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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105673932A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201510484767.0
申请日：2015-08-07
Applicant: 盾安美斯泰克股份有限公司
IPC: F16K99/00
Abstract: 一种减小尺寸且改善电性能的微型阀门。一种板适合于微型阀门且包括可移动构件，构造为在关闭位置和打开位置之间运动，在关闭位置，可移动构件防止流体通过微型阀门连通，在打开位置，可移动构件不防止流体通过微型阀门连通。可移动构件包括细长臂部分、通过中间脊柱连接到细长臂部分的多个致动器肋、以及铰链部分。致动器肋具有第一部分和第二部分，第一部分具有第一端和第二端，第一部分的第二端连接到中间脊柱，第二部分具有第一端和第二端，第二部分的第二端连接到中间脊柱。沟槽形成在板中。多个细长开口形成在板中且限定致动器肋，每个细长开口具有纵向延伸侧边缘。
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公开(公告)号：CN105443802A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510458977.2
申请日：2015-07-30
Applicant: 盾安美斯泰克股份有限公司
IPC: F16K11/065
Abstract: 一种具有改进的密封机构的三端口微型阀。微型阀包括第一板，该第一板具有内表面、设置在内表面内的凹入区域、设置在凹入区域内的常开流体端口和常闭流体端口。第一密封结构绕常开流体端口延伸，第二密封结构绕常闭流体端口延伸。第二板限定非可动部分和可动部分。非可动部分的表面抵靠第一板的内表面，非可动部分具有贯穿其中形成的开口。可动部分形成在开口内，具有轴线，并且限定了由形成在开口中的旋绕弹簧连接到非可动部分的可移动构件。可移动构件在开口内的第一位置与第二位置之间是滑动地并且轴向地可移动的。
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公开(公告)号：CN105422910A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510458517.X
申请日：2015-07-30
Applicant: 盾安美斯泰克股份有限公司
IPC: F16K11/065
Abstract: 一种具有改进的密封机构的板式微型阀。其包括第一板，该第一板具有表面、设置在该表面内的凹入区域、设置在凹入区域内的流体端口，以及绕流体端口延伸的密封结构。第二板限定非可动部分和可动部分，非可动部分的表面抵靠第一板的表面，非可动部分具有贯穿其中形成的第一和第二开口。所述可动部分形成在第一开口内，并具有轴线，可动部分限定了由形成在第二开口中的旋绕弹簧连接到非可动部分的可移动构件。可移动构件在第一开口内的关闭位置与打开位置之间是滑动地和轴向地可移动的，在关闭位置中，可移动构件与密封结构协作以防止通过流体端口的流体连通，在打开位置中，可移动构件不与密封结构的至少一部分协作以防止通过流体端口的流体连通。
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公开(公告)号：CN102812538A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201180007647.1
申请日：2011-01-26
Applicant: 盾安美斯泰克股份有限公司
Inventor： P.阿鲁纳萨拉姆
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/302 , B81C1/00611 , B81C2201/0121 , B81C2203/036 , H01L21/02057
Abstract: 促进诸如硅晶片的半导体组件的接合的非磨蚀方法，这些半导体组件在接合界面表面上具有微结构缺陷。在优选的方法中，微结构缺陷通过以下方式去除：在该接合界面表面上形成氧化物层至低于该缺陷的水平的深度，且然后，去除该氧化物层以暴露出用于接合的满意表面，由此增加生产线的产率且降低制造设施中的废品起因。
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公开(公告)号：CN102792419A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201180007649.0
申请日：2011-01-26
Applicant: 盾安美斯泰克股份有限公司
Inventor： P.阿鲁纳萨拉姆
IPC: H01L21/027
CPC classification number: B81B3/001 , B81C1/00269 , B81C2203/0118 , B81C2203/036
Abstract: 一种防止微机电系统装置内，更具体地说，防止在具有微米范围内或更小(亦即小于约10微米)的凹部内的可动构造在接合工艺期间内被不慎地接合至非运动构造的方法。该方法包括在构造方面和化学方面对硅进行表面制备，以帮助防止运动构造在接合期间(包括在高力量、高温度融合接合期间)内接合至相邻的表面。
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