电场信息读头、电场信息写/读头及其制造方法以及使用其的信息存储装置

    公开(公告)号:CN101490750A

    公开(公告)日:2009-07-22

    申请号:CN200780026478.X

    申请日:2007-05-10

    CPC classification number: G11B9/02

    Abstract: 本发明提供了用于从信息存储介质的表面电荷读取信息的电场信息读头,该电场信息读头包括:半导体衬底,具有在面向记录介质的表面的一端的中部中形成的电阻区域,该电阻区域用杂质轻掺杂;以及源极区域和漏极区域,在电阻区域的两侧上形成,该源极区域和漏极区域与电阻区域相比用杂质更重地掺杂。源极区域和漏极区域沿半导体衬底的面向记录介质的表面延伸,电极分别与源极区域和漏极区域电连接。此外,本发明提供了电场信息读头的制造方法以及在晶片上批量制造电场信息读头的方法。

    半导体探头以及采用其写入和读取信息的方法

    公开(公告)号:CN1963953A

    公开(公告)日:2007-05-16

    申请号:CN200610121326.5

    申请日:2006-08-21

    CPC classification number: G11B9/02 G01Q10/06 G01Q70/08 G01Q80/00

    Abstract: 提供了一种半导体探头和一种利用所述半导体探头写入和读取信息的方法。所述半导体探头包括悬臂和形成于所述悬臂的一个末端部分上的尖端,从而在位于形成了电极的表面上的铁电媒质上写入信息或从其上读取信息。所述尖端包括轻度掺杂了半导体杂质的电阻性区域和重度掺杂了半导体杂质的导电区域。所述悬臂包括形成于面对所述媒质的底面上的静电力生成电极。通过在形成于所述铁电媒质上的电极和所述静电力生成电极之间有选择地施加电压调整所述尖端和所述媒质之间的接触力。从而使尖端的磨损降至最低,并确保高记录密度下的写入/读取性能。

    具有探针阵列的电阻式存储装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN1770456A

    公开(公告)日:2006-05-10

    申请号:CN200510092119.7

    申请日:2005-08-19

    CPC classification number: H01L27/101 B82Y10/00 G11B9/02 G11C11/22

    Abstract: 提供了一种具有探针阵列的电阻式存储装置及其制造方法。所述电阻式存储装置包括:存储部分,其具有依次形成在第一衬底上的底电极和铁电层;探针部分,其具有设置在第二衬底上的电阻式探针的阵列,所述电阻式探针的尖端面对所述铁电层使得所述电阻式探针能够在所述铁电层上写和读数据;以及粘合层,其将所述电阻式探针抓住并固定在所述铁电层上或所述铁电层上方。该电阻式存储装置的制造方法包括:在第一衬底上依次形成底电极和铁电层;在第二衬底上形成用于写和读数据的电阻式探针的阵列;以及使用粘合层将所述第一衬底晶片级结合到所述第二衬底上使得所述电阻式探针的尖端面对所述铁电层的表面。

    具有电阻性尖端的半导体探针及其制造方法

    公开(公告)号:CN1811944B

    公开(公告)日:2012-04-04

    申请号:CN200510134516.6

    申请日:2005-12-08

    CPC classification number: G01Q70/16 G01Q70/14 G01Q80/00 G11B9/1409

    Abstract: 本发明提供了一种具有电阻性尖端的半导体探针和制造该半导体探针的方法。掺杂有第一杂质的电阻性尖端包括:电阻性区域,形成在电阻性尖端的顶部,轻掺杂有第二杂质,第二杂质与第一杂质的极性相反;第一半导体电极区域和第二半导体电极区域,形成在电阻性尖端的斜侧面上,重掺杂有第二杂质。半导体探针包括:电阻性尖端;悬臂,电阻性尖端位于悬臂的端部上;介电层,位于悬臂上并覆盖电阻性区域;金属屏蔽,位于介电层上并具有形成在与电阻性区域对应的位置处的开口。因此,提高了半导体探针的空间分辨率。

    电场信息读头、电场信息写/读头及其制造方法以及使用其的信息存储装置

    公开(公告)号:CN101490750B

    公开(公告)日:2011-11-09

    申请号:CN200780026478.X

    申请日:2007-05-10

    CPC classification number: G11B9/02

    Abstract: 本发明提供了用于从信息存储介质的表面电荷读取信息的电场信息读头,该电场信息读头包括:半导体衬底,具有在面向记录介质的表面的一端的中部中形成的电阻区域,该电阻区域用杂质轻掺杂;以及源极区域和漏极区域,在电阻区域的两侧上形成,该源极区域和漏极区域与电阻区域相比用杂质更重地掺杂。源极区域和漏极区域沿半导体衬底的面向记录介质的表面延伸,电极分别与源极区域和漏极区域电连接。此外,本发明提供了电场信息读头的制造方法以及在晶片上批量制造电场信息读头的方法。

    具有电阻尖端的半导体探针的制造方法

    公开(公告)号:CN1747071B

    公开(公告)日:2010-09-01

    申请号:CN200510092417.6

    申请日:2005-08-18

    Abstract: 本发明提供了一种具有电阻尖端的半导体探针的制造方法。所述方法包括:在掺杂了第一杂质的衬底上形成条形的掩模层,并通过用第二杂质重掺杂没有被该掩模层覆盖的衬底部分而形成第一和第二电极区;退火所述衬底从而减小第一和第二半导体电极区之间的间隙,并且在与半导体电极区邻接的部分形成轻掺杂了第二杂质的电阻区;形成与掩模层正交的条形的第一光致抗蚀剂,并且蚀刻掩模层使得掩模层具有正方形形状;在衬底上形成第二光致抗蚀剂从而覆盖第一光致抗蚀剂的一部分并限定悬臂区域;通过蚀刻而形成悬臂区域;以及去除光致抗蚀剂,并且通过蚀刻而形成具有半四棱锥形状的电阻尖端。

    具有电阻性尖端的半导体探针及其制造方法

    公开(公告)号:CN101183566B

    公开(公告)日:2010-06-02

    申请号:CN200710186767.8

    申请日:2007-11-16

    CPC classification number: G01Q60/30 G01Q80/00 H01C13/00 Y10T29/49082

    Abstract: 本发明提供一种具有电阻性尖端的半导体探针以及所述半导体探针的制造方法。所述半导体探针包括:电阻性尖端,其掺有第一杂质,且其顶部掺有低浓度的第二杂质,所述第二杂质与所述第一杂质极性相反,其中在所述电阻性尖端的斜面上形成掺有高浓度第二杂质的第一和第二半导体电极区;形成于所述电阻性尖端上的电介质层;电场屏蔽件,其形成于所述电介质层上,且连同所述电介质层一起在所述电阻性尖端的顶部上形成平面;以及具有末端的悬臂,所述电阻性尖端位于所述末端上。

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