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公开(公告)号：CN102402133A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110377373.7
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 基于并联机构的双工件台同相位回转交换方法与装置属于半导体制造装备技术，该装置包含两个工件台、一个回转转接台和两个并联防转机构；在双工件台回转交换过程中，回转转接台抓卡住双工件台，绕基台中心回转，实现曝光工位和预处理工位的交换，并联防转机构控制双工件台的自转，保证双工件台在换台过程中的同相位；本发明解决了现有线性换台方案冲击转矩大、换台节拍多、现有旋转换台方案双工件台相位反转、线缆缠绕以及激光干涉仪目标丢失等问题，采用较小的质量平衡系统，有利于缩短平衡时间，同时简化系统、降低成本、减少换台节拍、缩短换台时间，有效提高了光刻机产率。
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公开(公告)号：CN102176088A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110021730.6
申请日：2011-01-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 偏振光角锥靶标共光路补偿的二维光电自准直方法与装置，属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域，本发明为解决已有方法与装置中的不足，实现高精度光电自准直角度测量。本发明基于角锥组合靶标的共光路漂移量监测分离装置利用激光的偏振特性，将偏振分光镜、角锥反射镜和测量反射镜固化成角锥组合靶标，在获取二维角度变化量的同时分离出与测量光束特性完全相同、且与测量光束共光路传输的参考光束；控制器根据参考光束反映的漂移量实时控制二维光束偏转装置，抑制耦合在测量光束中的漂移量，实现二维角度变化量的精密测量。实现该方法的装置包括：二维光电自准直光管、基于角锥组合靶标的共光路漂移量监测分离装置、控制器和二维光束偏转装置。
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公开(公告)号：CN100585340C
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200810064747.8
申请日：2008-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D11/00
Abstract: 基于双侧对称阻尼的静压气浮导轨属于精密仪器与测量技术领域，是针对气浮导轨驱动力小而惯性大的特点，根据导轨位置闭环控制系统的阶跃响应与冲击响应特性，在系统中引入双向粘滞阻尼器构成速度反馈环节，弥补PID控制器中微分参数阻尼作用的不足，达到提高系统阻尼比、减小其运动超调、消除随机扰动引起的固有振动的目的；本导轨是在气浮套两端对称布置两套具有相同参数的粘滞阻尼器构成双向粘滞阻尼器，阻尼力大小与气浮套运动速度成正比，方向与气浮套运动方向在同一条直线上，阻尼系数精确可调，可有效减小导轨的运动超调和定位后在运动方向上的固有振动，使导轨的定位精度和静态稳定性提高约一个数量级。
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公开(公告)号：CN1329711C
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200510102478.6
申请日：2005-09-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G01B5/201 , G01B11/007
Abstract: 本发明公开了一种基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量装置包括：瞄准及发讯装置，用以产生瞄准信号，并将瞄准结果反馈给控制装置、测长装置，用以在测量瞄准及发讯装置发出的启测及停测信号的时间间隔内测量被测微小腔体移动的距离、和控制装置，用以对整个测量装置的自动测量过程进行控制；其特征在于：所述瞄准及发讯装置包括激光耦合单元、数据采集处理单元和双光纤耦合单元；在双光纤耦合单元中，一根光纤作为入射光纤，另一根作为出射光纤，两根光纤的一端与耦合器固定连接。本发明还公开了一种基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量方法。
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公开(公告)号：CN1719193A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200510089852.3
申请日：2005-08-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明涉及一种漂移量靶标反馈控制的长距离二维光电自准直装置和方法。装置包括二维光电自准直光管、计算机、二维光束偏转装置，和漂移量监测装置，还包括分光式靶标探测器，该分光式靶标探测器位于二维光束偏转装置和漂移量监测装置之间，分光式靶标探测器在获取其二维小角度变化量的测量信号的同时分离并反馈回与测量光束特性完全相同的角漂移分量反馈光束，漂移量监测装置对角漂移分量反馈光束的角漂移量进行实时监测，计算机根据漂移量监测装置监测得到的角漂移量实时控制二维光束偏转装置，将测量光束按照角漂移量相反的方向进行调整，抑制耦合在测量信号中的测量光束的角漂移量，在增大二维光电自准直仪的测量距离的同时提高了测量稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119860800A
公开(公告)日：2025-04-22
申请号：CN202411931454.0
申请日：2024-12-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明的基于图像处理的相敏型光时域反射计及信号解调方法与系统，包括：激光器、电光调制器、任意函数发生器、第一环形器、滤波器、第一掺铒光纤放大器、带通滤波器、半导体光放大器、第二掺铒光纤放大器、第二环形器、待测光纤、光电探测器和数据采集卡。本发明的方法有助于实现应变或温度大范围、高空间分辨率下的高精度解调。本方法结合了图像块匹配和图像去噪，图像块匹配的方式利用了多个频率信息和多个空间位置信息，提高了应变或温度变化量较大时的解调精度，有助于扩大测量范围；图像去噪方法对匹配函数图像进行去噪处理，降低了系统的随机噪声，提高了高空间分辨率时的解调精度。
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公开(公告)号：CN119542892A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411739441.3
申请日：2024-11-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于随机分布反馈环自注入锁定的窄线宽光纤激光器，涉及光纤激光器技术领域。波分复用器、掺铒光纤、光学带通滤波器、光耦合器一、光耦合器二、偏振控制器和光隔离器按顺序并首尾连接构成环形腔，泵浦源与波分复用器连接，随机分布反馈结构与光耦合器三连接成光纤环构成随机分布反馈环，光环形器的一和三端口分别与光耦合器一和光耦合器二连接形成自注入结构，二端口与光耦合器三连接，光耦合器二余出的输出端作为环形腔的输出端。利用随机分布反馈环能够减轻环形腔的激光频率漂移，通过增加光信号的往返次数增加随机分布反馈结构的有效长度，能够保证窄带增益峰，得到稳定的窄线宽单频激光输出，并提升线宽压窄的效率和环境敏感性。
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公开(公告)号：CN112082586B
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202010509563.9
申请日：2020-06-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本申请公开了基于分布式反馈激光器阵列的光纤光栅阵列传感方法，通过耦合于待测物体的光纤光栅阵列测量待测物体的物理量变化，本申请构建了基于分布式反馈激光器阵列与光纤光栅阵列的准分布式物理量测量系统，并采用一种等光频间隔采样的方式获取光栅阵列的光谱，进而实现光纤光栅阵列的波长解调与准分布式物理量测量。获得了大范围访问带宽，使得可以复用更多数量的光纤光栅，提高了单个光纤光栅可探测到的物理量测量的量程。本申请还公开了相应的装置和系统。
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公开(公告)号：CN112082584B
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202010505050.0
申请日：2020-06-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D5/353
Abstract: 本申请公开了基于激光器调谐控制的光纤分布式物理量测量方法，其用于通过耦合于待测物体的光纤传感器测量待测物体的物理量变化，本申请基于分布式反馈阵列激光器提供的波段的拼接以及波段拼接后测量态主路干涉光信号以及拼接后参考态主路干涉光信号解算所述物理量变化。本申请将分布式反馈阵列激光器应用于基于光频域反射技术的分布式物理量测量装置中，本方法实现了大范围无跳模波长调谐范围，提高了分布式测量方法和装置的空间分辨力和测量量程。本申请还公开了相应的装置和系统。
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公开(公告)号：CN112082585B
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202010505880.3
申请日：2020-06-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D5/353
Abstract: 本申请公开了基于干涉光信号拼接的驱动电流调谐分布式测量方法。本发明将分布式反馈阵列激光器应用于基于光频域反射技术的分布式物理量测量装置中，通过对分布式反馈阵列激光器各个激光二极管在不同温度下施加电流调制实现了各个波段的波长调谐，同时利用激光器波长监测单元确定各个段激光输出拼接位置进而实现整个波段大范围无跳模连续的激光输出，提高了分布式测量方法和装置的空间分辨力和测量量程。同时采用非线性校正方法校正了光源的非线性，提高了传感系统的空间分辨力。本申请还公开了对应的装置及系统。
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