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公开(公告)号:CN1550333A
公开(公告)日:2004-12-01
申请号:CN200410043338.1
申请日:2004-05-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 水谷诚吾
CPC classification number: H05K3/0008 , H01L51/0004 , H05K1/0266 , H05K3/0097 , H05K3/125 , H05K2201/09918 , H05K2203/013
Abstract: 本发明的液滴喷出装置(1)通过从排列在功能性液滴喷出头(5)上的喷嘴列(6)中选择性地喷出功能性液体,在工件(W)上进行描绘,该装置带有下述部件:由线性标尺(52)和面对该线性标尺的线性传感器(51)构成的线性编码器(50)、基于线性传感器对线性标尺的计数结果,驱动控制从喷嘴列中喷出功能性液体的驱动控制机构,其中上述线性标尺(52)由在工件上形成标记的标记列构成,线性标尺带有基准标记(M1),该基准标记(M1)示出了排列在垂直于线性传感器的检测方向的方向上的各描绘区域列的检测开始位置,该基准标记以与其它标记不同的形态形成标记。由此,即使当温度变化引起工件的尺寸发生变化时,也能保持功能性液体的喷出精度。
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