一种快速制备表面周期结构方法

    公开(公告)号:CN110303244A

    公开(公告)日:2019-10-08

    申请号:CN201910675104.5

    申请日:2019-07-25

    Abstract: 本发明公开了一种快速制备表面周期结构方法,包括中心线重合、且依次布设的飞秒激光器和扩束系统,设置在飞秒激光器与扩束系统之间、且沿光线传输方向依次布设的半波片和格兰泰勒棱镜,以及设置在扩束系统后、用于形成尺寸可调的空心聚焦光束的空心聚焦元器件。制备表面周期结构方法包括以下步骤:利用飞秒激光器产生激光束,并经半波片调整入射的激光束的激光强度和经格兰泰勒棱镜调整激光束的偏振方向;利用扩束系统扩展激光束;调整空心聚焦元器件的物距,以连续改变空心聚焦光束半径并进行极坐标径向扫描。通过上述方案,本发明具有结构简单、制备效率高等优点,在微纳结构制备技术领域具有很高的实用价值和推广价值。

    一种准随机结构的高级衍射抑制光栅

    公开(公告)号:CN108761607A

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201810557606.3

    申请日:2018-06-01

    Abstract: 本发明公开一种准随机结构的高级衍射抑制光栅,包括不透光基底;所述不透光基底上开设有多个形状和面积相同且互不相交的多边形基元,所述不透光基底上还设置有多个梯形区域,所述多个梯形区域呈正方点阵周期性排列、且正方点阵的周期为d,所述每个梯形区域内有且仅有一个所述多边形基元,所述多边形基元中心在所述梯形区域内随机分布。与现有的高级衍射抑制光栅相比,有效降低了工艺难度,解决了基元加工误差重新引入高级衍射的问题;在红外、可见光、极紫外、软X射线等各个波段均能够有效抑制2n,3n级高级衍射(n为非零整数),为提高光谱测量精度和单色化光谱纯度提供了技术保证和工艺支持。

    基于Fresnel波带片编码的超分辨成像方法及其实现装置

    公开(公告)号:CN105674923B

    公开(公告)日:2018-08-17

    申请号:CN201610006319.4

    申请日:2016-01-06

    Abstract: 本发明公开了一种基于Fresnel波带片编码的超分辨成像方法及其实现装置,解决现有Fresnel波带片编码成像方式不能获得具有超分辨率的待测目标图像的问题。本发明包括以下步骤:(1)使用Fresnel波带片作编码孔对待测目标进行编码成像,得到待测目标物的编码图;(2)使用Fresnel波带片的第m阶Gabor波带片的透过率函数进行编码图的复原,得到超分辨率的待测目标的原始图像;m>0。本发明构思合理、设计巧妙、适用范围广,其通过将Fresnel波带片的第m阶Gabor波带片的透过率函数来进行编码图的复原,从而打破了瑞利判据的限制,很好地实现了待测目标的超分辨成像。

    一种轴向线聚焦螺旋波带片

    公开(公告)号:CN105158834B

    公开(公告)日:2017-12-29

    申请号:CN201510719311.8

    申请日:2015-10-29

    Abstract: 本发明公开了一种轴向线聚焦螺旋波带片,该波带片由一系列非连续的螺旋形透光环带和挡光环带交替排列构成,以一定的排布调节不同周期内的螺旋环带坐标,使得入射光经过不同周期内的环带聚焦到不同的焦点处,形成一个空心柱状的线焦点。与具有相同数值孔径的普通螺旋波带片相比,有效拉长光轴上的焦点尺度;设计制作便捷,只需要根据需求,设计螺旋环带的生成公式及每个周期对应的焦距;易于实际推广应用,特别是真空紫外到软X射线波段;在微粒子操控、极紫外光刻、天文学、显微镜、微电力系统等研究领域具有广泛应用前景。

    一种透射式自聚焦单级衍射光栅

    公开(公告)号:CN104777540A

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:CN201510193509.7

    申请日:2015-04-23

    CPC classification number: G02B5/1866 G02B2005/1804

    Abstract: 本发明提供一种透射式自聚焦单级衍射光栅,光栅中存在两类基元:矩形孔和长矩形条。两类基元具有相同的宽度,不同的长度。长矩形条的长度是矩形孔长度的几十到上百倍。在垂直于光栅衍射方向,相邻矩形孔之间和相邻长矩形条之间紧密叠放在一起;在沿着衍射方向,矩形孔和长矩形条分别按照各自的分布规律随机排布在光栅基底表面。在矩形孔和长矩形条排布的重叠区域,满足两者二维透过率函数相乘的关系。本发明只存在0级和正负1级衍射,能有效地消除高次谐波对光谱的影响;且存在一个与光栅平面垂直的焦平面,用于聚焦不同能量的光子。本发明集分光、聚焦和高次谐波抑制等特点于一身,且具有与普通光栅不同的衍射模式,是一种复合光学元件。

    一种X射线波带片显微成像系统
    38.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116660295A

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN202310633949.4

    申请日:2023-05-31

    Abstract: 本发明公开了一种X射线波带片显微成像系统,包括X射线波带片a、针孔、X射线波带片b和探测器,X射线波带片a、针孔、X射线波带片b和探测器沿光束传播方向依次设置,针孔放置在X射线波带片a的待测物体的像面位置,探测器放置在X射线波带片b的待测物体的像面位置。通过利用X射线波带片a对不同光子能量的X射线聚焦焦距的差别,使得不同光子能量的入射X射线成像在X射线波带片a光轴的不同位置,并通过针孔有效阻挡其他光子能量的X射线,从而提高了X射线的单色性,再通过X射线波带片b对X射线波带片a的初级像进行二次成像,从而提高了X射线的分辨率,适用于X射线管、激光等离子体等宽谱光源的高分辨成像平台。

    一维X射线折射闪耀波带片
    40.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113345619B

    公开(公告)日:2022-07-12

    申请号:CN202110666245.8

    申请日:2021-06-16

    Abstract: 本发明公开了一种一维X射线折射闪耀波带片,包括从下至上依次堆叠的数层波带片基板;任一层波带片基板包括支撑基底,波带片偶数(或奇数)环带由设置在支撑基底上的微纳棱柱构成,相应的奇数(或偶数)环带为矩形栅条结构。通过上述方案,本发明具有高衍射效率、高信噪比等优点,在X射线光学技术领域具有很高的实用价值和推广价值。

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