一种超辐射发光二极管的优化方法

    公开(公告)号:CN107992659B

    公开(公告)日:2020-05-05

    申请号:CN201711189391.6

    申请日:2017-11-24

    Abstract: 本发明提供一种超辐射发光二极管的优化方法,包括:S1,基于分数维度电子态系理论,根据超辐射发光二极管有源区厚度、导带准费米能级和价带准费米能级,获取其有源区载流子联系分谱密度CSD曲线、载流子联系浓度和载流子联系谱效因子;载流子联系谱效因子为CSD曲线峰值平方与载流子联系浓度之比;S2,调节有源区厚度、导带准费米能级和价带准费米能级,获取有源区优化厚度,即CSD曲线呈单峰状时载流子联系谱效因子和CSD曲线的‑3dB带宽的乘积的最大值对应的有源区厚度;S3,基于有源区优化厚度设计超辐射发光二极管。本发明提供的方法,通过优化有源区厚度增大了功率带宽乘积,有效地提高了超辐射发光二极管的综合性能。

    一种SERS基底及其制备方法
    32.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107313046B

    公开(公告)日:2019-12-20

    申请号:CN201710334855.1

    申请日:2017-05-12

    Abstract: 本发明提供了一种SERS基底及其制备方法,涉及拉曼光谱技术领域。所述方法包括:S0,对衬底依次进行清洗和亲水性处理;S1,采用单分散的纳米小球、纳米晶或量子点,在所述衬底表面形成至少一层规则排布的自组装阵列结构;S2,在所述自组装阵列结构的顶部沉积金属活性层;S3,在所述金属活性层上覆盖碳基纳米材料层得到所述SERS基底。本发明在大面积规则排布的自组装阵列结构上沉积金属活性层,无需退火就可以形成周期性的金属纳米结构,接着覆盖碳基纳米材料层使得金属纳米结构与空气隔绝而避免或减缓其氧化过程,进而使得SERS基底不仅具有非常高的灵敏度,还能维持长久的活性。

    一种垂直腔面发射激光器芯片及制作方法

    公开(公告)号:CN109873296A

    公开(公告)日:2019-06-11

    申请号:CN201910234625.7

    申请日:2019-03-26

    Abstract: 本发明实施例提供一种垂直腔面发射激光器芯片及制作方法,采用相应的第二多层材料膜反射镜层和金属反射镜层构成的组合反射镜作为VCSEL的非出光面(底面)反射镜,并且第二多层材料膜反射镜层的对数少于由第一多层材料膜反射镜层构成的VCSEL的(顶面)出光面反射镜的对数,第二多层材料膜反射镜层的反射率低于第一多层材料膜反射镜层的反射率。采用的上述组合反射镜代替了传统的垂直腔面发射激光器芯片第二包层下面的分布式布拉格反射镜构成的底面反射镜,可以在较少的材料膜反射镜层对数的情况下获得所需的高反射率,同时可以减少相应的材料应力和串联电阻,在减小器件制作工艺难度的情况下提升器件的性能。

    一种纳米图形衬底侧向外延硅基量子点激光器材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN106480498B

    公开(公告)日:2019-05-17

    申请号:CN201610888922.X

    申请日:2016-10-12

    Abstract: 本发明公开了一种纳米图形衬底侧向外延硅基量子点激光器材料及其制备方法,属于半导体激光器技术领域。本发明在单晶硅衬底上制作种子层、位错阻挡层和激光器材料。所述的种子层包括GaAs低温成核层和GaAs高温缓冲层;位错阻挡层包括纳米尺寸图形掩膜和GaAs侧向外延层;激光器材料包括n型欧姆接触层、n型限制层、下波导层、量子点有源区、上波导层、p型限制层和p型欧姆接触层。本发明通过图形衬底对穿透位错的阻挡作用,能有效地降低GaAs外延层的位错密度,提高GaAs外延层的晶体质量,进而提高量子点激光器性能和质量。本发明能够大面积、高重复性、均匀地完成材料生长和制备,更加符合产业化的需求。

    一种硅基量子点激光器材料的MOCVD制备方法

    公开(公告)号:CN105088181B

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201410221660.2

    申请日:2014-05-23

    Abstract: 本发明提供一种硅基量子点激光器材料的MOCVD制备方法,利用MOCVD方法依次进行如下步骤的材料制备,包括:在清洁的单晶硅衬底上制作GaAs低温成核层;在所述GaAs低温成核层上制作GaAs高温缓冲层;在所述GaAs高温缓冲层上制作应变超晶格结构;在所述应变超晶格结构上制作n型欧姆接触层;在所述n型欧姆接触层上制作n型限制层;在所述n型限制层上制作下波导层;在所述下波导层上制作多层量子点有源区;在所述多层量子点有源区上制作上波导层;在所述上波导层上制作p型限制层;在所述p型限制层上制作p型欧姆接触层。本发明能够大面积、均匀快速、高重复性地完成材料生长和制备,成本更加低廉,更适合产业化的需求。

    一种硅基量子点激光器材料的MOCVD制备方法

    公开(公告)号:CN105088181A

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201410221660.2

    申请日:2014-05-23

    Abstract: 本发明提供一种硅基量子点激光器材料的MOCVD制备方法,利用MOCVD方法依次进行如下步骤的材料制备,包括:在清洁的单晶硅衬底上制作GaAs低温成核层;在所述GaAs低温成核层上制作GaAs高温缓冲层;在所述GaAs高温缓冲层上制作应变超晶格结构;在所述应变超晶格结构上制作n型欧姆接触层;在所述n型欧姆接触层上制作n型限制层;在所述n型限制层上制作下波导层;在所述下波导层上制作多层量子点有源区;在所述多层量子点有源区上制作上波导层;在所述上波导层上制作p型限制层;在所述p型限制层上制作p型欧姆接触层。本发明能够大面积、均匀快速、高重复性地完成材料生长和制备,成本更加低廉,更适合产业化的需求。

    一种硅基III-V族纳米管与微米管及其制备方法

    公开(公告)号:CN104016294A

    公开(公告)日:2014-09-03

    申请号:CN201310066230.3

    申请日:2013-03-01

    Abstract: 本发明公开了一种硅基III-V族纳米管与微米管及其制备方法。纳米管与微米管是由单晶Si衬底上外延生长的III-V族应变半导体薄膜自卷曲所形成两端非封闭的圆柱形中空管状结构,其直径为1nm-100μm,其长度为1μm-1mm。这种管状结构在硅基光子学、微电机系统、传感等领域都有极大的应用价值。本发明集成了“由下至上”的异变外延生长和“由上而下”的光刻腐蚀技术。通过侧向腐蚀III-V族牺牲层,使III-V族应变双层薄膜从Si上释放并卷曲成管。该方法与III-V族光电子与微电子器件工艺兼容,具有制管工艺简单、管形貌好、管尺寸可控等优点,易在Si上形成大面积、规则一致的III-V族纳米管或微米管阵列。

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