公开(公告)号：CN100345320C

公开(公告)日：2007-10-24

申请号：CN02807189.1

申请日：2002-12-12

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 藤井映志 ,  鸟井秀雄 ,  高山良一 ,  友泽淳 ,  村田晶子 ,  平泽拓

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/24 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  G01C19/56

CPC classification number: H01L41/0815 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14491 ,  B41J2202/03 ,  G01C19/5607 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/316 ,  Y10T29/49401

Abstract: 在压电元件中，在基板(11)上设置附着层(12)，在该附着层(12)上设置由含有钛或氧化钛的贵金属构成的第1电极层(14)，在该第1电极层(14)上设置优先取向(100)面或(001)面的取向控制层(15)。该取向控制层(15)中的第1电极层(14)侧的表面附近部的结构为：(100)面或(001)面取向的区域存在于位于第1电极层(14)中的取向控制层(15)侧的表面部的钛或氧化钛上且上述区域在垂直于层厚方向的截面上的面积从第1电极层(14)侧向相反侧变大。于是，在该取向控制层(15)上设置优先取向(001)面的压电体层(16)。

公开(公告)号：CN1498428A

公开(公告)日：2004-05-19

申请号：CN02807189.1

申请日：2002-12-12

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 藤井映志 ,  鸟井秀雄 ,  高山良一 ,  友泽淳 ,  村田晶子 ,  平泽拓

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/24 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  G01C19/56

CPC classification number: H01L41/0815 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14491 ,  B41J2202/03 ,  G01C19/5607 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/316 ,  Y10T29/49401

Abstract: 在压电元件中，在基板(11)上设置附着层(12)，在该附着层(12)上设置由含有钛或氧化钛的贵金属构成的第1电极层(14)，在该第1电极层(14)上设置优先取向(100)面或(001)面的取向控制层(15)。该取向控制层(15)中的第1电极层(14)侧的表面附近部的结构为：(100)面或(001)面取向的区域存在于位于第1电极层(14)中的取向控制层(15)侧的表面部的钛或氧化钛上且上述区域在垂直于层厚方向的截面上的面积从第1电极层(14)侧向相反侧变大。于是，在该取向控制层(15)上设置优先取向(001)面的压电体层(16)。

公开(公告)号：CN1471181A

公开(公告)日：2004-01-28

申请号：CN03149264.9

申请日：2003-06-17

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 鸟井秀雄 ,  藤井映志 ,  友泽淳 ,  村田晶子 ,  高山良一 ,  平泽拓

IPC: H01L41/09 ,  B41J2/045

CPC classification number: G01P15/0922 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/14282 ,  B41J2002/1425 ,  B41J2202/03 ,  G01C19/5607 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/094 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319

Abstract: 一种压电元件(20)，在硅基板(1)上形成第一电极层，该第一电极层由从钴、镍、铁、锰及铜的组中选择的至少一种金属与贵金属的合金构成，在该第一电极层(2)上形成由菱面体晶系或正方晶系的钙钛矿型氧化物(PZT等)构成的压电体层(3)，使该压电体层(3)优先取向于(001)面。

公开(公告)号：CN1461703A

公开(公告)日：2003-12-17

申请号：CN03142519.4

申请日：2003-05-30

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 友泽淳 ,  藤井映志 ,  鸟井秀雄 ,  村田晶子 ,  高山良一 ,  平泽拓

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/16 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22

CPC classification number: G01C19/5607 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14491 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/316

Abstract: 一种压电元件，在基板11上设置第1电极层14，该第1电极层由添加了从Mg、Ca、Sr、Ba和Al以及它们的氧化物的组中选择的至少一种添加物的贵金属构成，在该第1电极层14上设置取向控制层15，该取向控制层由优先取向于立方晶系或正方晶系的(100)面或(001)面的钙钛矿型氧化物构成，在该取向控制层15上形成压电体层16，该压电体层由优先取向于菱面体晶系或正方晶系的(001)面的钙钛矿型氧化物构成。