使用衍射光栅的激光干涉光刻方法

    公开(公告)号:CN101828140A

    公开(公告)日:2010-09-08

    申请号:CN200880112270.4

    申请日:2008-10-08

    CPC classification number: G03F7/70408 G02B5/1809 G02B5/1814

    Abstract: 本发明提供了一种使用衍射光栅的激光干涉光刻方法,该方法包括以下步骤:(a)在将要形成重复精细图形的工作基板上形成光刻胶层;(b)在光刻胶层上形成折射率匹配材料层;(c)在折射率匹配材料层上形成衍射光栅的周期为λ/ng~λ/n0的衍射光栅层,其中λ为激光束的波长,ng为衍射光栅的折射率,且n0为空气或真空中的折射率;以及(d)通过向衍射光栅层上垂直输入激光束并利用具有相同绝对值的正负级衍射光的相互干涉使光刻胶层曝光。该方法可以实现具有更高分辨率的干涉图形,且可使用较低相干性的激光源。

    曝光装置
    32.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104937697B

    公开(公告)日:2018-01-16

    申请号:CN201480005571.2

    申请日:2014-08-01

    Abstract: 本发明涉及一种光掩模,一种曝光装置及一种方法。根据本申请的掩模、曝光装置和方法,可以在圆柱形模具上容易地形成具有亚微米大小的精细图案,并且有图案形成于其中的圆柱形模具可容易地应用于自动化工艺,诸如辊对辊工艺。此外,使用由挠性材料形成的光掩模,因此可以大规模形成具有各种大小的精细图案,并且这些精细图案可以分开地或独立地形成在圆柱形模具的曲面上,本发明在工艺的自由度方面表现出优异的效果。

    掩模和包括该掩模的滤光器制造设备

    公开(公告)号:CN103703418B

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201280036229.X

    申请日:2012-07-23

    CPC classification number: G03F1/38 G03F1/50 G03F7/24

    Abstract: 提供一种掩模以及包括该掩模的滤光器制造设备。一种用于在基膜中形成图案的卷对卷工艺的掩模,所述基膜被配置成沿弯曲表面移动,所述掩模包括掩模体,所述掩模体具有被设置成与所述基膜所缠绕的辊相对的弯曲表面以及与所述弯曲表面的相反侧相对应的平表面。所述掩模体的所述弯曲表面被设置成与所述辊的弯曲表面相距预定距离。所述掩模和滤光器制造设备能够实现在所述基膜上形成均匀图案,以提高产品的质量,并精确地获得所述基膜的性质。

    隐私保护滤光片及其制造方法

    公开(公告)号:CN102947742B

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201180031272.2

    申请日:2011-04-22

    CPC classification number: G02F1/1323 G02F1/1533 G02F2001/1536 G02F2201/44

    Abstract: 本发明涉及一种隐私保护滤光片及其制造方法,更具体而言,涉及一种隐私保护滤光片及其制造方法,其中,所述隐私保护滤光片包括:第一透明基板;第二透明基板,其以与第一透明基板间隔预定的距离且相对地设置;电解质,其填充在第一透明基板和第二透明基板之间;和第二透明导电层,其设置在电解质与第二透明基板之间,其中第一透明基板包括:具有线栅和沟槽的凸凹图形,其形成于第一透明基板上;第一透明导电层,其形成于凸凹图形的线栅和沟槽上;和电致变色层,其沿着线栅的侧壁在第一透明导电层上形成,并且包含电致变色材料以根据是否施加电信号来透射或吸收可见光。本发明的隐私保护滤光片在隐私模式下有效地阻挡了光的侧向透射而没有损失前侧透射,实现宽视野模式和窄视野模式之间的快速转换,并确保优异的滤光性能和驱动稳定性。

    使用衍射光栅的激光干涉光刻方法

    公开(公告)号:CN101828140B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN200880112270.4

    申请日:2008-10-08

    CPC classification number: G03F7/70408 G02B5/1809 G02B5/1814

    Abstract: 本发明提供了一种使用衍射光栅的激光干涉光刻方法,该方法包括以下步骤:(a)在将要形成重复精细图形的工作基板上形成光刻胶层;(b)在光刻胶层上形成折射率匹配材料层;(c)在折射率匹配材料层上形成衍射光栅的周期为λ/ng~λ/n0的衍射光栅层,其中λ为激光束的波长,ng为衍射光栅的折射率,且n0为空气或真空中的折射率;以及(d)通过向衍射光栅层上垂直输入激光束并利用具有相同绝对值的正负级衍射光的相互干涉使光刻胶层曝光。该方法可以实现具有更高分辨率的干涉图形,且可使用较低相干性的激光源。

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