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公开(公告)号：CN104914682B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201510353872.0
申请日：2015-06-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 光刻机换台过程中公转电机残留震荡抑制的控制方法，它属于光刻机双工件台框架运动控制的高精度快速定位控制的技术领域。它的方法步骤为：一：在线状态下给公转电机施加阶跃给定，幅值为10度，通过上位机保存公转电机在该给定下的运行曲线数据；二：把上位机保存的曲线数据，作为simulink仿真中的Y_，进行离线整形；三：在离线情况下，运用改进的蚁群算法得到最优输入整形器参数；四：给公转电机施加S曲线给定，目标位置为30度，利用得到的最优输入整形器参数在在线状态下进行输入整形，直接对输入进行整形，对公转电机进行开环前馈控制。本发明能对公转电机的S曲线给定进行输入整形，可以使公转电机实现快速定位，定位时间由6S减少到2S。
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公开(公告)号：CN103983247B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201410208601.1
申请日：2014-05-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于二次平台线阵CCD的倾角测量方法，涉及基于二次平台的倾角测量方法，属于超精密仪器设备测量系统的测量方法。为了解决采用光栅式编码器不适用于二次平台及六自由度气浮台系统的问题以及采用倾角传感器在二次平台动态工作时精度差的问题。本发明通过旋转半导体激光器旋转扫描周围的线阵CCD，在线阵CCD屏幕上留下高度不等的光点，得到线阵CCD屏幕上光点的高度数据。将相邻的线阵CCD上光点的高度数据信号发送给数字信号处理器。根据光点的高度信号求解光点构成平面的倾角α，根据误差对倾角α进行补偿，将补偿后的倾角α0作为当前平台的倾角。本发明适用于二次平台的倾角测量。
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公开(公告)号：CN104914682A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510353872.0
申请日：2015-06-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 光刻机换台过程中公转电机残留震荡抑制的控制方法，它属于光刻机双工件台框架运动控制的高精度快速定位控制的技术领域。它的方法步骤为：一：在线状态下给公转电机施加阶跃给定，幅值为10度，通过上位机保存公转电机在该给定下的运行曲线数据；二：把上位机保存的曲线数据，作为simulink仿真中的Y_，进行离线整形；三：在离线情况下，运用改进的蚁群算法得到最优输入整形器参数；四：给公转电机施加S曲线给定，目标位置为30度，利用得到的最优输入整形器参数在在线状态下进行输入整形，直接对输入进行整形，对公转电机进行开环前馈控制。本发明能对公转电机的S曲线给定进行输入整形，可以使公转电机实现快速定位，定位时间由6S减少到2S。
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公开(公告)号：CN119065247A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202411175934.9
申请日：2024-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 一种面向超精密运动系统的连续时间模型闭环辨识方法，涉及超精密运动辨识技术领域。利用轨迹生成器生成超精密运动系统在k时刻下的期望运动轨迹，期望运动轨迹减去闭环位移输出的实际运动轨迹得到位置伺服误差，位置伺服误差输入反馈控制器，反馈控制器的输出作为超精密运动系统的输入，闭环辨识器包括零阶保持器和参数估计器，输入为反馈控制器的输出以及实际运动轨迹在k时刻下的离散时间信号，输出为超精密运动系统的连续时间模型的辨识模型，利用参数估计器中内置的参数估计算法进行参数估计。更适用于超精密运动系统的辨识，同时提供了更安全的闭环辨识实验环境。
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公开(公告)号：CN118068656A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202410208941.8
申请日：2024-02-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习控制系统及方法，所述系统包括运动轨迹生成部分、学习控制部分、反馈控制部分和不确定性补偿部分，运动轨迹生成部分包括运动轨迹生成器Cr，运动轨迹生成器Cr产生参考运动轨迹yd(t)，yd(t)减去位置测量信号yε,k(t)得到位置误差信号ek(t)，ek(t)输入给学习控制部分，学习控制部分产生前馈信号eff,k(t)，eff,k(t)与ek(t)相加得到修正误差信号efb,k(t)，efb,k(t)输入给反馈控制部分，反馈控制部分包括反馈控制器Cfb，反馈控制器Cfb产生反馈控制量ufb,k(t)，ufb,k(t)输入给不确定性补偿部分，不确定性补偿部分产生位置测量信号yε,k(t)。本发明能够有效减少模型不确定性对学习性能的影响，同时可有效补偿外部随机扰动，设计简单，具有较强实际应用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116700150B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202310860402.8
申请日：2023-07-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/408
Abstract: 精密运动平台点位运动鲁棒轨迹规划系统及其规划方法，属于精密运动平台技术领域。轨迹生成器输出参考S曲线；参考S曲线经柔性系统获得系统输出，柔性系统的共振频率以及系统输出的残余振荡信息共同提供给轨迹生成器以修正参考S曲线。方法如下：设计对称S型运动轨迹，设计S型运动轨迹参数；修整轨迹增强运动轨迹对模型摄动鲁棒性；判定S型运动轨迹设计是否合理；将获得的非对称S曲线输入柔性系统，获得系统输出；按照系统需求判定残余振荡是否满足要求。本发明解决了传统精密运动平台点位运动轨迹规划方法仅关注运动轨迹的几何光顺未考
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公开(公告)号：CN116819902B
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202310825107.9
申请日：2023-07-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 超精密光刻装备六自由度分散式复合控制系统及控制方法，涉及超精密光刻装备控制系统及方法。控制系统包括运动轨迹生成部分、反馈控制部分、前馈控制部分、解耦控制部分、六自由度运动台与位置测量部分，解耦控制部分包括静态解耦部分和动态解耦部分，静态解耦部分由增益规划矩阵、增益平衡矩阵和科氏力补偿矢量组成，动态解耦部分由动态解耦矩阵构成。反馈与前馈控制器设计简单，通过静动态结合的方式减少各自由度之间的串扰影响，提高控制精度。
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公开(公告)号：CN116774585B
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310751744.6
申请日：2023-06-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 一种纳米精度运动台学习控制系统及方法，涉及一种运动台控制系统及方法。闭环反馈部分包括运动轨迹生成器、反馈控制器、运动台及傅里叶变换器一，前馈部分包括傅里叶变换器二、学习控制器、迭代后移算子及傅里叶逆变换器。迭代实验次数j赋初值为j＝1，第j次频域前馈信号赋初值为0；运行系统采集频域误差信号和频域位置测量信号；更新第j+1次频域前馈信号；迭代实验次数j值加1，跳转至步骤二。能够有效抑制外部噪声和扰动的影响，提高收敛性能，而且计算量较少，学习增益确定简单，鲁棒性强，便于工程应用。
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公开(公告)号：CN115755627B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202211624302.7
申请日：2022-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 本发明公开了一种基于模型预测的纳米级精密运动台前馈控制方法，所述方法包括系统扫频数据获取、系统模型辨识、虚拟系统构建以及模型预测前馈四部分。本发明通过设计虚拟系统，采用虚拟状态反馈的模型预测方法对系统进行精准前馈控制量补偿，既可以发挥模型预测控制强大的轨迹跟踪能力，又能利用虚拟系统屏蔽外界扰动的影响，保证前馈补偿输入的准确性。此外，使用系统虚拟系统避免了复杂的状态观测器设计问题，降低了前馈控制器设计难度，提高了纳米级精密运动台的估计跟踪性能。
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公开(公告)号：CN115933400B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202211651456.5
申请日：2022-12-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 一种多自由度精密运动台动态解耦控制方法，涉及一种精密运动台解耦控制方法。定义动态解耦控制器并且元素参数化为FIR滤波器形式，将名义解耦控制方法作用到实际系统测量实际位置信号和名义解耦控制器的输出，计算得到虚拟控制量，通过优化指标函数得到动态解耦控制器的待优化系数的估计值，从而实现动态解耦控制。可以有效实现中高频段的解耦，提高解耦精度，并且简化了算法流程，易于工程实现。
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