公开(公告)号：CN103429894A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201280010955.4

申请日：2012-04-04

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 新田慎一 ,  板藤宽

IPC: F04B43/02 ,  F04B9/00 ,  F04B43/04 ,  F16J3/02 ,  F16J15/52 ,  F16K7/12

CPC classification number: B32B7/12 ,  F04B43/02 ,  F04B43/021 ,  F04B43/04 ,  F16J3/02 ,  F16K7/12 ,  Y10T428/24331 ,  Y10T428/24752 ,  Y10T428/31678

Abstract: 本发明提供一种兼顾操作性和耐压性的同时且具有优良的维修性的流体设备用多层隔膜。该多层隔膜（180a）具备：第一及第二板材（181、182）、将第一及第二金属板（181、182）互相粘合起来的弹性粘合层（183）。弹性粘合层（183）具有弹性层，该弹性层在使第一及第二金属板（181、182）在其平面方向上互相错开的方向上具有弹性。多层隔膜（180a）的在比第一及第二金属板（181、182）向外缘方向突出的位置设置有金属制的安装用板材，该安装用板材具有对流体设备进行安装的安装部。

公开(公告)号：CN101295186B

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN200810089941.1

申请日：2008-04-11

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  CKD株式会社

Inventor： 永关一也 ,  小林义之 ,  村上幸一 ,  野中龙 ,  须藤良久 ,  板藤宽 ,  国保典男

IPC: G05D23/19 ,  G05D23/01

CPC classification number: G05D23/19

Abstract: 一种温度控制装置，通过在配置于被控对象附近的调温部(11)使流体循环来预期地控制被控对象的温度，其包括：加热流体并使流体在调温部(11)循环的加热通路(40)；冷却流体并使流体在调温部(11)循环的冷却通路(20)；使流体在调温部(11)循环而不通过加热通路(40)及冷却通路(20)的旁通路(30)；以及对来自加热通路(40)、冷却通路(20)、旁通路(30)通过对它们进行汇流的汇流部(12)向调温部(11)输出流体的流量比进行调节的调节装置(44，24，34)。调节装置(44，24，34)位于加热通路(40)，冷却通路(20)，旁通路(30)的各下游侧且设置在汇流部(12)的上游侧。

公开(公告)号：CN102470282B

公开(公告)日：2013-02-13

申请号：CN201080027864.2

申请日：2010-03-30

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 纐缬雅之 ,  板藤宽

IPC: B01D1/22 ,  B01J7/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: B01B1/005

Abstract: 本发明提供一种能够解决液体材料残留问题并能促进液体材料汽化的液体汽化系统。液体汽化系统10设置有液体汽化装置20。本装置20包括泵11和汽化器12。汽化器12包括箱体21、设于箱体21内部的加热器、通过加热器加热的蓄热板23、及设于蓄热板23上的筛网24。筛网24通过编织线材24a来形成且整体上呈平板状。蓄热板23的顶面层叠有筛网24，以在蓄热板23上通过筛网24形成细微的凹凸。筛网24的上方设有喷嘴27，液体材料从该喷嘴27滴至蓄热板23(筛网24)上。液体材料在蓄热板23上扩散为薄膜状并在蓄热板23的顶面被加热汽化。