基片容纳托盘
    31.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1248925C

    公开(公告)日:2006-04-05

    申请号:CN200310124818.6

    申请日:2003-11-19

    CPC classification number: H01L21/6734 H01L21/67346

    Abstract: 本发明公开了一种用于容纳基片的基片容纳托盘,其包括:一个框架,该框架包括一对相对设置的第一框架部分和一对相对设置的第二框架部分;一设置在框架所围绕区域内用于支撑基片的板状支撑元件,所述支撑元件具有设置在所述第一对框架部分之间的第一开口;和沿第一对框架部分之间的所述第一开口设置的至少一个支撑构件,用于支撑所述支撑元件。

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