公开(公告)号：CN1934671B

公开(公告)日：2010-09-22

申请号：CN200580009107.1

申请日：2005-03-24

Applicant: 住友电气工业株式会社

Inventor： 西林良树 ,  宫崎富仁 ,  服部哲也 ,  今井贵浩

IPC: H01J9/02 ,  B82B3/00 ,  G01N13/16 ,  H01J1/304

CPC classification number: B81C1/00111 ,  H01J9/025 ,  H01J2329/0415 ,  H01J2329/0447 ,  Y10T428/26

Abstract: 本发明提供一种碳系材料突起构造的形成方法。该碳系材料突起构造的形成方法包括：在金刚石基板(10)上涂布抗蚀剂(11)的工序；在该涂布好的抗蚀剂(11)上依照规定的配置规则开设孔(12)，以使该孔(12)的壁(12b)从开口部(12a)朝向里侧形成倒锥形的方式加工的工序；从开口部(12a)侧开始蒸镀掩模材料，在孔(12)的内部形成掩模蒸镀物(14)的工序；将蒸镀于抗蚀剂(11)上的掩模材料(13)与抗蚀剂(11)一起提离的工序；将掩模蒸镀物(14)作为掩模而蚀刻金刚石基板(10)，形成碳系材料突起的工序。