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公开(公告)号：CN108123695A
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：CN201711211798.4
申请日：2017-11-28
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H9/02007 , H01L41/047 , H03H9/02015 , H03H9/02118 , H03H9/02157 , H03H9/17 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H9/54
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：膜层，与基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及上电极，覆盖所述压电层的一部分。所述压电层的侧部的整个区域暴露于空气。所述压电层的所述侧部相对于所述下电极的顶表面具有65°到90°的倾斜度。
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公开(公告)号：CN107769749A
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201710703795.6
申请日：2017-08-16
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H9/173 , H03H9/02133 , H03H9/174 , H03H9/02047 , H03H9/0547 , H03H9/17
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：支撑部，设置在基板上；层，设置在所述支撑部上，其中，气腔形成在所述基板和所述层之间；以及框架，在所述气腔内沿着所述层延伸，并与所述支撑部分开。
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公开(公告)号：CN1230702C
公开(公告)日：2005-12-07
申请号：CN02108425.4
申请日：2002-03-29
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: G02B6/358 , B81B3/0054 , B81B2201/045 , B81B2203/053 , G02B6/3514 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3584 , G02B26/0841 , H02N1/006
Abstract: 本发明中所涉及的MEMS光学开关包括：静电驱动器和底座，静电驱动器包括：往复块；对称位于所述往复块左右侧的一对第1旋转轴；连接于所述第1旋转轴并可旋转的第1旋转块；支撑所述第1旋转块的第1旋转弹簧；连接于所述第1旋转块，并与所述第1旋转弹簧一起支撑所述第1旋转块的线形弹簧；连接于所述线形弹簧的第2旋转块；在左右侧两端连接并支撑所述第2旋转块的第2旋转弹簧；连接于所述第2旋转块并可旋转的第2旋转轴；与所述第2旋转轴的为一体设置于驱动器、驱动电极一侧的固定器；超微镜片；对所述往复块和左右侧的旋转块具有两个结构稳定点的静电传动装置。其发明目的在于提供最大限度降低传动装置耗电量的光学开关。
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公开(公告)号：CN1512254A
公开(公告)日：2004-07-14
申请号：CN03146519.6
申请日：2003-07-03
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: G02B6/353 , G02B6/266 , G02B6/3552 , G02B6/357 , G02B6/3584 , G02B6/3594
Abstract: 公开了一种MEMS可变光衰减器，包括具有平面的衬底；光纤，分别具有光信号发射端和光信号接收端，同轴安置在所述衬底上；安置在所述衬底上的微电子激励器，用于沿垂直于所述光束的光轴的方向提供工作冲程；安置在所述衬底上的至少一个杠杆结构，用于在其第一端接收微电子激励器的所述工作冲程，以及通过其第二端，将放大的移动距离传送到光闸；光闸，安置在所述衬底上并连接到所述杠杆结构的第二端以便移动所述放大的移动距离，从而移动到所述光束的衰减位置。
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