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公开(公告)号：CN110055569A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201910042284.3
申请日：2019-01-16
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供电流测定模块及检查用基板，能检测出因基板保持件的原因导致的电阻异常。电流测定模块使用检查用基板检测检测流向基板保持件的电流，基板保持件具有向基板供给电流且能与基板接触的多个保持件电接点，并能保持检查用基板，在保持检查用基板的状态下多个保持件电接点各自与设置于检查用基板的电独立的多个基板电接点分别接触，检查用基板具有：通过配线与多个基板电接点分别连接的多个测定点；与多个测定点电连结的基板侧连接器，电流测定模块具有：能与检查用基板的多个测定点分别接触的多个检查探针；与多个检查探针电连结的测定侧连接器，将基板侧连接器与测定侧连接器连接，检查用基板的多个测定点各自与多个检查探针分别电连接。
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公开(公告)号：CN114929946B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202080027461.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明实现基板保持的可靠性较高的基板支架。镀覆模块包含用于收容镀覆液的镀覆槽、用于以被镀覆面朝向下方的状态保持基板的基板支架(440)、以及用于使基板支架(440)升降的升降机构。基板支架(440)包含用于支承基板(Wf)的被镀覆面(Wf－a)的外周部的支承机构(460)、配置在基板(Wf)的被镀覆面(Wf－a)的背面侧的浮板(472)、用于向将浮板(472)远离基板(Wf)的背面的方向进行施压的浮动机构(490)、以及用于通过抵抗浮动机构(490)对基板(Wf)的作用力来将浮板(472)按压于基板(Wf)的背面的按压机构(480)。
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公开(公告)号：CN117897803A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202280057334.5
申请日：2022-12-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/677 , C25D19/00 , C25D7/12
Abstract: 本发明提高基板的搬运速度，并且抑制颗粒附着于基板的被处理面。一种搬运装置，其构成为在升降方向及与升降方向正交的行驶方向搬运基板，包括安装部件(710‑1)，该安装部件(710‑1)固定于第一模块框架(402A)的侧面，该第一模块框架(402A)用于设置具有基板搬入搬出口(404‑1～404‑8)的镀覆模块。安装部件(710‑1)包括多个行驶导轨(714‑1～714‑3)，该多个行驶导轨(714‑1～714‑3)配置于基板搬入搬出口(404‑1～404‑8)的升降方向的两侧，并沿行驶方向延伸。搬运装置包括：升降导轨(716)，其横跨多个行驶导轨(714‑1～714‑3)并沿升降方向延伸，能够沿着多个行驶导轨(714‑1～714‑3)移动；和搬运机器人(718)，其能够沿着升降导轨(716)升降，并具有用于保持基板的手部。
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公开(公告)号：CN115135815B
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202180014903.3
申请日：2021-10-18
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种能够抑制因通常滞留于膜的下表面的气泡导致基板的镀覆品质恶化的技术。镀覆处理方法包括如下步骤：将阳极液向位于膜(40)的下方且比第一区域(R1)靠上方的位置的第二区域(R2)引导，由此使第二区域的阳极液所含的气泡的浓度比第一区域的阳极液所含的气泡的浓度低；从第一区域排出阳极液；从第二区域排出阳极液；向配置有基板(Wf)的阴极室(12)供给阴极液；以及使电流在基板(Wf)与阳极(13)之间流通而对基板电镀金属。
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公开(公告)号：CN115885063A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202280005429.2
申请日：2022-06-20
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 一种阳极室的液体管理方法，包括如下步骤：准备镀敷槽，上述镀敷槽配置有阳极和与上述阳极的上表面接触或者紧贴的隔膜，并具备由上述隔膜分隔出的上方的阴极室和下方的阳极室以及与上述阳极室连通而用于从上述阳极室向上述镀敷槽的外部排出气泡的排气通路；在上述阳极室和上述阴极室保持镀敷液，并使上述阳极室的镀敷液的液面亦即上述排气通路内的镀敷液的液面比上述阴极室的镀敷液的液面低；基于配置于上述排气通路内的液面传感器的输出，辨别上述排气通路内的镀敷液的液面的高度是否不足规定高度；以及在辨别为上述排气通路内的镀敷液的液面的高度不足规定高度时，对上述阳极室供给纯水或者电解液。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115244227A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202180003017.0
申请日：2021-02-22
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C25D17/06
Abstract: 本发明涉及镀覆装置，本发明提供一种能够抑制由旋转机构的轴承产生的颗粒侵入镀覆槽的技术。镀覆装置(1000)具备迷宫式密封部件(50)，迷宫式密封部件具有：内侧迷宫式密封件(53)，配置于比轴承(33)靠下方的位置，且密封轴承；外侧迷宫式密封件(54)，配置于比内侧迷宫式密封件在旋转轴(32)的径向上靠外侧的位置；排出口(55)，构成为向形成于比内侧迷宫式密封件在径向上靠内侧的内侧密封空间(60)供给空气；以及吸收口(56)，构成为对形成于比内侧迷宫式密封件在径向上靠外侧且比外侧迷宫式密封件在径向上靠内侧的外侧密封空间(65)的空气进行吸收。
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公开(公告)号：CN110055569B
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN201910042284.3
申请日：2019-01-16
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供电流测定模块及检查用基板，能检测出因基板保持件的原因导致的电阻异常。电流测定模块使用检查用基板检测检测流向基板保持件的电流，基板保持件具有向基板供给电流且能与基板接触的多个保持件电接点，并能保持检查用基板，在保持检查用基板的状态下多个保持件电接点各自与设置于检查用基板的电独立的多个基板电接点分别接触，检查用基板具有：通过配线与多个基板电接点分别连接的多个测定点；与多个测定点电连结的基板侧连接器，电流测定模块具有：能与检查用基板的多个测定点分别接触的多个检查探针；与多个检查探针电连结的测定侧连接器，将基板侧连接器与测定侧连接器连接，检查用基板的多个测定点各自与多个检查探针分别电连接。
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公开(公告)号：CN115119515A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202180003254.7
申请日：2021-01-20
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供能够在镀覆处理时测定基板的膜厚的技术。镀覆装置(1000)具备：镀覆槽(10)；基板保持架(20)；旋转机构(30)；接触部件(50)，配置于基板保持架，并且在基板保持架的周向上配置有多个，与基板的下表面的外周缘接触，在镀覆处理时向基板供电；线圈(60)，构成为通过基于因在镀覆处理时与基板保持架一起旋转的接触部件流动的电流而产生的磁场的电磁感应来产生电流；电流传感器(65)，对在线圈产生的电流进行检测；以及膜厚测定装置(70)，在镀覆处理时，基于电流传感器检测出的电流来对基板的膜厚进行测定。
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公开(公告)号：CN114929946A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202080027461.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明实现基板保持的可靠性较高的基板支架。镀覆模块包含用于收容镀覆液的镀覆槽、用于以被镀覆面朝向下方的状态保持基板的基板支架(440)、以及用于使基板支架(440)升降的升降机构。基板支架(440)包含用于支承基板(Wf)的被镀覆面(Wf－a)的外周部的支承机构(460)、配置在基板(Wf)的被镀覆面(Wf－a)的背面侧的浮板(472)、用于向将浮板(472)远离基板(Wf)的背面的方向进行施压的浮动机构(490)、以及用于通过抵抗浮动机构(490)对基板(Wf)的作用力来将浮板(472)按压于基板(Wf)的背面的按压机构(480)。
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公开(公告)号：CN111005059A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201910910467.2
申请日：2019-09-25
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供清洗装置、具备该清洗装置的电镀装置以及清洗方法，能够使喷嘴配置于基板支架的密封环支架与底板之间，并且能够抑制装置尺寸的增大。提供对具有第一保持部件、和具备使基板露出的开口的第二保持部件的基板支架进行清洗的清洗装置。该清洗装置具有：清洗槽，其构成为收容基板支架；致动器，其构成为使第二保持部件从第一保持部件分离；以及清洗喷嘴，其构成为对收容于清洗槽的基板支架排出清洗液。清洗喷嘴构成为通过第二保持部件的开口。
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