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公开(公告)号：CN102565903A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201210007105.0
申请日：2012-01-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种随机达曼光栅的制备方法，包括下列步骤：①在两面平行的透明介质基片的一面涂匀光刻胶，置于随机光场下曝光显影并刻蚀，从而在刻蚀面形成具备一定深度的随机图案，②在所述的透明介质另一面涂匀光刻胶，置于达曼光栅掩模图案下曝光显影和刻蚀，形成具备一定深度的传统达曼光栅结构图案。或先单独加工一个传统的达曼光栅和一个随机相位板，将所述的达曼光栅和所述的随机相位板紧贴组合在一起形成。本发明随机达曼光栅具备衍射光信息量大的优点，相对于传统随机相位板，随机达曼光栅衍射光具备规则点阵光信息，信噪比高，信号处理方便等优点。随机达曼光栅有望在精密测量、机器视觉、航空航天等领域得到广泛的应用。
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公开(公告)号：CN102360147A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201110298062.1
申请日：2011-09-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于深刻蚀透射式石英光栅的啁啾控制装置，包括一对平行放置的高密度、深刻蚀、透射式熔融石英光栅对和一块二次非球面反射镜，所述的深刻蚀透射式石英光栅的周期为750nm，刻蚀深度为1900nm，占空比为0.6。本发明结构通过引入较强的空间啁啾，可以使光栅表面承载的激光功率密度大幅降低，同时可以保证在凹面反射镜焦点处获得超高能量超短脉冲的激光光场。本发明用于啁啾控制具有结构简单、高的激光破坏阈值、光谱范围宽(100纳米)和衍射效率高等优点。
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公开(公告)号：CN101451826B
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200810204749.2
申请日：2008-12-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/25
Abstract: 一种物体三维轮廓测量装置及测量方法，该装置由激光二极管、透镜、小孔光阑、二维达曼光栅、柱面镜、面阵CCD相机、传输线和计算机构成，各部件的连接关系是：所述的激光二极管发出的光束依次经过透镜、小孔光阑、二维达曼光栅和柱面镜后，形成一维投影阵列条纹，照明待测目标的表面，由所述的面阵CCD相机采集被测量目标表面三维面形调制的光栅投影条纹，经传输线输入所述的计算机，所述计算机具有图像采集接口、图像采集软件和三维测量信息重建算法软件。本发明利用二维达曼光栅和柱面镜的傅立叶变换三维轮廓测量结构具有能量利用率高、测量结构简单、测量精度高、计算机重构信息处理简便和易于操作等优点。
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公开(公告)号：CN101187770B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200710048185.3
申请日：2007-11-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种飞秒脉冲压缩装置，其构成包括两个平行放置的第一光栅和第二光栅，该两块光栅具有光栅条纹的一面位于光栅对的内侧，所述的第一光栅和第二光栅均为结构相同的周期为d的亚波长深刻蚀透射式光栅，所述的第二光栅位于第一光栅透射负一级衍射级次方向上，待压缩的飞秒激光脉冲以Bragg角θ入射到第一光栅并满足光栅方程：sinθ＝λ0/2d，其中：θ为入射角，λ0为飞秒激光脉冲的中心波长。本发明利用亚波长深刻蚀透射式光栅构成的飞秒脉冲压缩装置飞秒脉冲压缩装置应具有结构紧凑，效率高的特点。
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公开(公告)号：CN101666885A
公开(公告)日：2010-03-10
申请号：CN200910054512.5
申请日：2009-07-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
Abstract: 一种800纳米波段的宽带高效率熔融石英透射偏振相关光栅，光栅的占空比为0.5，对于TE偏振光该光栅的周期为680～720纳米、刻蚀深度为1150～1250纳米；对于TM偏振光该光栅的周期为870～890纳米、刻蚀深度为1570～1630纳米。本发明宽带高效率熔融石英透射光栅由光学全息记录技术或电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，工艺成熟，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101021663A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200710038372.3
申请日：2007-03-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种利用达曼光栅和闪耀光栅产生飞秒多脉冲的装置，其特点是：包括一主光栅，该主光栅为1×n反射式达曼光栅，其中n为正整数，距离该主光栅L处，在垂直于该主光栅的法线的两侧，在相应衍射级次的衍射方向上，分别对称地设有n块闪耀光栅，分别称为一级，三级，五级闪耀光栅，…，各同一级次的两块闪耀光栅之间的距离为b，主光栅周期为d，一级闪耀光栅的周期为d/2，三级闪耀光栅的周期为d/6，五级闪耀光栅的周期为d/10，…，所有的闪耀光栅的法线与主光栅的法线平行。本发明装置可得到同波长的多脉冲输出，脉冲的间隔是可调的，对正啁啾的脉冲有压缩效果。而且装置制作容易，成本低。
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公开(公告)号：CN104280802B
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201410553491.2
申请日：2014-10-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种复合达曼涡旋光栅，该复合达曼涡旋光栅主要有两个携带大小相等、符号相反的基础拓扑荷的达曼涡旋光栅按照等宽环形区域由内到外依次交替组合而成。所述的复合达曼涡旋光栅在远场可以同时产生多个等强度的花瓣状衍射光斑。通过调节组成复合达曼涡旋光栅的两个达曼涡旋光栅之间的横向相对位移，可以实现所产生的花瓣状光斑沿圆周方向的可控旋转。这种旋转可控的花瓣状光斑在光学操控等方面具有重要的潜在应用价值。
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公开(公告)号：CN102628970B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201210106742.3
申请日：2012-04-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种扭曲达曼光栅及多物面同时成像系统，由扭曲达曼光栅结合聚焦透镜构成的多物面同时成像系统，可在聚焦透镜的后场形成沿轴向和横向同时偏移的多个等强度的聚焦光斑的多焦点阵列。这种多焦点系统的焦点数目和焦点的间隔可以通过改变扭曲达曼光栅的参数进行调整。这种等强度多焦点系统可以将物空间的多个轴向平面成像在一个像平面内。本发明的特性意味着该系统可以实现无须轴向扫描的实时三维成像技术。这种实时三维成像技术在生物活体细胞显微和流体粒子的三维实时监控中有重要的实用价值。
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公开(公告)号：CN104914492A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510242132.X
申请日：2015-05-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种可调贝塞尔光束产生装置及其高阶圆环达曼光栅的设计方法，可调贝塞尔光束产生装置依次包括：光纤耦合输出激光器、耦合输出光纤、光纤耦合输出镜、准直透镜、高阶圆环达曼光栅、第一透镜、环形振幅滤波片、圆形转盘和第二透镜9。所述的环形振幅滤波片是装配在所述的圆形转盘上，所述圆形转盘可以绕其中心轴自由转动。本发明可在一定程度上调节所产生的贝塞尔光束的横向分辨率和轴向焦深。可以广泛用于大景深成像、激光粒子捕获及自聚焦伺服系统等场合。
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公开(公告)号：CN102338989B
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201110187540.1
申请日：2011-07-06
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种延长焦深的并行激光直写装置，特点在于其构成包括：输出平面激光束的激光器，沿该平面激光束方向依次是1×N达曼光栅、第一透镜、振幅型空间滤波板、第二透镜、反射镜、孔径光阑、延长焦深相位延迟板、聚焦物镜、自聚焦伺服系统和二维移动平台。本发明装置可以显著提高激光直写装置的加工速率，可以明显降低对聚焦伺服系统的要求，进一步提高了激光直写速率和增大了激光直写的光刻面积。在低成本、高速大面积激光直写方面有重要的实用价值。
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