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公开(公告)号：CN101244650B
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN200810005805.X
申请日：2008-02-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 三浦弘纲
CPC classification number: H05K3/1283 , H05K3/125 , H05K3/227 , H05K2203/013 , H05K2203/107 , H05K2203/108
Abstract: 本发明提供一种利用激光控制液状体的配置位置并在所希望的配置位置使该液状体干燥而可以形成高精细、高精密的图案的图案形成方法、图案形成装置和液状体干燥装置。在滑架(20)具备射出相对于金属墨液(F)吸收率高的波长的第一照射光(Le1)的第一半导体激光器(LD1)和射出相对于金属墨液(F)吸收率低的波长的第二照射光(Le2)的第二半导体激光器(LD2)。通过第二照射光(Le2)向液状膜(FL)赋予向与第一照射光(Le1)的照射方向相反方向的移动而进行配置位置控制，同时使第一照射光(Le1)入射的液状膜(FL)的部分(照射位置(P1))平坦化。液状膜(FL)被第一照射光(Le1)干燥，形成没有干燥不足的高精细高精密的层图案(FP)。
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公开(公告)号：CN100542822C
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200610067994.4
申请日：2006-03-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 三浦弘纲
CPC classification number: B41J11/002 , G02F1/1303 , G02F1/133514 , G02F2001/133374
Abstract: 本发明提供一种液滴喷出装置，具备向被喷出面上的规定的点形成区域喷出包含点形成材料的液滴的喷出部，以及照射部，为了至少部分地抑制落在所述点形成区域后的所述液滴的润湿展开，而向所述被喷出面上照射能量束。因此，可以提高通过干燥液滴而形成的点的形状控制性。
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公开(公告)号：CN101397425A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200810168942.5
申请日：2008-09-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H05K1/097 , C09D11/52 , H05K3/125 , H05K2203/107 , H05K2203/1163
Abstract: 本发明提供一种提高了液滴干燥效率的油墨组合物、使用该油墨组合物形成图案的方法以及液滴喷出装置。本发明中，将包含导电性微粒子15A、分散介质15B和通过接受光开始燃烧反应的燃烧物15C的油墨组合物制成液滴D并喷出至基板S上，在喷出面Sa上形成液状图案15P。然后，向液状图案15P上照射红外激光B，通过使燃烧物15C中含有的红外线吸收色素CM和氧气CG开始进行燃烧反应来干燥液状图案15P，从而形成导电性图案。
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公开(公告)号：CN101193499A
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：CN200710196105.9
申请日：2007-11-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L2224/32225 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 台架(23)将生料薄板(4G)载置到通气性的台架板(23b)上，并通过在台架板(23b)的下侧设置的橡胶加热器(H)将生料薄板(4G)加热到规定的温度。台架(23)通过经由吸引通路对台架板(23b)的下侧进行减压，使台架板(23b)的内部减压，从而对载置于该台架板(23b)上的生料薄板(4G)下侧的整体减压。滴落于生料薄板(4G)的液滴(Fb)进一步促进朝向生料薄板(4G)内部的蒸发。由此，可进一步缩短滴落于生料薄板(4G)的金属墨的干燥时间。从而，可提供以短时间形成高精度图案的图案形成方法、液滴喷出装置及电路基板。
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公开(公告)号：CN101062607A
公开(公告)日：2007-10-31
申请号：CN200710096665.7
申请日：2007-04-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 三浦弘纲
CPC classification number: H05K1/0266 , B41J3/407 , B41J11/002 , B41J11/20 , H05K2203/013 , H05K2203/107
Abstract: 一种将含有金属墨水的液滴喷出到玻璃基板的液滴喷出装置，具备液滴喷头、移动装置、半导体激光器、反射镜、第一位移装置。所述液滴喷头具有与所述基板对置的喷嘴板，从所述喷嘴板的喷嘴喷出所述液滴。所述移动装置使所述基板和所述液滴喷头的至少一个相对另一个沿一方向移动。所述半导体激光器射出使弹落于所述基板的所述液滴干燥的激光。反射镜配设于液滴喷头，以从基板的法线方向观察激光相对液滴的照射方向与一方向大致平行的方式，将来自半导体激光器的激光引导至与喷嘴板对置的基板的区域。第一位移装置以反射镜的反射面与基板之间的距离变得比喷嘴板与基板之间的距离短的方式，使反射镜和基板中的至少任一个位移。
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公开(公告)号：CN1321002C
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：CN200410049125.X
申请日：2004-06-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1634 , B41J2/1433 , B41J2/1606 , B41J2/162 , B41J2002/14475
Abstract: 本发明提供一种喷墨头的制造方法及喷墨头，是具有收装液状体的空腔、和与该空腔连通的喷嘴(18)，并将与空腔相反一侧的喷嘴开口作为喷出口(9)，从喷嘴(18)的喷出口(9)喷出收装于空腔内的液状体的喷墨头的制造方法。在喷嘴(18)的内壁面的喷出口(9)的附近部分形成喷嘴内疏液膜(11)，所述喷嘴内疏液膜(11)和要喷出的液状体之间形成的后退接触角和前进接触角的差值为20度以上。从而，该喷墨头具有良好的稳定喷出性。
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公开(公告)号：CN1310759C
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN200410002288.2
申请日：2004-01-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/09
CPC classification number: B41J2/04526 , B41J2/04561 , B41J2/04586
Abstract: 喷墨装置等的液滴喷出装置中，高精度进行液滴喷出为课题。采用：喷头向基板的目标位置喷出液滴的同时，用圆筒状激光来包围液滴的应前进的轨迹。由此，即使是喷头喷出的液滴轨迹离开所定的轨道，激光弹回液滴，从而，可以使液滴喷着在基板上的目标位置。
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公开(公告)号：CN1944050A
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200610141470.5
申请日：2006-09-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 三浦弘纲
CPC classification number: B41J11/002 , B41J3/407
Abstract: 本发明涉及一种图案成形方法及液滴喷出装置，在喷头附近设有激光头。从激光头照射的激光在基板表面的反射位置以临界角入射后，向喷头全反射。而且，由基板反射的激光被喷嘴板的基面向基板全部反射，在基板表面的的照射位置以照射角(临界角)入射。
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公开(公告)号：CN1830578A
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN200610058874.8
申请日：2006-03-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G06K1/121 , B41J11/002 , G02F2001/133374
Abstract: 本发明公开一种图案形成方法、识别码形成方法以及液滴喷出装置，其中，将着落于基板后的微小液滴的液滴直径达到最大容许液滴直径的时间设为容许经过时间。另外，将扫描速度设定为，在从着落时起经过容许经过时间时，着落于基板上的微小液滴从着落位置移动照射位置。从着落时起经过容许经过时间时，即着落后的微小液滴通过照射位置时，对该微小液滴照射激光。
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