光图像计测装置及光图像计测方法

    公开(公告)号:CN1734253A

    公开(公告)日:2006-02-15

    申请号:CN200510089128.0

    申请日:2005-08-02

    Abstract: 本发明是有关于一种光图像计测装置及光图像计测方法。该光图像计测装置,可使检测灵敏度提高并有效地求取干涉光的信号强度和相位信息。该光图像计测装置包括输出被周期性强度调制的光束的宽频带光源(2)、将光束转换为直线偏光的偏光板(3)、将光束分割为信号光(S)和参照光(R),并且使信号光(S)和参照光(R)进行重叠而生成干涉光(L)的半反射镜(6)、将参照光(R)转换为圆偏光的波长板(7)、利用使参照光(R)的频率进行位移的频率位移器(8)及压电元件(9A)而被移动的参照镜(9)、将干涉光(L)的(S)偏光成分(L1)和(P)偏光成分(L2)进行抽出的偏光分光器(11)、分别检测偏光成分(L1,L2)并输出检测信号的(CCD21,22)、根据该检测信号计算干涉光(L)的信号强度及相位的信号处理部(20);且根据该计算结果而形成被测定物体(O)的图像。

    光图像计测装置
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1670508A

    公开(公告)日:2005-09-21

    申请号:CN200510055319.5

    申请日:2005-03-15

    Abstract: 本发明是有关于一种光图像计测装置,可有效地求得由干涉光的背景光所构成的外差信号的直流成分。光图像计测装置包括干涉光学系统,将来自光源的光束以分光器分割成信号光和参照光,并利用频率位移器使参照光的频率进行位移,且使经过被测定物体的信号光和被镜反射的参照光重叠,生成干涉光;分光器,用于将干涉光分割为干涉光(L1、L2、L3);遮光器(31、32、33),为将各干涉光(L1、L2、L3)的强度以一定的周期进行调变的强度调变装置;CCD(21、22、23),接受强度调变的各干涉光,并输出电器信号;以及信号处理部,根据输出的电信号,计算对应于干涉光的背景光的直流成分的强度。

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