-
公开(公告)号：CN1175477C
公开(公告)日：2004-11-10
申请号：CN02105984.5
申请日：2002-04-11
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: C23C16/50 , C23C16/455 , C23C16/52 , H01J37/3244 , H01J37/3299
Abstract: 一种等离子体处理装置和使用该装置的等离子体处理方法，在气体供给过程中，在开闭气体供给路径的气体开关阀打开之前，由主控制部将流量设定指令信号设定为零流量，并向质量流量控制器输出，在气体开关阀为打开状态后，把流量设定指令信号设定为规定流量并输出，从而，能够解决在气体流入的初始状态，等离子体产生用气体一时供给过剩的问题。
Search Results
21
records
(took 0.032 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
