公开(公告)日：2020-07-07

申请号：CN201911233039.7

申请日：2019-12-05

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 广瀬泰久 ,  南谷隆弘 ,  西川桂一 ,  田中良典 ,  吉田尚史

IPC: F16K3/24 ,  F16K11/065 ,  F16K11/07 ,  F16K27/04

Abstract: 本公开提供一种滑阀，其具备套筒(22)和阀芯(21)，所述套筒(22)为在轴线方向上延伸的圆筒状，形成有在轴线方向上相互分离的第一阀口(26A)和第二阀口(27A)，所述阀芯(21)为在轴线方向上延伸且具有缩径部(43A)～(43C)的圆柱状，其通过沿轴线方向在套筒内部移动而开闭第一阀口，从而使第一阀口和第二阀口连通和切断。第一阀口包括：第一贯通部(81)，其为在套筒的圆周方向上具有第一宽度的贯通孔；和第二贯通部(82)～(84)，其为在套筒的圆周方向上具有不同于第一宽度的第二宽度的贯通孔。