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公开(公告)号：CN103378061B
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201310119819.5
申请日：2013-04-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 古畑诚
IPC: H01L23/528 , H01L21/768 , B81B7/02 , B81C1/00 , G01C19/5769
CPC classification number: H01L23/498 , B81B3/0086 , B81B2207/07 , H01L21/76802 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种半导体元件、半导体元件的制造方法以及电子设备，其降低了寄生电容。本发明的半导体元件（1）的特征在于，包括：底基板（12）；第一半导体布线（50）和第二半导体布线（50），其以在所述底基板（12）上相互并列的方式而配置；所述底基板（12）在所述第一半导体布线（50）与所述第二半导体布线（50）之间，具备沿着所述第一半导体布线（50）和所述第二半导体布线（50）的延伸方向的开口部（布线间槽（54）、狭缝（56））。
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公开(公告)号：CN105403209A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201510557262.2
申请日：2015-09-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 古畑诚
IPC: G01C19/5656
CPC classification number: G01C19/574 , G01C19/5656
Abstract: 本发明提供一种具有优异的检测精度的物理量传感器元件，而且还提供具备所涉及的物理量传感器元件的物理量传感器、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器元件(1)具备：检测部(21)；驱动部(24)；梁部(25)，其连接检测部(21)与驱动部(24)，梁部(25)具有分岔的部分。梁部(25)具有从驱动部(24)的互不相同的两个位置延伸出的两个质量部侧梁部、和从检测部(21)的互不相同的两个位置延伸出的两个支承部侧梁部，两个质量部侧梁部的检测部(21)侧的端部彼此互相连接，并且两个支承部侧梁部的驱动部(24)侧的端部彼此互相连接。
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公开(公告)号：CN104925735A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510116966.6
申请日：2015-03-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 古畑诚
CPC classification number: B81B7/0041 , B81B7/007 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2201/025 , B81B2207/092 , B81B2207/097 , G01P15/125 , H01L2224/48091 , H01L2924/181 , H01L2924/00012 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明提供一种电子装置、电子模块、电子设备以及移动体。电子装置具备对第一基材和第二基材之间进行密封而形成的收纳空间和被收纳于收纳空间内的第一功能元件和第二功能元件，收纳空间在俯视观察时被配置在第一基材和所述第二基材被接合的框状的接合部的内部区域内，接合部包含设置于一方的第一接合区域和设置于另一方的第二接合区域，所述电子装置还具备第一布线部和第二布线部，第一布线部与第一功能元件连接，并具有从内部区域经由第一接合区域而朝向收纳空间的外部的第一方向，第二布线部与第二功能元件电连接，并具有从内部区域经由第二接合区域而朝向收纳空间的外部的第二方向。
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公开(公告)号：CN103378061A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201310119819.5
申请日：2013-04-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 古畑诚
IPC: H01L23/528 , H01L21/768 , B81B7/02 , B81C1/00 , G01C19/5769
CPC classification number: H01L23/498 , B81B3/0086 , B81B2207/07 , H01L21/76802 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种半导体元件、半导体元件的制造方法以及电子设备，其降低了寄生电容。本发明的半导体元件（1）的特征在于，包括：底基板（12）；第一半导体布线（50）和第二半导体布线（50），其以在所述底基板（12）上相互并列的方式而配置；所述底基板（12）在所述第一半导体布线（50）与所述第二半导体布线（50）之间，具备沿着所述第一半导体布线（50）和所述第二半导体布线（50）的延伸方向的开口部（布线间槽（54）、狭缝（56））。
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公开(公告)号：CN102195605A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110049987.2
申请日：2011-03-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/04
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，其课题是防止因热弹性效应引起的Q值降低并同时降低CI值。振动片(100)具有：基部(10)；以及从基部(10)延伸地形成的进行弯曲振动的作为振动部的一对振动臂(20、21)。由振动臂(20)的外侧面(20d)和槽(20a)形成外壁(20f)。同样，由外侧面(20e)和槽(20b)形成外壁(20g)。另外，由槽(20a、20b、20c)形成内壁(20h、20i)。振动臂(21)也与振动臂(20)同样形成有外壁(21f、21g)和内壁(21h、21i)。
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公开(公告)号：CN1625046A
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN200410095586.0
申请日：2004-12-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/2431 , H03H3/0072 , H03H9/02259 , H03H9/02433 , H03H9/1057 , H03H9/2436 , H03H9/2457 , H03H9/2463 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02519
Abstract: 本发明提供一种微型机械式静电振子(100)，其具有：板状振动体(105)；分别相对配置在振动体的两侧并且相对振动体的外周部具有空隙(106)的一对电极(107、107)；向该一对电极施加同相交流电力的供电单元(110)；获得与振动体和电极之间的静电电容的变化对应的输出的检测单元(103、120)，其特征在于，振动体的平面形状形成为具有包括中间变细的曲线状轮廓部的形状。与以往技术相比，本发明的微型机械式静电振子容易实现高频化、能够增大输出电压相对输入电压的比、并可以降低驱动电压和节省电力。
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公开(公告)号：CN114504344B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202111347427.5
申请日：2021-11-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明公开了压电致动器、超声波元件、超声波探针以及超声波装置，能够抑制不必要的频率的振动的出现。压电致动器具备：振动板，具有将设置于基板的开口部封闭的第一面和设置有多个压电元件的第二面；抑制部，抑制振动板的振动；以及多个立壁，从第一面向开口部延伸，在将第一电极、压电体层以及第二电极重叠的部分设为压电元件的有源部时，在从第一电极、压电体层以及第二电极的层叠方向俯视观察时，立壁设置于相邻的有源部之间，在与层叠方向正交的面内，相邻的立壁间的距离大于相邻的有源部间的距离。
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公开(公告)号：CN114550684A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202111404472.X
申请日：2021-11-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G10K11/172 , H02N2/04 , H02N2/06 , H04R17/00
Abstract: 一种压电致动器、超声波元件、超声波装置及电子设备，能够抑制不必要频率振动。所述压电致动器包括：振动板，具有堵塞设置在基板上的开口部的第一表面、和设置有多个压电元件的第二表面；抑制部，抑制振动板的振动；以及第一立壁和第二立壁，从第一表面延伸到开口部，其中，在将第一电极、压电体层和第二电极重叠的部分作为压电元件的能动部时，在从第一电极、压电体层和第二电极的层叠方向俯视观察时，第一立壁和第二立壁设置成夹着能动部，第二立壁在宽度、高度、长度、物理特性中的至少一个方面不同于第一立壁。
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