包含氢氟醚的溶剂以及使用包含氢氟醚的溶剂的基板处理方法

    公开(公告)号:CN114521285A

    公开(公告)日:2022-05-20

    申请号:CN202080067455.9

    申请日:2020-09-11

    Abstract: 本发明提供一种溶剂,其含有以下式(1)所表示的氢氟醚。Rf1与Rf2各自独立地为氟原子、碳原子数为1以上4以下的直链全氟烷基、或者碳原子数为3或4的支链全氟烷基。R3为碳原子数为1以上4以下的直链烷基、碳原子数为3或4的支链烷基、碳原子数为1以上4以下的直链氟烷基、或者碳原子数为3或4的支链氟烷基。Rf1与Rf2中的至少一个为碳原子数为1以上4以下的直链全氟烷基或者碳原子数为3或4的支链全氟烷基;

    卤代α-氟醚类的制造方法
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110121488A

    公开(公告)日:2019-08-13

    申请号:CN201780081293.2

    申请日:2017-12-15

    Abstract: 通过使式(1)所示的卤代醛类或其等价物与氟化氢反应,从而可以以工业规模高效地制造式(2)所示的卤代α-氟醚类。[式(1)中,HaloR表示卤代烷基]。[式(2)中,HaloR表示卤代烷基,R1表示氢原子、卤原子、烷基、取代烷基,R2表示烷基或取代烷基]。

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