公开(公告)号：CN101958223A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN201010202828.7

申请日：2010-06-11

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 远藤真一 ,  竹添法隆

IPC: H01J65/00

Abstract: 本发明提供一种防止电极因基座而损伤的准分子灯。该准分子灯(1)具有：封入有发光元素的、剖面为矩形状且呈中空纵长状的放电管(2)；在放电管(2)的外面沿其长边方向延伸而设的电极(3、4)；将电极(3、4)与引线相连接的焊材(7、8)及覆盖电极(3、4)的长边方向的端部与焊材(7、8)的基座(9)，其特征为：基座(9)的边缘(932)抵接于放电管(2)外面的设有电极(3)的面，并且在该基座的边缘与电极(3)之间具有间隙(97)。

公开(公告)号：CN101136307A

公开(公告)日：2008-03-05

申请号：CN200710148159.8

申请日：2007-08-28

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 远藤真一 ,  竹添法隆 ,  川口真孝 ,  菱沼宣是

IPC: H01J65/04 ,  H01J65/00

Abstract: 提供一种准分子灯的结构，即使液晶面板基板、半导体晶片、磁盘基板、以及光盘基板等逐渐大型化，也适于应对照射紫外光而进行清洁、刻蚀等的基板处理，并且可以实现灯的长寿命化。上述准分子灯在由电介质构成的放电容器中封入准分子生成气体，具有一对电极，两个电介质部件介于该一对电极之间，在该一对电极上施加高电压，进行放电，其特征在于：在一个电介质部件上具有向另一电介质部件延伸的支撑部件，在该支撑部件或该另一电介质部件的、该支撑部件与该另一电介质部件接触的部位上具有缓冲材料。