加工系统以及测量构件
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115427184A

    公开(公告)日:2022-12-02

    申请号:CN202080099822.3

    申请日:2020-04-15

    Abstract: 加工系统对物体照射能量射束来加工物体,所述加工系统包括:载置装置,载置物体;照射装置,对物体照射能量射束;以及受光装置,具有射束通过构件及受光部,所述射束通过构件具有使能量射束衰减的衰减区域与使能量射束通过的多个通过区域,所述受光部接收通过了多个通过区域的能量射束。

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