载荷测定方法和用于该方法的载荷传感器及载荷测定装置

    公开(公告)号:CN101451879B

    公开(公告)日:2011-03-09

    申请号:CN200810179771.6

    申请日:2008-12-03

    Abstract: 本发明提供一种载荷测定方法和用于该方法的载荷传感器及载荷测定装置。在根据本发明的载荷测定方法中,使用接收载荷时弹性变形的挠曲梁(14)和平面间隙构造体(13),平面间隙构造体的间隙量随挠曲梁的变形而变化。气体馈送至由平面间隙构造体形成的间隙(g)且流经该间隙的气体的流量被转换成载荷以测定载荷。载荷传感器(1)包括平板状上表面构件(11)、平板状下表面构件(12)、夹持于上表面构件与下表面构件之间的挠曲梁、和平面间隙构造体,平面间隙构造体与上表面构件形成间隙且具有喷射口(13b),喷射口向间隙馈送气体。由设置于气体流路中的气体流量计(2)测定馈送到间隙的气体流量,由处理单元(4)将其转换成载荷。

    监视装置
    34.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109073576B

    公开(公告)日:2020-11-03

    申请号:CN201780021569.8

    申请日:2017-04-07

    Abstract: 本发明涉及监视装置。支承装置(50)具有:夹着对象物(2)而配置的活塞杆(53)和固定部件(60)、以及设置在固定部件(60)的对象物(2)侧的弹性部件(70)。监视装置(1)具有热通量传感器(10)和检测部(20)。在通过活塞杆(53)的移动而将对象物(2)支承在活塞杆(53)与固定部件(60)之间时,热通量传感器(10)输出与在由于从活塞杆(53)施加的载荷而被压缩的弹性部件(70)与固定部件(60)之间流动的热通量对应的信号。检测部(20)根据热通量传感器(10)所输出的信号来检测基于支承装置(50)的对象物(2)的支承状态或者对象物(2)的大小。

    监视装置
    35.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108884847B

    公开(公告)日:2020-07-31

    申请号:CN201780021573.4

    申请日:2017-04-07

    Abstract: 一种监视装置,气缸(50)具备筒状的缸(52)以及利用供给至设置在缸(52)的内侧的室(56、57)的流体的压力来移动的活塞(51)。监视装置(1)具备热通量传感器(10)以及检测部(13)。热通量传感器(10)设置于缸(52),并检测利用与活塞(51)的动作对应的室(56、57)的流体的压缩或者膨胀而在缸(52)中流动的热通量。检测部(13)基于热通量传感器(10)的输出信号,检测活塞(51)的动作状态。

    状态检测传感器
    37.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106461472B

    公开(公告)日:2018-10-02

    申请号:CN201580032589.6

    申请日:2015-10-02

    Abstract: 本发明提供一种状态检测传感器,具有:第一热通量传感器(20a),其输出与通过的热通量对应的第一传感器信号;第二热通量传感器(20b),其输出与通过的热通量对应的第二传感器信号;热缓冲体(21a),其具有规定热容;以及散热体(22),其具有规定热容,从被对象物(1、403、504、507)侧依次配置第一热通量传感器(20a)、热缓冲体(21a)、第二热通量传感器(20b)以及散热体(22)。而且,从第一热通量传感器(20a)输出与被对象物和热缓冲体(21a)之间的热通量对应的第一传感器信号,从第二热通量传感器(20b)输出与热缓冲体(21a)和散热体(22)之间的热通量对应的第二传感器信号。

    组装状态的诊断装置
    39.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108291855A

    公开(公告)日:2018-07-17

    申请号:CN201680065852.6

    申请日:2016-11-09

    Abstract: 诊断装置(1)诊断具有滑动部的组装部件的组装状态。诊断装置(1)具备检测从滑动部流向外部的热流通量的传感器部(2)、和基于传感器部(2)检测出的检测结果,判定组装部件的组装状态是否适当的控制装置(3)。在具有滑动部的组装部件的组装状态适当时和不适当时,来自滑动部的热流通量的大小不同。因此,根据诊断装置(1),能够诊断组装部件的组装状态是否适当。

    热通量传感器的制造方法及用于该方法的热流产生装置

    公开(公告)号:CN107615029A

    公开(公告)日:2018-01-19

    申请号:CN201680027230.4

    申请日:2016-04-20

    Abstract: 本发明提供热通量传感器的制造方法及用于该方法的热流产生装置。在热通量传感器(10)的制造方法中,在加热板(206)与冷却部(210)之间夹设热通量传感器(10)。而且,在热通量传感器(10)的一面侧配置有加热板(206),在另一面侧配置有冷却部(210)。另外,在加热板(206)的面中的与配置有热通量传感器(10)的面相反一侧的面配置有散热测定用工件(205)。在这样的结构中,在检查工序中,只要以加热板(206)达到环境温度的方式控制加热板(206)的温度即可。由此,能够使至令加热板(206)的温度稳定为止所花时间为较短时间。

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