公开(公告)号：CN206834168U

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201720554982.8

申请日：2017-05-18

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 冯睿东 ,  苏凌丰 ,  万珍平 ,  何倩 ,  冯晨

IPC: H01L23/367 ,  H01L23/473

Abstract: 本实用新型公开了一种直通型电液动力微泵，包括自下而上依次设置的下底板、兼做腔壁的密封硅胶垫、盖板；下底板的左右两端分别开设有向下凹陷的用于引流的窄腔，窄腔为工质流动的过渡曲面；各窄腔分别与导入管和导出管连通；密封硅胶垫的中部为镂空结构，该镂空结构形成一空腔，空腔的面积覆盖并连通左右两端的窄腔；盖板的下表面刻蚀有梳状电极阵列；梳状电极阵列置于密封硅胶的空腔围成的区域内；下底板、密封硅胶垫和盖板之间密封结合，使梳状电极阵列被密封在由密封硅胶垫的空腔围成的密封腔体内，构成电液动力微泵加速区的流道。本直通型电液动力微泵在微流体驱动领域具有独特的使用价值和广阔的应用前景。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN205900530U

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：CN201620880936.2

申请日：2016-08-15

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 冯晨 ,  万珍平 ,  莫海军 ,  陆龙生 ,  汤勇

IPC: H01L23/473

Abstract: 本实用新型公开了一种电液动力微泵驱动的小型液冷系统；包括灌注有液态工质的液冷块和灌注有液态工质的换热器；换热器的出口通过第一环路管道连接液冷块的进口，在第一环路管道的管路上串联有第一电液动力微泵；液冷块的出口通过第二环路管道连接换热器的进口，在第二环路管道的管路上串联有第二电液动力微泵；本小型液冷系统不仅解决了大功率电子器件高效散热问题，而且解决了传统机械泵具有体积大、功耗高、噪声大、流量控制不精准等缺点；具有无运动部件、运行可靠、功耗低、容易制作和无需维护等优点，并且可以直接与芯片或流道集成，无需独立空间。可被运用在电子器件冷却、药物输送和微机电系统等领域。