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公开(公告)号：CN114346411A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202111550078.7
申请日：2021-12-17
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明提供一种辅助激光加工的气液喷雾射流冷却系统及方法，包括液压系统、超声雾化系统、气压系统、气液雾化系统、拉法尔管、光传输系统、非球面透镜系统，所述液压系统与超声雾化系统连接并实现液体的首次雾化并进入气液雾化系统；所述气压系统提供任意气体进入气液雾化系统；所述气液雾化系统实现气液的二次雾化流入拉法尔管；所述光传输系统和非球面透镜系统实现激光传输聚焦。本发明提出一种辅助激光加工的气液喷雾射流冷却系统及方法，能任意调控气液混合比例，二次雾化实现混合均匀的微米级液滴雾化射流，提高喷雾射流速度，提高冷却效果并保证加工效率，具有更为微小的激光光斑直径的优点，同时可实现能量均匀分布的平顶光束进行加工。
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公开(公告)号：CN111474709A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN202010468475.9
申请日：2020-05-28
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明公开一种耦合水束光纤的激光束聚焦方法及系统，设置相位板(6)，经准直扩束后的光束在相位板(6)进行相位调制后再生成无衍射光束，能降低无衍射光束的旁瓣效应，并提高中心光斑能量密度；设置正/负轴棱锥镜组合单元(7)将光束生成中心光斑小、准直区长的无衍射光束；利用退火算法对相位板(6)参数进行分析和优化，结合相位板(6)振幅透过率函数、正/负轴棱锥镜组合单元(7)振幅透过率函数、评价函数、水束-光束耦合条件对激光束准直扩束单元(5)、相位板(6)、正/负轴棱锥镜组合单元(7)做进一步的分析和优化，使得聚焦效果最优，提高光束的质量和水束-光束的耦合效率，降低水束-光束的耦合难度。
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公开(公告)号：CN109454347A
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201811628985.7
申请日：2018-12-29
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明属于激光加工技术领域，尤其为一种吸附式激光加工装置，包括激光加工主体以及激光加工主体上表面通过卡合连接的激光切割滑动臂，激光切割滑动臂的下方位于激光加工主体的内部通过螺栓连接的内槽板，所述激光切割滑动臂的底端卡合连接有压合组件，所述压合组件包括伸缩杆、第二滑轮、连接块、转动轴和滑块；本发明设置压合组件，通过移动两边的压合组件，并调节伸缩杆的长度，将伸缩杆调节到合适的位置，并拧紧伸缩杆一侧的旋钮限位螺拴，第二滑轮就会压合在待切割物料板两侧边缘位置处，激光切割滑动臂在移动进行切割时，第二滑轮会在物料板上压合并滚动，可以防止物料翘。
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公开(公告)号：CN108526091A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810325381.9
申请日：2018-04-12
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明为一种射流激光复合清洗方法和清洗系统，本方法空化射流冲击工件基材表面，产生水膜、水膜空化泡破溃冲击清洗基材表面，同时激光聚焦于水膜内，水膜在超热状态爆发沸腾、剧烈汽化，产生蒸汽泡冲击基材表面，延长空化射流的有效作用时间。本清洗系统包括空化射流装置、激光清洗装置；激光束和空化射流的中心线共面异轴，空化射流于工件表面产生水膜，激光束聚焦于水膜内与工件表面保持距离，激光束和空化射流协同作用于工作台上的工件表面进行清洗，效果明显优于现有清洗技术，可清除工件表面直径大于50nm的固体颗粒，满足晶圆基材表面加工要求。
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公开(公告)号：CN105817760A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201610271857.6
申请日：2016-04-27
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/14
CPC classification number: B23K26/146 , B23K26/1488
Abstract: 本发明为一种水导激光加工系统的喷嘴防溅装置，工作缸顶部为激光聚光透镜，底部装喷嘴，其中部密封隔离石英窗下方多支入水管注水，经喷嘴孔形成引导激光束的水束。工作缸下方固连中空的中间壳体，定子固定于中间壳体下部，转子可转动地安装于定子外侧，挡盘固定于转子下方，挡盘大于中间壳体底部开口，挡盘中心孔径大于工作缸底部通孔径。定子、转子、挡盘中心孔、中间壳体与喷嘴孔的中心线重合。使用时，转子带动挡盘高速旋转，挡盘阻挡加工时溅射的水，挡盘上的水珠被甩下，不会积聚影响出射水束，防止拉偏水束烧蚀喷嘴，利于提高加工精度，改进水导激光加工质量，也延长了水导激光装置的工作寿命。本装置方便在现有水导激光设备上加装。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118141508A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202410264390.7
申请日：2024-03-08
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明一种稳定且易更换的光纤引流环形水激光头结构及其系统，激光头结构包括外壳结构、环形水溢流腔体结构、激光耦合传输结构。外壳结构由上下两部分组件构成。环形水溢流腔体可形成稳定均匀黏附光纤壁的环形水，可以显著降低环形水在冷却辅助时对激光能量的吸收。激光耦合传输结构包括从聚焦透镜聚焦的激光，经过固定光纤和耦合系统耦合进拔插光纤内，由耦合器将两段光纤耦合传输激光，便于更换下端光纤。在环形水溢流腔体结构以及激光头外壳结构的作用下，即使在一定倾斜角度下也能保证环形水的稳定。该系统包括激光的传输系统、供水系统以及废液回收系统。本发明可进行低损伤、高深宽比且需经常更换光纤的生物硬组织消融。
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公开(公告)号：CN110883424B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN201911156189.2
申请日：2019-11-22
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/14 , B23K26/142 , B23K26/146 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种水导激光柔性化微加工系统及方法，包括光纤传输耦合单元、工作台单元和高压供液单元，光纤传输耦合单元包括光纤固定转接模块和光束耦合传输模块，光束耦合传输模块包括耦合体、上压头和下喷嘴座，光纤固定转接模块将柔性光纤的端头定中于上压头与下喷嘴座之间的液层腔，耦合体上的入水口连通液层腔，于下喷嘴座上设有喷嘴块，喷嘴块上的喷孔与下喷嘴座上的喷口连通；耦合体夹持在机器人的机械手上；高压供液单元输出的无级调压高压水经入水口汇集于液层腔形成低压稳流水；工作台单元包括三轴联动的工作台，工件的装夹固定台板通过水槽设于工作台上。本发明结构简单、紧凑和灵活，可实现工件多维度柔性化微加工。
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公开(公告)号：CN108480842B
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN201810600995.3
申请日：2018-06-12
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种水导激光耦合分流稳压装置，包括分流稳压腔室，所述分流稳压腔室包括侧部的至少一个进水口和底部的水束光纤出口以及顶部与水束光纤出口同心的激光照射口，所述激光照射口上安装有激光镜片，分流稳压腔室内部设有水流通道连通进水口和水束光纤出口，所述水流通道自外而内于不同径向圆周上通过不断增多的内分水口将水流不断分流后均布汇流于水束光纤出口，第一径向圆周上的内分水口为2个，第二径向圆周上的内分水口为4个，第三径向圆周上的内分水口为8个，第四径向圆周上的内分水口为16个……以此类推。本发明经过内部分流稳压腔体将进水口的水流进行分流与合流，从而达到从水束光纤出口喷出的水束流速稳定、水压均衡的目的。
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公开(公告)号：CN114838038A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202210267302.X
申请日：2022-03-18
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: F15D1/00
Abstract: 本发明一种比例液压弹簧高压水射流脉动衰减器，包括比例活塞，低压腔体、高压腔体、液压弹簧、扇形插销、加液螺栓和端盖等零件；所述比例活塞可更换不同材料和不同厚度，液压弹簧可采用多种粘度和弹性液体；所述高压腔体采用“T”型容腔设置可存放更多不同种类液压弹簧；所述可通过加液弹簧处更换不同液压弹簧。本发明提出一种比例液压弹簧高压水射流脉动衰减器，其利用比例活塞面积差对液压弹簧弹性进行放大获得更好的脉动控制效果和更高的工作压力；其可更换比例活塞和液压弹簧致使其固有频率与系统频率相近可达到更好脉动控制效果。
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公开(公告)号：CN114833474A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202210321160.0
申请日：2022-03-30
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/70 , B23K26/046 , B23K26/064
Abstract: 本发明提供一种高效耦合的水导激光加工系统及方法，包括从上至下依次为光传输系统，水‑光耦合系统和气液复合系统；所述光传输系统由反射镜、凸透镜、自聚焦镜和光纤组成，简化了光路传输系统；自聚焦镜下端平面直接与光纤粘接，可将激光高效的耦合进入光纤；光纤与特种光纤直接连接，可降低能量损失；特种光纤一端浸没在薄水层中，可将激光直接聚焦在喷嘴中心上表面及以下，与喷嘴中心的水束实现高效耦合；采用多级式溢流台阶可有效的消除水流动过程中的脉动，提高水束稳定性；采用环形气体束包裹在水束外围，可有效避免积水；采用特种光纤有利于减小耦合腔的体积和重量，并具有装置结构简单，密封性能好的优点。
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