异常诊断装置
    22.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108351277B

    公开(公告)日:2021-03-23

    申请号:CN201680065807.0

    申请日:2016-11-10

    Abstract: 异常诊断装置具备检测从对象装置(200)流向外部的热流通量的传感器部(2)、以及判定对象装置(200)的异常的判定部(3)。传感器部(2)具有第一热流通量传感器、第二热流通量传感器、以及配置于第一热流通量传感器与第二热流通量传感器之间且具有规定的热容量的热缓冲体。第一热流通量传感器输出与从对象装置(200)侧朝向热缓冲体侧通过第一热流通量传感器的热流通量对应的第一传感器信号。第二热流通量传感器输出与从热缓冲体侧朝向远离对象装置(200)的一侧通过第二热流通量传感器的热流通量对应的第二传感器信号。判定部(3)基于第一传感器信号和第二传感器信号判定对象装置(200)有无异常。

    加热板及其制造方法与制造装置、使用该加热板的热流通量传感器的制造装置

    公开(公告)号:CN108293276B

    公开(公告)日:2021-02-12

    申请号:CN201680069417.0

    申请日:2016-11-29

    Abstract: 本发明提供加热板及其制造方法与制造装置、使用该加热板的热流通量传感器的制造装置。加热板(20)具备通电后发热的片状发热部件(200)、设置于片状发热部件的一个主面(201)侧并保护片状发热部件的保护膜(23)、设置于保护膜的与片状发热部件相反一侧的面(231)的输出电路部(25)、以及设置在保护膜与片状发热部件之间的突出部形成膜(26)。输出电路部具有突出部(251),该突出部形成为能够与作为检查对象的热流通量传感器所具有的端子抵接。突出部形成膜在与突出部对应的位置具有突起(261)。片状发热部件、保护膜、输出电路部以及突出部形成膜一体地形成。

    热流测定装置
    25.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109196318B

    公开(公告)日:2020-06-05

    申请号:CN201780031696.6

    申请日:2017-05-16

    Abstract: 本发明提供一种热流测定装置。热流测定装置(1)具备热通量传感器(10)以及热电偶片(200)。热通量传感器(10)具有:绝缘基材(100)、多个层间连接部件(130、140)、表面布线图案(111)、背面布线图案(121)、表面保护部件(110)以及背面保护部件(120)。热电偶片(200)具有热电偶(20)、第一绝缘片(210)以及第二绝缘片(220),并被固定于表面保护部件(110)与背面保护部件(120)从绝缘基材(100)向面方向延伸的位置。

    热通量传感器的制造方法及用于该方法的热流产生装置

    公开(公告)号:CN107615029B

    公开(公告)日:2019-12-27

    申请号:CN201680027230.4

    申请日:2016-04-20

    Abstract: 本发明提供热通量传感器的制造方法及用于该方法的热流产生装置。在热通量传感器(10)的制造方法中,在加热板(206)与冷却部(210)之间夹设热通量传感器(10)。而且,在热通量传感器(10)的一面侧配置有加热板(206),在另一面侧配置有冷却部(210)。另外,在加热板(206)的面中的与配置有热通量传感器(10)的面相反一侧的面配置有散热测定用工件(205)。在这样的结构中,在检查工序中,只要以加热板(206)达到环境温度的方式控制加热板(206)的温度即可。由此,能够使至令加热板(206)的温度稳定为止所花时间为较短时间。

    热通量传感器模块及其制造方法

    公开(公告)号:CN109416285A

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201780041047.4

    申请日:2017-06-26

    Abstract: 热通量传感器模块(2)具备:第一薄膜(20),具有一表面(21);多个传感器芯片(10),相互隔开空间地配置在一表面(21),并检测热通量;第二薄膜(30),层叠在第一薄膜(20)的一表面(21)侧,并在与第一薄膜(20)之间夹持多个传感器芯片(10);以及热传导部件(40),配置在相邻的传感器芯片(10)之间,且热传导率比空气高。热传导部件(40)与第一薄膜(20)和第二薄膜(30)双方接触。

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