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公开(公告)号：CN111426287A
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN202010327424.4
申请日：2020-04-23
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明公开了一种并行彩色共聚焦平面度测量系统。该述系统中分光镜设置在复色光源的出射光路上；按照设定排布方式排列的多个光纤构成的柔性光纤束设置在分光镜的出射光路上；按照设定排布方式排列的多个微色散透镜单元构成的微色散透镜阵列与柔性光纤束的出射端耦合；微色散透镜阵列的出射光路上设置待测物，使色散后的不同波长的光聚焦在不同位置上；待测物将到达其表面的光反射至分光镜；按照设定排布方式排列的小孔阵列设置在分光镜的反射光路上以透过聚焦在待测物表面的光；彩色相机对透过小孔阵列的光进行拍摄得到彩色图像，进而确定待测物表面的平面度、弯曲度和翘曲度。本发明能实现多点并行测量，提高待测物体的平面度的测量效率。
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公开(公告)号：CN111412863A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN202010327432.9
申请日：2020-04-23
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明涉及一种并行彩色共聚焦三维形貌光学测量系统，其特征在于，包括：从上至下依次排列的复色光源、分光模块、色散模块、载物模块以及位于分光模块一侧的成像模块，被测物位于色散模块和载物模块之间，复色光源发出的复色光经分光模块分光后传播至色散模块进行并行色散，使得不同波长的光线按照波长规律聚焦在各自轴向的不同高度位置处，光线到达被测物表面并由被测物表面反射至分光模块中，再由分光模块对光线进行再次反射，聚焦在被测物表面的波长的光线经反射后到达成像模块成像。本发明的并行彩色共聚焦三维形貌光学测量系统，使用方便，测量效率和测量精度高。
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公开(公告)号：CN110778869A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201911104947.6
申请日：2019-11-13
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供一种二维运动平台，包括水平布置的载物板、用于驱动所述载物板移动的驱动模块、用于支撑所述载物板的支承模块以及用于控制所述驱动模块运动的控制模块，所述载物板水平布置在所述驱动模块和所述支承模块的上方，所述载物板和所述驱动模块刚性连接，且所述载物板和所述支承模块柔性铰接。通过设置驱动模块和支承模块两个导向模块形成差动系统，在保证运动精度的情况下有效提高了运动行程，能够同时实现高精度和大行程。同时将运动平台的各部分按功能模块化，将运动导向元件模块化为驱动模块和支承模块；将运动平台的工作载物平面模块化为载物板部分，各模块均为通用元器件，且可按需增减部分模块，二次开发灵活性较好。
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公开(公告)号：CN104197856A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410421514.4
申请日：2014-08-25
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种在位表面形貌检测工作台，包括机座和显微镜，机座包括下底板和上框体，上框体为其上端呈开口状的中空框体，上框体以可下底板的前后方向平移滑动的方式架设在下底板的上表面上方，下底板的前侧或后侧设有控制上框体前后滑行的X轴平移驱动装置，上框体的上端端面上架设有可沿上框体左右平移的放置平台，且上框体内设有控制放置平台左右移动的Y轴平移驱动装置，放置平台上竖设有安装立柱，安装立柱上设有可上下移动的安装块，显微镜安装在上述安装块上，安装立柱上安装有控制安装块上下移动的Z轴升降驱动装置。本发明的有益效果：其可实现在位和线下测量，适用范围广，并具有整体结构简单、合理、紧凑的特点。
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公开(公告)号：CN104006764A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410212609.5
申请日：2014-05-20
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/245
Abstract: 本发明公开一种去除数字微镜器件微镜抖动的装置及方法，装置包括激光光源、DMD、第一CCD相机及第二CCD相机；激光光源发出光束照射在DMD表面，经由DMD表面的微镜反射后，于反射空间内出现一对互补像，该一对互补像的对应反射光束分别被第一CCD相机和第二CCD相机同时接收，将所接收的一对互补像进行叠加处理，即实现消除DMD微镜抖动，从而可以消除DMD用于表面形貌测量时所产生的重要误差源。去除抖动装置结构简单，去除抖动方法简洁、易于控制，所达到的去除抖动效果优良。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109127342B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN201811172375.0
申请日：2018-10-09
Applicant: 华侨大学
IPC: B06B1/06 , B23K26/346
Abstract: 本发明公开了压电振子结构，它包括工具头部分、至少一组半波压电换能器和与半波压电换能器组数相同的连接件；配重块位于连接件的中心位置，每组半波压电换能器中的每一半波压电换能器的变幅杆与该侧的连接件中心之间的距离相同；在相同的电源的激励下，每组半波压电换能器中的每一半波压电换能器在纵振模态下做完全相同的同步纵向运动，以使得焊头的振幅叠加。焊头的振幅几乎为每组半波压电换能器中的每一半波压电换能器振幅的简单叠加，能量损耗小，使得该压电振子结构的输出功率得到极大提高，突破了现有技术中最大输出功率为10KW的束缚；同时，能改善该压电振子结构的散热问题，减小该结构发热造成的能量损耗。
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公开(公告)号：CN116608784A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202310311425.3
申请日：2023-03-28
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种六自由度误差修正的三维运动测量系统及测量方法，包括光学气浮平台、六自由度误差修正的三维运动测量系统、二维运动机台、基准光学平晶、彩色共聚焦测量桥组件、相机测量桥组件以及薄膜干涉组件；本发明中的相机测量桥架模块采集所述像栅传感器系统中同心圆的图像，所述同心圆图像基于亚像素处理与同心圆识别获取高精度横向位移，基于线性插值计算的方式在X、Y两个方向形成两条虚拟测量线，测量线的交点处便为彩色共聚焦测头的摆放位置，在测头的正下方放置所述薄膜干涉组件，所述薄膜干涉组件以超精密光学平晶作为测量基准，以此使本发明满足三维零阿贝误差，三轴零耦合误差，提高了三维运动测量平台的测量精度。
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公开(公告)号：CN109005268B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN201811149043.0
申请日：2018-09-29
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了杠杆式触觉反馈装置，叠层压电陶瓷纵向伸长一次以通过杠杆式弹性传动件驱动端带动摆动端向上摆动进而带动质量块直接撞击壳体内顶面、且质量块在杠杆式弹性传动件的弹性作用以及撞击后的反弹力作用下向下移动直至直接撞击至壳体内底面、接着质量块在杠杆式弹性传动件的弹性作用以及撞击后的反弹力作用下回复至初始状态，质量块在向上移动过程中叠层压电陶瓷纵向缩回至初始状态。整个装置结构简单，工艺性好，有利于振动的有效传播，采用杠杆式弹性传动件能放大叠层压电陶瓷的振动幅度，解决了现有振动器振动幅度小的问题。
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公开(公告)号：CN115979165A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202211500361.3
申请日：2022-11-28
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种基于多点光谱探测的彩色共焦测量系统，包括：数据处理终端、水平运动平台、配置在水平运动平台上方的照明组件、反射组件、光谱组件；反射组件配置在照明组件第一端部前，光谱组件配置在反射组件第一端部前，水平运动平台、光谱组件与所述数据处理终端连接，水平运动平台用于放置待测物品；照明组件配置为生成多束并行的不同波长的单色光，并聚焦到待测物品表面，再反射至反射组件；光谱组件配置为接收以及横向展开反射组件反射的反射光，将接收到的光线数据发送至数据处理终端。旨在解决现有光谱共焦技术大多只能实现单点测量，在测量物体时，还需进行多次、反复的扫描，需要耗费大量的时间，且测量效率不高的问题。
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公开(公告)号：CN111288928B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202010172381.7
申请日：2020-03-12
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种物体表面三维形貌特征测量方法、装置、设备及存储介质，方法包括：获取M个高度点相对应的M张彩色图像；基于自适应质心提取算法提取彩色图像在不同位置处N个光纤光点的质心；其中，并行测量的光纤束由N根光纤组成；根据光点质心截取彩色图像中与光纤光点位置对应的目标图像；将目标图像进行颜色空间转换，获得与波长相关的色调参数H值；对色调参数H值进行筛选过滤，获得对应的标准H值；根据标准H值及与标准H值对应的高度，获得光纤的H值‑高度的标定曲线；将待测目标物体代入至标定曲线输入，测量待测目标的物体表面的三维形貌特征。能够修正相邻光纤之间的横向串扰带来的测量误差，实现对物体表面三维形貌的测量。
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