纳米连线的制备方法与装置

    公开(公告)号:CN101503173A

    公开(公告)日:2009-08-12

    申请号:CN200910025505.2

    申请日:2009-02-06

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 一种纳米连线的制备方法与装置,涉及利用外加物理场力的牵引和调控作用,通过控制或引导界面化学反应在微电极对的特定位置选择性优先发生并随反应产物的沉积不断沿着目标方向进行自调整,使得反应产物有序可控生长组装并实现搭接,从而在电极对间形成具有良好性能的纳米连线。该装置包含外场发生器、样品架、化学沉积系统装置,预布有电极对结构的基片位于样品架上;外场发生器与化学沉积系统装置、样品架、预布有电极对结构的基片分立设置,与样品电极间没有引线连接和直接接触,外场发生器可独立于界面化学沉积反应系统。

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