公开(公告)号：CN106643556A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201710036110.7

申请日：2017-01-17

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 李梦周 ,  刘俭 ,  李强 ,  高姗 ,  谭久彬

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B11/2441

Abstract: 本发明椭球反射镜面形检测装置和方法属于精密光学测量领域；该装置沿光轴方向依次设置面形检测干涉仪、聚焦透镜、椭球反射镜和面形参考球；其中，聚焦透镜的焦点和椭球反射镜的第一焦点重合，面形参考球的球心和椭球反射镜的第二焦点重合；面形检测干涉仪发出平行光束，依次经过聚焦透镜后会聚、椭球反射镜第一次反射、面形参考球反射、椭球反射镜第二次反射和聚焦透镜折射，最后入射到集成在面形检测干涉仪中的图像传感器上；该方法首先放置面形参考球，然后确定面形参考球的径向位置，再确定面形参考球的轴向位置，最后计算椭球反射镜的面形误差；本发明能够实现在不接触椭球反射镜条件下，完成对椭球反射镜直接、高灵敏度、大动态范围的测量。

公开(公告)号：CN106597632A

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201710019967.8

申请日：2017-01-11

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 李梦周 ,  刘俭 ,  李强 ,  谭久彬 ,  高姗

IPC: G02B7/182

CPC classification number: G02B7/182

Abstract: 本发明椭球面反射镜近焦点高精度定位装置与方法属于光学共焦显微技术领域和光学精密测量领域；该装置由用于对椭球面反射镜远焦点高精度定位的下光路，以及用于对椭球面反射镜远焦点高精度定位的上光路组成；该方法首先利用下光路进行椭球面反射镜远焦点定位，然后利用上光路进行椭球面反射镜近焦点定位；本发明首先充分利用椭球面反射镜双焦点共轭的特殊性质，提供一种定位椭球面反射镜远焦点的技术手段，然后通过成像技术手段，实现对椭球面反射镜近焦点高精度定位，为精密装调椭球面反射镜提供技术手段，减小椭球面反射镜的慧差和像散，对椭球面反射镜在光学共焦显微技术领域和光学精密测量领域中的应用和发展起到促进作用。

公开(公告)号：CN106441143A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201610891200.X

申请日：2016-10-12

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘俭 ,  李梦周 ,  李强 ,  谭久彬 ,  谷康

IPC: G01B11/22

CPC classification number: G01B11/22 ,  G01B21/045

Abstract: 一种采用光学显微方式测量沟槽样品深度的方法，涉及光学显微测量领域，具体涉及一种沟槽样品深度的方法。本发明为了解决现有的测量沟槽样品深度的方法存在精度较低的问题。本发明首先采用光学显微方式获得沟槽样品的轮廓数据，并确定沟槽样品两侧边缘的位置和沟槽的宽度W；然后在上、下表面轮廓数据部分分别删除上表面避让距离Dd和下表面避让距离Ds；最后，利用沟槽上、下表面剩余的有效数据范围对应的沟槽样品轮廓数据进行拟合，从而得到准确的沟槽深度。本发明适用于光学显微仪器的测量领域。