公开(公告)号：CN1697781A

公开(公告)日：2005-11-16

申请号：CN200480000672.7

申请日：2004-06-11

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 岩泽晴生 ,  王道海 ,  松木安生 ,  加藤仁史

IPC: C01B33/04 ,  C01B33/021 ,  H01L21/208

CPC classification number: C09D183/16 ,  C01B33/08 ,  C09D4/00 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02425 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/02628 ,  C08G77/00

Abstract: 本发明提供从在基板上涂布时的浸润性、沸点和安全性的观点来看，分子量更大的硅烷聚合物。特别是提供可以容易地形成优质的硅膜的组合物。本发明还提供含有对具有光聚合性的硅烷化合物照射特定波长范围的光线进行光聚合得到的硅烷聚合物的硅膜形成用组合物，以及在基板上涂布该组合物，并进行热处理和/或光处理的硅膜形成方法。