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公开(公告)号:CN1399720A
公开(公告)日:2003-02-26
申请号:CN00809901.4
申请日:2000-06-05
IPC: G01N25/32
CPC classification number: G01N25/32 , G01N33/0013
Abstract: 本发明的主要目的是简化气体检测传感器的构造,并且在有H2O和O2存在的条件下,可高精度地检测被检测气体内的可燃性气体的浓度、和含有可燃性气体的被检测气体内的氧气的浓度。为了达到上述目的,本发明的气体检测传感器是通过可燃性气体的接触反应而使传感器发热,通过该发热而发出可燃性气体的检测信号的气体检测传感器,由以下部分构成:膜片,该膜中在被检测气体所接触的接气面上具有白金镀层薄膜;第1检测传感器,该检测传感器由两种不同金属的一端分别接近上述膜片的非接气面地固定的热电偶构成,通过可燃性气体的接触反应而被加热;具有与被检测气体相接触的接气面的膜片;对被检测气体的温度进行检测的第2检测传感器,该传感器由两种不同金属的一端分别接近上述膜片的非接气面地固定的热电偶构成。
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公开(公告)号:CN100473760C
公开(公告)日:2009-04-01
申请号:CN00802778.1
申请日:2000-01-13
IPC: C23C30/00
CPC classification number: C23C8/02 , C23C26/00 , Y10T428/24322 , Y10T428/24355 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明的目的是在任意金属材料上,形成不含其它金属氧化膜的、耐蚀性好的氧化铬膜。可低价地、在短时间内形成不含其它金属氧化膜的、耐蚀性好的氧化铬膜,可提供能安全地供给强腐蚀性流体的流体供给系统。在表面粗度(Ra)1.5μm以下的金属材料上,覆盖铬后,在氧化性环境中进行热处理,形成由氧化铬构成的非动态膜。
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公开(公告)号:CN100341775C
公开(公告)日:2007-10-10
申请号:CN00801626.7
申请日:2000-07-21
IPC: C01B5/00
CPC classification number: B01J3/006 , B01J7/00 , B01J12/007 , C01B5/00
Abstract: 本发明的目的是提供一种安全的减压型水分发生供给装置,该装置减压供给(例如数托)水分气体,较高地保持水分发生用反应炉的内压,这样,可防止氢的自燃,本发明的另一目的是提供一种水分发生用反应炉,是通过对水分发生用反应炉高效率地进行冷却,便可在不增大反应炉尺寸的情况下使水分发生量大幅度增加的水分发生用反应炉。因此,本发明的减压型水分发生供给装置的特征在于:由水分发生用反应炉和减压机构构成,其中水分发生用反应炉是由氢和氧通过催化剂反应而发生水分气体;减压机构设在该水分发生用反应炉的下流侧,水分气体通过该减压机构减压后供给下流侧,与此同时较高地保持反应炉内的内压。本发明的散热式水分发生用反应炉由将入口侧炉主体部件和出口侧炉主体部件组合起来而形成有内部空间的反应炉主体、和贴紧在上述各炉子主体部件的外壁面上的散热片底板、及立设在该散热片底板上的多个散热用散热片构成,利用上述散热用散热片对发生的热量进行强制性辐射,使反应炉的温度降低。并且,对散热用散热片进行氧化铝膜加工,使热辐射率大幅度提高,而使散热效率进一步提高。
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公开(公告)号:CN1320152C
公开(公告)日:2007-06-06
申请号:CN03816182.6
申请日:2003-07-09
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K27/0236 , C22C38/001 , C22C38/42 , C22C38/44 , F16K27/00 , F16L19/103 , F16L58/184
Abstract: 本发明提供一种流体部件,该流体部件中的多个构成部件(2、3、4、5、6)中的、具有露出到流体部件外面的露出面的规定金属制部件(例如螺栓)(5),由合金制成,该合金包含有C:0.001~0.01%、Si:≤5%、Mn:≤2%、P:≤0.03%、S:≤100ppm、O:≤50ppm、Cr:18~25%、Ni:15~25%、Mo:4.5~7.0%、Cu:0.5~3.0%、N:0.1~0.3%,其余部分实际上是Fe和其它不可避免的杂质。
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公开(公告)号:CN1307321C
公开(公告)日:2007-03-28
申请号:CN03816181.8
申请日:2003-07-09
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: C22C38/46 , C22C38/001 , C22C38/42 , C22C38/44 , F16J15/102 , F16K7/123 , F16K27/0236 , F16K31/122 , F16L19/0218 , F16L19/103 , F16L58/184
Abstract: 本发明提供一种流体部件,流体部件是配管和流体控制装置中使用的阀、接头等,构成流体部件的预定金属制部件,由合金制成,该合金包含有:按照重量%,C:0.001~0.01%、Si:≤5%、Mn:≤2%、P:≤0.03%、S:≤100ppm、O:≤50ppm、Cr:18~25%、Ni:15~25%、Mo:4.5~7.0%、Cu:0.5~3.0%、N:0.1~0.3%,其余部分是Fe和其它不可避免的杂质,并且为了基本确保耐缝隙腐蚀性,从用重量百分比表示各合金成分复合添加的CRI=〔Cr〕+4×Mo〕+30×N〕式求出的CRI(耐缝隙腐蚀性指标)值设定在40≤CRI≤55的范围内。
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公开(公告)号:CN1910393A
公开(公告)日:2007-02-07
申请号:CN200580002923.X
申请日:2005-01-13
IPC: F16K51/00
CPC classification number: F16K51/02 , Y10T137/6606 , Y10T137/7043 , Y10T137/7062
Abstract: 本发明提供一种在气体供给系和气体排放系中可在高温状态下使用并且因具有优异的绝热性能而能够大大提高小型化、紧凑化程度的真空绝热阀。在由具有阀本体和执行器的阀以及容纳该阀的真空绝热箱形成的真空绝热阀中,所述真空绝热箱(S)由在其侧面具有真空绝热配管接口(J)并且上面敞口的方形的下部真空箱壳(S5)、以及从上方呈气密状态嵌合在该下部真空箱壳(S5)上并且下面敞口的上部真空箱壳(S4)形成。
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公开(公告)号:CN1751196A
公开(公告)日:2006-03-22
申请号:CN200480004466.3
申请日:2004-02-09
Abstract: 本发明提供一种适用于半导体制造装置的真空排气系统用的隔膜阀,可以防止由气体的热分解所产生的生成物的堆积附着所带来的部件的腐蚀、或由生成物而带来堵塞或泄漏的发生,进而,可以实现真空排气系统的设备的小型化、随之可降低成本,而且,可以相应地进行用于缩短真空排气时间的真空排气系统的配管的小口径化。具体来说,真空排气系统用的隔膜阀(1)具有阀体(2)、隔膜(3)和驱动机构(4),所述阀体(2)具有流入通路(6)、流出通路(7)和形成于其间的阀座(8),所述隔膜(3)设于阀体(2)上并可接触或离开阀座(8),所述驱动机构(4)设于阀体(2)上并可使隔膜(3)与阀座(8)接触或离开阀座(8),在上述阀体(2)和隔膜(3)的流体接触部分(25)上涂覆规定厚度的合成树脂覆膜(5)。
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公开(公告)号:CN1671875A
公开(公告)日:2005-09-21
申请号:CN03816182.6
申请日:2003-07-09
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K27/0236 , C22C38/001 , C22C38/42 , C22C38/44 , F16K27/00 , F16L19/103 , F16L58/184
Abstract: 本发明提供一种流体部件,该流体部件中的多个构成部件(2、3、4、5、6)中的、具有露出到流体部件外面的露出面的规定金属制部件(例如螺栓)(5),由合金制成,该合金包含有C:0.001~0.01%、Si:≤5%、Mn:≤2%、P:≤0.03%、S:≤100ppm、O:≤50ppm、Cr:18~25%、Ni:15~25%、Mo:4.5~7.0%、Cu:0.5~3.0%、N:0.1~0.3%,其余部分实际上是Fe和其它不可避免的杂质。
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公开(公告)号:CN1665951A
公开(公告)日:2005-09-07
申请号:CN03816179.6
申请日:2003-07-09
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16L19/061 , C22C38/001 , C22C38/42 , C22C38/44 , F16L19/08
Abstract: 本发明的管接头(30)包括从后端侧插入管(32)的管状主体(31)、嵌合在从主体(31)后端侧伸出的管(32)的周围的前环(33)及后环(34)、将前环(33)及后环(34)紧固而将管(32)固定在主体(31)上的盖形螺母(35)。后环(34)由合金制成,该合金包含有:按照重量%,C:0.001~0.01%、Si:≤5%、Mn:≤2%、P:≤0.03%、S:≤100ppm、O:≤50ppm、Cr:18~25%、Ni:15~25%、Mo:4.5~7.0%、Cu:0.5~3.0%、N:0.1~0.3%,其余部分实际上是Fe和其它不可避免的杂质。
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公开(公告)号:CN1202987C
公开(公告)日:2005-05-25
申请号:CN00801205.9
申请日:2000-06-05
IPC: C01B5/00
Abstract: 本发明的主要目的为,更彻底地防止水分发生用反应炉体内部中氢气着火或气体供给源一侧回火的发生以及镀铂触媒层的剥离,进一步提高水分发生用反应炉的安全性,同时减少反应炉体的内部空间的未利用空间,使反应炉体进一步小型化。为此,在本发明中,有气体供给口1a的入口侧炉体构件1和有水汽出口2a的出口侧炉体构件2对置状组装,通过将两者焊接形成反应炉体A,其内部空间V内设有反射体的同时在前述出口侧炉体构件2的内壁面形成镀铂触媒层8,从气体供给口1a供给反应炉体A的内部空间V内的氢气与氧气与镀铂保护膜8b接触使其活性化反应,从而使氢气与氧气在非燃烧状态下反应,产生水。
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