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公开(公告)号:CN1248925C
公开(公告)日:2006-04-05
申请号:CN200310124818.6
申请日:2003-11-19
IPC: B65D85/48
CPC classification number: H01L21/6734 , H01L21/67346
Abstract: 本发明公开了一种用于容纳基片的基片容纳托盘,其包括:一个框架,该框架包括一对相对设置的第一框架部分和一对相对设置的第二框架部分;一设置在框架所围绕区域内用于支撑基片的板状支撑元件,所述支撑元件具有设置在所述第一对框架部分之间的第一开口;和沿第一对框架部分之间的所述第一开口设置的至少一个支撑构件,用于支撑所述支撑元件。
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公开(公告)号:CN1607163A
公开(公告)日:2005-04-20
申请号:CN200410098130.X
申请日:2004-09-27
CPC classification number: H01L21/6734 , B65G2201/0258 , H01L21/67346 , Y10T29/53174 , Y10T29/53178 , Y10T29/53261
Abstract: 一种基片容纳托盘平板架,以水平状态装基片,并包括用于插入基片取出工具的开口,该基片取出工具用于升高该基片,该基片容纳托盘平板架用于传送可被垂直叠放的基片容纳托盘,其中:该基片容纳托盘能被装到一上表面上;用于插入基片取出工具的开口,其位置与所安装的基片容纳托盘的开口相对。
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