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公开(公告)号：CN107378235B
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201710811655.0
申请日：2017-09-11
Applicant: 中南大学
IPC: B23K26/067 , B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/03
Abstract: 本发明提供了一种飞秒激光加工系统及方法，所述方法包括：开启所述第一光闸，关闭所述第二光闸，所述第一光路将所述第一飞秒激光束的激光通量调整至低于所述待加工工件的改性阈值，并将经调整后的第一飞秒激光束传播至待加工工件的待加工区域，对所述待加工工件的待加工区域进行辐照；开启所述第二光闸，所述第二光路将所述第二飞秒激光束聚焦至所述待加工工件的待加工区域，对所述待加工工件的待加工区域进行加工。一方面通过在对待加工工件进行加工之前，第一飞秒激光束对待加工工件的待加工区域进行辐照；另一方面通过在对待加工工件进行加工过程中，第一飞秒激光束对待加工工件的待加工区域进行辅助加工，可大幅度提高加工效率。
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公开(公告)号：CN105628062B
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201510992343.5
申请日：2015-12-25
Applicant: 中南大学
IPC: G01D5/26
Abstract: 本发明提供了一种基于平板波导共振耦合的光传感器、调制器及其制作方法。具体来说，光传感器包括光纤传感器和光波导型传感器，光调制器包括光纤调制器和光波导型调制器。其中，该方法包括：将单模光纤的两端固定，并使所述单模光纤呈拉直状态；在所述单模光纤的一侧沿光纤传输方向上，通过高深宽比结构加工方法沿预设的路径对所述单模光纤的包层进行处理，以去除一部分所述包层形成预设形状的沟槽；在所述沟槽中填充敏感物质，以使所述敏感物质与所述光纤的纤芯形成平板波导共振耦合结构。该发明能够避免长时间的在线监测，简化膜厚控制工艺，且沟槽形状及宽度控制灵活，光纤传感器、调制器结构简单、紧凑且灵敏度高。
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公开(公告)号：CN105628062A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201510992343.5
申请日：2015-12-25
Applicant: 中南大学
IPC: G01D5/26
CPC classification number: G01D5/268
Abstract: 本发明提供了一种基于平板波导共振耦合的光传感器、调制器及其制作方法。具体来说，光传感器包括光纤传感器和光波导型传感器，光调制器包括光纤调制器和光波导型调制器。其中，该方法包括：将单模光纤的两端固定，并使所述单模光纤呈拉直状态；在所述单模光纤的一侧沿光纤传输方向上，通过高深宽比结构加工方法沿预设的路径对所述单模光纤的包层进行处理，以去除一部分所述包层形成预设形状的沟槽；在所述沟槽中填充敏感物质，以使所述敏感物质与所述光纤的纤芯形成平板波导共振耦合结构。该发明能够避免长时间的在线监测，简化膜厚控制工艺，且沟槽形状及宽度控制灵活，光纤传感器、调制器结构简单、紧凑且灵敏度高。
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公开(公告)号：CN117538966A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311604977.X
申请日：2023-11-29
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明公开了一种多焦距微透镜阵列的加工方法，属于激光应用技术领域。本发明的目的是为了解决传统平面微透镜阵列只有单一焦距，加工效率低和加工难度大的问题；该方法通过对超快激光进行空间整形得到在石英内部聚焦深度不同的多焦点阵列，实现在石英玻璃内部不同深度的烧蚀。之后通过氢氟酸溶液对被烧蚀的石英玻璃进行刻蚀，利用在石英内部烧蚀点深度不同的特点，在石英表面上制备了不同焦距的微透镜阵列。该方法的优势是加工效率高，结构形貌可控，加工质量高，并且子透镜的最大焦距和最小焦距的比值大，可满足微透镜阵列在不同应用场合的需求。
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公开(公告)号：CN114985908B
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202210818088.2
申请日：2022-07-13
Applicant: 中南大学
IPC: B23K26/0622 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种微型回转式谐振结构的高精度加工系统和方法，系统包括：飞秒激光器、光路模块、多轴运动平台、微调装置、机器视觉高倍成像模块、图像处理程序、加工路径规划模块。所述飞秒激光器配合光路模块可实现对微型器件的高精度加工；所述多轴运动平台可承载样品与激光焦点作相对运动，实现复杂轮廓形状的三维加工；所述微调装置可实现微型回转式谐振结构在两个水平方向的距离微调，配合视觉成像模块可实现样品精准定位。本发明也公开了一种微型回转式谐振结构的高精度加工方法，在上述系统的基础上，通过将机器视觉高倍成像模块与图像处理技术应用于飞秒激光加工系统，实现样品与飞秒激光焦点的精准定位，结合自动控制程序为微型回转式谐振结构的高精度加工提供方法，保证了谐振结构加工后的高度三维对称性，具有操作简单，自动化程度高等特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114985908A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210818088.2
申请日：2022-07-13
Applicant: 中南大学
IPC: B23K26/0622 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种微型回转式谐振结构的高精度加工系统和方法，系统包括：飞秒激光器、光路模块、多轴运动平台、微调装置、机器视觉高倍成像模块、图像处理程序、加工路径规划模块。所述飞秒激光器配合光路模块可实现对微型器件的高精度加工；所述多轴运动平台可承载样品与激光焦点作相对运动，实现复杂轮廓形状的三维加工；所述微调装置可实现微型回转式谐振结构在两个水平方向的距离微调，配合视觉成像模块可实现样品精准定位。本发明也公开了一种微型回转式谐振结构的高精度加工方法，在上述系统的基础上，通过将机器视觉高倍成像模块与图像处理技术应用于飞秒激光加工系统，实现样品与飞秒激光焦点的精准定位，结合自动控制程序为微型回转式谐振结构的高精度加工提供方法，保证了谐振结构加工后的高度三维对称性，具有操作简单，自动化程度高等特点。
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公开(公告)号：CN113029333A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110330128.4
申请日：2021-03-29
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明公开了一种激光功率检测装置及其测量方法。所述激光功率检测装置包括基座、光学元件和光纤微结构光谱测试系统。所述光学元件包括平凸柱面透镜和光纤微结构。所述基座包括：固定平凸柱面透镜的镜架，固定光纤的光纤夹具，调整控制光纤位置和角度的三维手动平台，连接镜架、光纤夹具和三维手动平台的基板。所述光纤微结构光谱测试系统包括：光谱分析仪及信号光源。测量方法是利用平凸柱面透镜将激光光束聚焦到光纤微结构上，激光辐照会改变布拉格光栅的有效折射率，使布拉格光栅的中心波长发生漂移，通过观测中心波长的漂移量可以得到激光的功率值。与光电式光功率检测装置相比，本发明具有可测任意波长激光功率、测量精度高和可实现微区检测等优点。
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公开(公告)号：CN112756798A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202110015654.1
申请日：2021-01-07
Applicant: 中南大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种薄膜辅助超短脉冲激光表面元素注入方法，该方法首先将配置好溶液涂覆在靶材表面，溶液在材料表面形成均匀的薄膜层。通过超短脉冲激光烧蚀加工，在靶材表面上制备微纳结构。与此同时，薄膜层在超短脉冲激光的作用下将其所含有的元素注入到靶材表面。通过超短脉冲激光一次加工，实现微纳结构的制备及元素注入。经过超声清洗后，注入元素仍然稳定存在于微纳结构内部，而未处理表面则没有元素注入。通过改变激光功率、扫描速度和薄膜层厚度等，可控制激光处理区域元素含量。该方法具有设备简易、元素注入效率高、加工区域选择性好、元素浓度可调和加工对象广的特点，可应用于减反、耐磨、抗腐蚀和细胞定向生长等领域，具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN109920603B
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN201910165373.7
申请日：2019-03-05
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明提供了一种提高银纳米线透明导电膜导电性的装置及方法，其中，所述装置包括：控制器，飞秒激光器、聚焦光路、三维运动平台和衬底，所述控制器分别与所述飞秒激光器和所述三维运动平台连接，所述聚焦光路包括光闸、衰减片、反光镜、光阑和透镜，依次设置于所述飞秒激光器和所述三维运动平台之间。本发明所述装置采用的提高银纳米线透明导电膜导电性的方法，有效地降低了银纳米线的结电阻，提高了银纳米线透明导电膜的导电性，同时能避免对银纳米线薄膜及柔性衬底造成损伤，并且本方法易于保持银纳米线透明导电膜的透光性，工艺简单，成本低廉，适用于工业生产。
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公开(公告)号：CN110007394B
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201910413580.X
申请日：2019-05-17
Applicant: 中南大学
IPC: G02B6/02
Abstract: 本发明属于光纤器件领域，公开了一种制备相移光纤布拉格光栅的方法，该制备方法将两个倾角不同的倾斜布拉格光栅刻写在光纤纤芯，两个光栅的栅区叠加在一起形成相移布拉格光栅。与现有技术相比，该方法操作简单，成本低，制备的相移布拉格光栅透射峰的位置和调制深度均可调节。本发明方法制备的相移布拉格光栅可用于制作传感器、可调节窄带滤波器等。经实验验证，本发明提供的制备方法和加工设备可以制备透射峰峰位不同的相移布拉格光栅。
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