公开(公告)号：CN101866819A

公开(公告)日：2010-10-20

申请号：CN201010163326.8

申请日：2010-04-14

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 住友卓 ,  安田幸夫 ,  横田利夫

IPC: H01J65/04

CPC classification number: H01J65/04 ,  H01J61/025 ,  H01J61/18

Abstract: 本发明是一种激光驱动光源，使激光光线聚光到管球内封入的放，电介质，通过激光光线激励放电介质，生成等离子体，其目的在于遮蔽管球内生成的未被等离子体吸收而透过的激光光线，为此提供一种激光驱动光源，其具有封入有放电介质的管球，通过聚光到上述管球的激光光线在上述管球内生成等离子体，其特征在于，上述管球内设有光线遮蔽部件，遮蔽透过上述管球内生成的等离子体的激光光线。

公开(公告)号：CN101770930A

公开(公告)日：2010-07-07

申请号：CN200910262666.3

申请日：2009-12-25

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 安田幸夫 ,  住友卓 ,  加藤雅规

IPC: H01J65/00 ,  H01L21/30

CPC classification number: H01J65/042 ,  G03F7/70016 ,  H01J61/025

Abstract: 本发明提供一种光源装置，对放电容器照射激光而放射放射光，利用通过放电容器遮蔽来自椭圆反射镜的反射光的反射光阻碍区域导入激光，使放射光不会衰减地在椭圆反射面确实反射，高效利用放射光。该光源装置具有内部封入有发光物质的放电容器(1)；在一方焦点(F1)配置放电容器(1)的椭圆反射镜(2)；及将聚光的激光由椭圆反射镜(2)的开口侧导入放电容器(1)的激光导入单元(3)，对放电容器(1)内的发光物质照射导入的激光，激发发光物质，由放电容器(1)放射放射光，放射光被椭圆反射镜(2)反射，成为反射光，激光导入单元(3)设在通过放电容器(1)遮蔽来自椭圆反射镜(2)的反射光的反射光阻碍区域(L1-L2)。

公开(公告)号：CN101713928A

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200910173460.3

申请日：2009-09-18

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 住友卓 ,  芜木清幸 ,  横田利夫

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70575 ,  G03F7/70033

Abstract: 一种曝光装置，用于制造半导体及液晶等，具备如下的光学系统：使用激光向放射紫外线等光的放电灯供给高能量的情况下，不会在放电容器上开孔，可以有效利用所产生的光。上述曝光装置具有：放射紫外线的光源；激光装置，用于向该光源射入供给能量的激光；椭圆反射镜，反射从该光源放射的紫外线；以及光学系统，使从配置在该椭圆反射镜的第1焦点上的该光源放射的光在该椭圆反射镜上反射，并经由包含准直透镜、积分透镜在内的光学元件照射被照射物，上述曝光装置的特征在于，为了从该椭圆反射镜的开口侧向该光源射入激光，在被该椭圆反射镜反射的光的光路中设置具有波长选择功能的光束分离器。

公开(公告)号：CN100472705C

公开(公告)日：2009-03-25

申请号：CN200410068636.6

申请日：2004-09-03

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 清濑正秀 ,  古江悟 ,  广濑贤一 ,  住友卓

IPC: H01J65/00

Abstract: 提供一种构造简单且在放电容器处无因热膨胀所产生的破损，具有放电稳定生成的新颖的构造的准分子灯泡。由使紫外线透过的材料所构成且在内部封入放电用气体的放电容器、使此放电容器的内部朝长度方向延伸的同时对于放电容器的端部气密地封止的内侧电极、配置于放电容器的外面的外侧电极构成的准分子灯泡，其特征为：上述内侧电极，其至少在与外侧电极之间进行放电的部位的外表面，被至少一端是由在放电空间内开放的电介质材料构成的内侧管所覆盖。