曝光装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105474104A

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201480046673.9

    申请日:2014-08-18

    Abstract: 提供一种曝光装置,即便是设于工件的背面的对准标记,也能可靠地使其与掩模对准标记对位,并能高精度地将掩模图案曝光于工件上。本发明的曝光装置包括:掩模(13),该掩模(13)设有掩模对准标记(131);掩模保持件(12),该掩模保持件(12)对掩模(13)进行保持;平台(15),该平台(15)对工件(14)进行装设并加以固定,该工件(14)在面(145)上具有工件对准标记(141),该面(145)是设有掩模对准标记(131)的面(135)所面对的面的相反一侧的面。平台(15)包括光学零件,当对装设的工件(14)的工件对准标记(141)进行摄像时,该光学零件使光在内部奇数次反射,以在比工件(14)的尺寸靠外侧的位置形成像,平台驱动装置根据通过该光学零件形成的像将掩模对准标记(131)和工件对准标记(141)对位。

    一种FPC拼板及其拼板设计方法

    公开(公告)号:CN105407637A

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201510978455.5

    申请日:2015-12-23

    Inventor: 王杰 李红勇 夏阳

    CPC classification number: H05K1/14 H05K3/0052 H05K2201/09918

    Abstract: 本发明公开了一种FPC拼板及其拼板设计方法,旨在提供一种结构简单、品质高、材料利用率高的FPC拼板,同时还提供了该FPC拼板的简单、高效的设计方法。所述FPC拼板,包括基板(1),其特征在于:所述基板(1)上设有若干个大板(10),所述大板(10)呈矩阵排列,所述大板(10)内还设有空白区(11),所述空白区(11)设有若干个小板(12)。所述的FPC拼板的设计方法包括如下步骤:a、选择一块基板,在所述基板按最大限度按矩阵排列方式布满大板;b、在所述大板内的空白区内布满小板;c、将所述大板和所述小板从所述基板上冲切下来。本发明应用于FPC的技术领域。

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