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公开(公告)号：CN1279582C
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN200410003341.0
申请日：2000-07-21
IPC: H01L21/00
CPC classification number: B01J3/006 , B01J7/00 , B01J12/007 , C01B5/00
Abstract: 本发明的目的是提供一种安全的减压型水分发生供给装置，该装置减压供给(例如数托)水分气体，较高地保持水分发生用反应炉的内压，这样，可防止氢的自燃，本发明的另一目的是提供一种水分发生用反应炉，是通过对水分发生用反应炉高效率地进行冷却，便可在不增大反应炉尺寸的情况下使水分发生量大幅度增加的水分发生用反应炉。因此，本发明的减压型水分发生供给装置的特征在于：由水分发生用反应炉和减压机构构成，其中水分发生用反应炉是由氢和氧通过催化剂反应而发生水分气体；减压机构设在该水分发生用反应炉的下流侧，水分气体通过该减压机构减压后供给下流侧，与此同时较高地保持反应炉内的内压。本发明的散热式水分发生用反应炉由将入口侧炉主体部件和出口侧炉主体部件组合起来而形成有内部空间的反应炉主体、和贴紧在上述各炉子主体部件的外壁面上的散热片底板、及立设在该散热片底板上的多个散热用散热片构成，利用上述散热用散热片对发生的热量进行强制性辐射，使反应炉的温度降低。并且，对散热用散热片进行氧化铝膜加工，使热辐射率大幅度提高，而使散热效率进一步提高。
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公开(公告)号：CN1666051A
公开(公告)日：2005-09-07
申请号：CN03816180.X
申请日：2003-07-09
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K1/38
CPC classification number: F16K1/385 , F16K1/04 , F16K1/38 , F16K1/482 , F16K25/005
Abstract: 本发明提供一种流体控制器，该流体控制器包括金属制阀体(2)和金属制滑动部件(3)。该金属制阀体(2)具有流体流入通路(2a)、流体流出通路(2b)、和连通两通路的连通路(2c)。金属制滑动部件(3)通过使其在包含连通路(2c)的纵通路(11)内在纵方向移动，其前端部将连通路(2c)截断或开通。滑动部件(3)的至少前端部(3a)由合金制成，该合金包含有：按照重量％，C：0.001～0.01％、Si：≤5％、Mn：≤2％、P：≤0.03％、S：≤100ppm、O：≤50ppm、Cr：18～25％、Ni：15～25％、Mo：4.5～7.0％、Cu：0.5～3.0％、N：0.1～0.3％，其余部分实际上是Fe和其它不可避免的杂质。
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公开(公告)号：CN1376914A
公开(公告)日：2002-10-30
申请号：CN02107863.7
申请日：2002-03-25
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01N27/16
Abstract: 一种未反应气体检测装置,可准确地检测出残留在目标气体中的可燃性未反应气体浓度,安全地供应原料气体。本发明的未反应气体检测装置40包括:炉主体;与炉主体相连接的传感器主体44;形成于该传感器主体44内,使上述目标气体流通的测定用空间46;具有促进反应用的催化剂层74的温度测定部72c的;设有温度测定部70c的目标气体温度检测传感器70。利用上述促进反应用催化剂层74使残留于目标气体中的未反应气体反应,检测温度测定部72c的温度上升情况,同时用上述温度测定部70c测定目标气体温度To,根据未反应气体检测传感器温度T与目标气体温度之温度差ΔT(=T－To)检测未反应气体浓度。
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公开(公告)号：CN1316044A
公开(公告)日：2001-10-03
申请号：CN00801268.7
申请日：2000-09-11
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明实现了不用烘烤法、而通过常温排气处理即可有效地除去吸附水分的供气系统的水分去除法。本发明为一种使除水分气体在供气系统中流动而除去残留在供气系统内的水分的方法,其特征为,将除水分气体的流压设定成大于或等于其气流成为粘性流的最小压力,并且小于或等于除水分气体流通温度的饱和水蒸气压。此外,所述除水分气体成为粘性流的条件是通过气体分子的平均自由行程小于供气系统配管的直径来判定。如果在这样的条件下对除水分气体进行常温排气,则能够有效地除去在配管内面或阀及过滤器件内的吸附水分。
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公开(公告)号：CN100385162C
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200580002923.X
申请日：2005-01-13
IPC: F16K51/00
CPC classification number: F16K51/02 , Y10T137/6606 , Y10T137/7043 , Y10T137/7062
Abstract: 本发明提供一种在气体供给系和气体排放系中可在高温状态下使用并且因具有优异的绝热性能而能够大大提高小型化、紧凑化程度的真空绝热阀。在由具有阀本体和执行器的阀以及容纳该阀的真空绝热箱形成的真空绝热阀中，所述真空绝热箱(S)由在其侧面具有真空绝热配管接口(J)并且上面敞口的方形的下部真空箱壳(S5)、以及从上方呈气密状态嵌合在该下部真空箱壳(S5)上并且下面敞口的上部真空箱壳(S4)形成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100376829C
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200480004466.3
申请日：2004-02-09
Abstract: 本发明提供一种适用于半导体制造装置的真空排气系统用的隔膜阀，可以防止由气体的热分解所产生的生成物的堆积附着所带来的部件的腐蚀、或由生成物而带来堵塞或泄漏的发生，进而，可以实现真空排气系统的设备的小型化、随之可降低成本，而且，可以相应地进行用于缩短真空排气时间的真空排气系统的配管的小口径化。具体来说，真空排气系统用的隔膜阀(1)具有阀体(2)、隔膜(3)和驱动机构(4)，所述阀体(2)具有流入通路(6)、流出通路(7)和形成于其间的阀座(8)，所述隔膜(3)设于阀体(2)上并可接触或离开阀座(8)，所述驱动机构(4)设于阀体(2)上并可使隔膜(3)与阀座(8)接触或离开阀座(8)，在上述阀体(2)和隔膜(3)的流体接触部分(25)上涂覆规定厚度的合成树脂覆膜(5)。
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公开(公告)号：CN1390165A
公开(公告)日：2003-01-08
申请号：CN00815779.0
申请日：2000-11-06
IPC: B24B19/16
Abstract: 即使以一个砂轮和一台电焊条磨削机,也能够高效率且高精度地将电焊条的前端部整形成最终形状,并且能够将电焊条的头部精磨成镜面。为此,由本体1、磨削马达2、砂轮3、摇动板4、保持器导向器6、电焊条保持器7、电焊条旋转马达8、摇动板移动装置9构成电焊条磨削机;并且,电焊条A的中心线φa顺沿于与马达驱动轴2a的中心线φ相垂直的直线,同时,砂轮3的磨削部3a呈与电焊条A的最终形状相对应的形状形成,而且,在使砂轮3在磨削马达2的驱动下旋转的同时,使电焊条A在电焊条旋转马达8的驱动下旋转。
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公开(公告)号：CN101652318A
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200780052631.6
申请日：2007-04-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: C01B5/00
CPC classification number: C01B5/00 , Y10T137/0396
Abstract: 在通过并列运转多座水分生成用反应炉而对应于高纯度水供给量的增大的要求的情况下，本发明能够借助极其简单的孔部件的利用而进行(H 2 )和(O 2 )的混合气体的分流供给，从而能够使混合气体(原料气体)分流装置简单化和大幅降低设备费。即，本发明的水分生成用反应炉的并列运转方法为，在并列地连接的多个水分生成用反应炉的各混合气体入口侧配设具有既定的口径的小孔的孔部件，通过上述各孔部件向各水分生成用反应炉供给来自混合器的氢和氧的混合气体(G)，并且使在各水分生成用反应炉中生成的水分合流而向高纯度水的使用装置供给。
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公开(公告)号：CN100357642C
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200480004084.0
申请日：2004-02-09
CPC classification number: F16K7/14 , F16K27/003 , F16K51/02
Abstract: 本发明提供一种阀，这种阀能够与旨在实现真空排气系统的设备的小型化并由此降低成本和缩短真空排气时间的真空排气系统配管的小口径化相适应，并能够防止由气体分解产生的离解生成物的堆积所导致的内部的腐蚀、堵塞、阀座泄漏等。具体地说，将铝钝态用于在真空排气系统中使用的阀等配管零件，来抑制因烘焙时的温度升高而引起的气体分解，从而提供与真空排气系统的小口径化相适应的零件，特别是使得不会因气体分解产生的生成物的堆积而发生腐蚀、堵塞、阀座泄漏等。
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公开(公告)号：CN1950292A
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN200580015020.5
申请日：2005-07-04
Applicant: 株式会社富士金
IPC: C01B5/00
CPC classification number: B01J12/007 , B01J2219/00078 , B01J2219/00087 , B01J2219/00096 , B01J2219/00135 , C01B5/00 , F28D2021/0029 , F28F3/02 , H01L21/67017
Abstract: 在水分发生反应炉中，通过提高反应炉主体的散热特性，也可以被限制的体积容量的水分发生反应炉安全地令水分发生量倍增。具体而言，在通过令供给到反应炉主体内的氢和氧与白金涂料催化剂层接触而令其反应性活性，由此在非燃烧状态下令氢和氧反应的水分发生反应炉中，令冷却器由出口侧冷却器形成，所述出口侧冷却器包括向出口侧炉主体部件的外表面固定的中央处贯穿设置有插入孔的散热体基板、和在该散热体基板的上述加热器插入孔以外的部分上垂直状地并行而竖立设置的多个散热体，并且令用于加热上述反应炉主体的加热器的局部插通出口侧冷却器的加热器插入孔而向出口侧炉主体部件的外表面固定。
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