-
公开(公告)号：CN115193283B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202210206477.X
申请日：2022-03-02
IPC: B01F25/432 , B01F33/3012
Abstract: 一种微型混合器(100)，具备：第一流路板(40)，其在表侧面通过非贯通槽形成有第一流路(51)和多个第一分割流路(53、55)，在里侧面通过非贯通槽形成有第一合流流路，并使多个第一分割流路和第一合流流路连通；第一盖板(10A、10B、20、30)，其覆盖第一流路板的表侧面；第二流路板(60)，其在表侧面通过非贯通槽形成有第二合流流路(77)，在里侧面通过非贯通槽形成有第二流路和多个第二分割流路，并使多个第二分割流路和第二合流流路连通；以及第二盖板(80、90A至90C)，其覆盖第二流路板的里侧面。
-
公开(公告)号：CN104696569B
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201410730209.3
申请日：2014-12-04
Applicant: CKD株式会社
IPC: F16K27/00
Abstract: 本发明的目的是保持装置良好的可维护性并且使这种装置更加小型化或集成化。流路块的结构为，在内部形成有流体的流路，在排列方向上排列多个流体控制器件并能够进行安装。此外，流路块的结构为，将在排列方向上排列的多个流体控制器件的组在宽度方向上排列并能够进行安装。作为上述流路的第一流路沿排列方向设置以使得构成上述组的多个流体控制器件互相连接。作为上述流路的第二流路沿宽度方向设置，以使得各个上述组相互连接。本发明的特征在于，流路块具有连接部。在将两个流路块在所述宽度方向上并列地相邻配置的状态下，该连接部能够将两个所述流路块的第二流路互相连接。
-
公开(公告)号：CN103912720B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201410114225.X
申请日：2011-01-10
Applicant: CKD株式会社
IPC: F16K51/02
CPC classification number: H01L21/6719 , H01L21/67253 , Y10T137/0318 , Y10T137/2562 , Y10T137/2572 , Y10T137/7758 , Y10T137/7761 , Y10T137/777
Abstract: 提供真空控制阀以及真空控制系统。真空控制阀包括：控制阀主体，具有连接真空容器和真空泵的流路、形成于流路的阀座；动作部，具有阀体、活塞、连结阀体和活塞的杆，阀体通过调节提升量操控阀开度，通过与阀座抵接切断流路；汽缸，与控制阀主体连接并收纳活塞；施压部，在使提升量减小的方向上对动作部施压；调压阀，追随活塞的动作，密封活塞外周面与汽缸内周面之间的间隙。动作部及汽缸包括：阀开度操控室，是由调压阀密封且具有呈包围杆的筒形的空间，根据工作流体的作用压力对活塞在使提升量增大的方向上产生载荷；切断载荷产生室，形成于杆的内部，与阀开度操控室共中心轴线，在被供给工作流体时，对动作部在使提升量减小的方向上产生载荷。
-
公开(公告)号：CN103912720A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201410114225.X
申请日：2011-01-10
Applicant: CKD株式会社
IPC: F16K51/02
CPC classification number: H01L21/6719 , H01L21/67253 , Y10T137/0318 , Y10T137/2562 , Y10T137/2572 , Y10T137/7758 , Y10T137/7761 , Y10T137/777 , F16K51/02 , C23C16/52
Abstract: 提供真空控制阀以及真空控制系统。真空控制阀包括：控制阀主体，具有连接真空容器和真空泵的流路、形成于流路的阀座；动作部，具有阀体、活塞、连结阀体和活塞的杆，阀体通过调节提升量操控阀开度，通过与阀座抵接切断流路；汽缸，与控制阀主体连接并收纳活塞；施压部，在使提升量减小的方向上对动作部施压；调压阀，追随活塞的动作，密封活塞外周面与汽缸内周面之间的间隙。动作部及汽缸包括：阀开度操控室，是由调压阀密封且具有呈包围杆的筒形的空间，根据工作流体的作用压力对活塞在使提升量增大的方向上产生载荷；切断载荷产生室，形成于杆的内部，与阀开度操控室共中心轴线，在被供给工作流体时，对动作部在使提升量减小的方向上产生载荷。
-
公开(公告)号：CN102129256B
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201110006248.5
申请日：2011-01-10
Applicant: CKD株式会社
IPC: G05D16/16 , F16K31/122
CPC classification number: H01L21/6719 , H01L21/67253 , Y10T137/0318 , Y10T137/2562 , Y10T137/2572 , Y10T137/7758 , Y10T137/7761 , Y10T137/777
Abstract: 本发明涉及对真空容器内部的气体流动进行控制的技术。本发明提供一种真空控制系统(10)，其使用真空泵控制真空容器(500)中的工艺气体的真空压力和流动，所述真空容器(500)接收由供气部提供的工艺气体并对处理对象执行处理。所述真空控制系统(10)包括：多个真空控制阀(100，200)，分别连接于各排气口(561，562)和真空泵(300)之间，所述各排气口(561，562)配置于所述真空容器(500)中互不相同的位置；压力测量部(631)，测量被提供给所述处理对象的工艺气体的真空压力；以及控制装置(610)，根据测量出的真空压力对所述多个真空控制阀(100，200)的各自的开度进行操控。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102470282A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080027864.2
申请日：2010-03-30
Applicant: CKD株式会社
IPC: B01D1/22 , B01J7/00 , H01L21/027
CPC classification number: B01B1/005
Abstract: 本发明提供一种能够解决液体材料残留问题并能促进液体材料汽化的液体汽化系统。液体汽化系统10设置有液体汽化装置20。本装置20包括泵11和汽化器12。汽化器12包括箱体21、设于箱体21内部的加热器、通过加热器加热的蓄热板23、及设于蓄热板23上的筛网24。筛网24通过编织线材24a来形成且整体上呈平板状。蓄热板23的顶面层叠有筛网24，以在蓄热板23上通过筛网24形成细微的凹凸。筛网24的上方设有喷嘴27，液体材料从该喷嘴27滴至蓄热板23(筛网24)上。液体材料在蓄热板23上扩散为薄膜状并在蓄热板23的顶面被加热汽化。
-
公开(公告)号：CN102129256A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201110006248.5
申请日：2011-01-10
Applicant: CKD株式会社
IPC: G05D16/16 , F16K31/122
CPC classification number: H01L21/6719 , H01L21/67253 , Y10T137/0318 , Y10T137/2562 , Y10T137/2572 , Y10T137/7758 , Y10T137/7761 , Y10T137/777
Abstract: 本发明涉及对真空容器内部的气体流动进行控制的技术。本发明提供一种真空控制系统(10)，其使用真空泵控制真空容器(500)中的工艺气体的真空压力和流动，所述真空容器(500)接收由供气部提供的工艺气体并对处理对象执行处理。所述真空控制系统(10)包括：多个真空控制阀(100，200)，分别连接于各排气口(561，562)和真空泵(300)之间，所述各排气口(561，562)配置于所述真空容器(500)中互不相同的位置；压力测量部(631)，测量被提供给所述处理对象的工艺气体的真空压力；以及控制装置(610)，根据测量出的真空压力对所述多个真空控制阀(100，200)的各自的开度进行操控。
-
公开(公告)号：CN116288130A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310440218.8
申请日：2019-10-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , CKD株式会社
Abstract: 本发明提供一种粉末供给装置及喷镀装置。该粉末供给装置用于自送料器向喷嘴供给粉末,该粉末供给装置包括:盒部,其具有:口部,其用于放入、取出粉末；以及开闭阀,其用于开闭上述口部,并且该盒部在气密状态下收纳上述粉末；补给器,其具有:容纳部,其用于可装卸地容纳上述盒部；补给口,其用于将容纳于上述容纳部的上述盒部内的上述粉末补给至上述送料器；以及开闭阀,其用于开闭上述补给口；以及送料器,其用于将自上述补给口补给的上述粉末投入上述喷嘴,上述盒部以及上述补给器通过在上述补给器中容纳上述盒部,从而在上述口部与上述补给口之间形成密闭空间。
-
公开(公告)号：CN112930416A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201980069561.8
申请日：2019-10-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , CKD株式会社
Abstract: 本发明提供一种粉末供给装置,其用于自送料器向喷嘴供给粉末,该粉末供给装置包括:盒部,其具有:口部,其用于放入、取出粉末；以及开闭阀,其用于开闭上述口部,并且该盒部用于在气密状态下收纳上述粉末；以及送料器,其具有:连接部,其用于可装卸地连接上述盒部；补给口,其用于将与上述连接部连接的上述盒部内的上述粉末补给至上述送料器内；以及开闭阀,其用于开闭上述补给口,并且该送料器用于将自上述补给口补给的上述粉末投入上述喷嘴,上述盒部以及上述送料器通过上述盒部连接于上述连接部,从而在上述口部与上述补给口之间形成密闭空间。
-
公开(公告)号：CN103429894B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201280010955.4
申请日：2012-04-04
Applicant: CKD株式会社
CPC classification number: B32B7/12 , F04B43/02 , F04B43/021 , F04B43/04 , F16J3/02 , F16K7/12 , Y10T428/24331 , Y10T428/24752 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明提供一种兼顾操作性和耐压性的同时且具有优良的维修性的流体设备用多层隔膜。该多层隔膜（180a）具备：第一及第二板材（181、182）、将第一及第二金属板（181、182）互相粘合起来的弹性粘合层（183）。弹性粘合层（183）具有弹性层，该弹性层在使第一及第二金属板（181、182）在其平面方向上互相错开的方向上具有弹性。多层隔膜（180a）的在比第一及第二金属板（181、182）向外缘方向突出的位置设置有金属制的安装用板材，该安装用板材具有对流体设备进行安装的安装部。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
23
records
(took 0.024 seconds)
