信息记录介质及其生产方法和溅射靶子

    公开(公告)号:CN1606080A

    公开(公告)日:2005-04-13

    申请号:CN200410084969.8

    申请日:2004-10-08

    Abstract: 在生产包含氧含量更低的氧化物作为主要成分的一次书写记录介质时,如果通过引入大量氧到膜形成气体中进行记录层的膜形成并且溅射靶子不含氧,那么生产出的每个介质具有不同性能,这是因为气体中的氧流量容易变化,并且记录层中所含的氧的组分比也容易变化。为解决上述问题,在基质上至少具有记录层和能够记录与复制信息的信息记录介质含有氧化物A-O或A-O-M(A是至少含有Te,Sb,Ge,Sn,In,Zn,Mo和W中任意一种的材料,而M是至少含有金属元素、半金属元素和半导体金属元素中任意一种的材料),在生产该层的过程中使用的溅射靶子至少含有A-O和,A和/或M。使用该方法,甚至可在大规模生产线上生产出具有高重现性和稳定性的记录层。

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