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公开(公告)号：CN105750272B
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201610245993.8
申请日：2016-04-20
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供了一种自动化干法清洗装置。所述清洗装置中的高压二氧化碳气体经高压气管顺序通过控压阀、电控阀门、空气过滤器、以及智能喷射探头中的文丘里管喷出，变成固体、液体、气体混合物从而清除工件表面残留颗粒污染物。智能喷射探头兼具监测工件位置状态的功能。五自由度电位移台带动被清洗件完成自动清洗，以及调节被清洗件与文丘里管之间的距离和相对角度。长焦距显微镜的观察范围与文丘里管喷射出的二氧化碳气流在被清洗工件表面的覆盖区域一致，用于实时观察和记录清洗效果。本发明能够在保证清洗效率和清洗后工件表面洁净度稳定性的情况下，利用干法清洗方式实现去除半导体器件、光学镜片、金属器件等表面残留的微米、亚微米颗粒的目的。
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公开(公告)号：CN107247037A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201710631796.4
申请日：2017-07-28
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/45
CPC classification number: G01N21/45 , G01N2021/458
Abstract: 本发明公开了一种基于单模‑多模‑无芯光纤结构的分子态有机污染物监测传感器，包括：单模光纤；多模光纤，其与单模光纤的熔接；表面包覆溶胶‑凝胶二氧化硅薄膜的无芯光纤，其一端与多模光纤的输入端偏心熔接；无芯光纤与多模光纤偏心熔接后的不重叠位置处包覆第一金属膜层，其另一端面附着第二金属膜层。将在线监测传感器置于被监测环境中，当分子态有机污染物浓度发生变化，会导致表面薄膜折射率发生变化，从而引起整个波导结构有效折射率发生变化导致谐振条件发生变化，使马赫‑泽德混合干涉中一干涉臂光程发生变化导致整个波导干涉条件发生变化，最后光谱仪监测输出信号波长，通过对输出信号进行处理即可反推外部环境分子态有机污染物浓度。
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公开(公告)号：CN105241224B
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201510730105.7
申请日：2015-11-02
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: F26B23/06
Abstract: 本发明提供了一种箱体内壁红外烘烤机，该红外烘烤机的底座下安装有四个万向轮；底座上面的一侧安装有电机，电机上安装有螺杆，灯架Ⅰ上的内螺纹套筒套在螺杆上并与螺杆形成螺纹‑螺杆运动副，螺杆与底座上面的轨道平行，灯架Ⅰ在轨道上滑动；底座上面还布置有棘轮‑滑轮机构控制灯架Ⅱ的升降；灯架Ⅰ与灯架Ⅱ固连，灯架Ⅰ和灯架Ⅱ上布置有红外烘烤灯。本发明的箱体内壁红外烘烤机可在箱体内的四个维度上运动调整，烘烤效率高且不会对箱体外表面喷漆造成损坏，能够满足为大型激光装置下架洁净清洗后的箱体加快残留水分蒸发和防锈的需求，结构简单，烘烤快速，方便宜行，操作容易。
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公开(公告)号：CN105921454A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201610306612.2
申请日：2016-05-11
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供了一种高功率激光装置的不锈钢元件表面的洁净处理方法。该方法首先采用普通清洗方法以去除元件表面的大粒径和大面积污染物，其后经脱水处理，再将元件浸泡于清洗剂溶液中浸润，经脱水处理后再去除表面氧化物；利用清洗剂溶液进行二次浸润，最后对元件进行超声波或高压喷淋精密清洗。本发明的高功率激光装置的不锈钢元件表面的洁净处理方法，适用于高功率激光装置中不同尺寸的不锈钢元件的清洁，污染物去除效果好，不锈钢元件的表面洁净度等级高，具有可靠、经济、高效优点，清洗后不锈钢元件的表面洁净度等级优于BJD 100级‑A/10A。
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公开(公告)号：CN105921453A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201610306605.2
申请日：2016-05-11
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供了一种高功率激光装置的大型箱体表面的洁净处理方法。所述的方法首先采用普通清洗方法以去除箱体表面的大粒径和大面积污染物，其后经脱水处理，再将元件浸泡于清水中浸润，浸润后的箱体经过两次清洗剂溶液高压喷淋清洗、清水高压喷淋漂洗和脱水处理过程。本发明的高功率激光装置的大型箱体表面的洁净处理方法，适用于高功率激光装置的大型箱体表面的清洁，污染物去除效果好，处理后的箱体表面洁净度等级高，具有可靠、经济、高效的特点。清洗后的大型箱体表面洁净度等级优于BJD 100级‑A/10A。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102507596B
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201110365740.1
申请日：2011-11-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种基于激光束主动扫描的光学元件表面疵病检测系统。在该检测系统中，被监测的光学元件与激光器、导向镜、光电探头之间不做相对运动，仅依靠导向镜的二维转动实现对光学元件表面的逐点主动扫描，并在扫描过程中实时改变光束的焦点位置使其始终落在光学元件表面上。该系统能够满足高功率固体激光装置中强光辐照环境、高真空环境以及狭窄空间中的光学元件在线监测，本发明的系统结构简单，使用灵活，应用范围广泛。
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公开(公告)号：CN102327885B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201110343542.5
申请日：2011-11-04
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B08B7/00
Abstract: 本发明公开了一种用于石质文物的便携式激光清洗机，可对石质文物表面污染物进行有效的清除，并有效避免清洗过程中发生损伤。本发明包括激光器、集成在激光器上的激光能量监测系统和可见光指示系统、用于传导激光的导光臂和工作头。本发明具有实时在线监测文物表面形貌、激光能量监测、可见光指示和激光光斑尺寸可调的功能。通过判断待清洗物表面形貌和激光能量大小，当有需要时立即停止激光辐照，可有效避免文物损伤发生。可见指示光精确指示激光，便于观察激光位置。可根据需要调节待清洗表面的光斑尺寸，使清洗过程更易控制。本发明的激光清洗机适用于石质文物清洗，携带方便，易于使用。
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公开(公告)号：CN118874133A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202411198195.5
申请日：2024-08-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供一种分子态有机污染物净化装置，涉及空气净化技术领域，包括气体管路、微透镜以及紫外线灯，气体管路的内壁面设置有反射层，反射层的表面为沿气体管路轴向延伸的波浪形结构；紫外线灯位于气体管路的端部，并透过微透镜照向气体管路内部，紫外线灯的入射方向与气体管路的轴线方向存在夹角，本发明利用紫外线灯照射消除有机污染物的结构形式更加稳定，不需要频繁对设备进行维护，使用寿命也更长；并且，本发明将气体管路内壁设置表面为波浪形形状的反射层，能够将紫外线进行反射叠加增强，提高对有机污染物的净化效果。
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公开(公告)号：CN118566530A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410316936.9
申请日：2024-03-20
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明属于微纳光纤传感技术领域，具体涉及一种微纳光纤风速传感器及其制备方法和应用。本发明提供了一种微纳光纤风速传感器，包括微纳光纤、固定于微纳光纤表面的风速敏感层和固定于风速敏感层表面的树脂封装层；所述树脂封装层的中心设置有敏感窗口，敏感窗口处裸漏出风速敏感层；所述风速敏感层的组成包括SiO2，Yb2O3和Er2O3。本发明提供的传感器体积小，空间适应性好。且本发明采用风速敏感层(组成包括SiO2，Yb2O3和Er2O3)结合光纤结构，对环境风速具有良好的响应性能。
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公开(公告)号：CN118308723A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410313605.X
申请日：2024-03-19
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种在光学元件表面制备定向微纳颗粒的装置，包括密封腔室，所述密封腔室的两侧分别贯通连接有熔石英玻璃，调节机构，其设置在所述密封腔室内，所述调节机构位于两个所述熔石英玻璃之间，且所述调节机构上设置有光学元件；支撑杆，其对应调节机构设置在所述密封腔室内，且所述支撑杆上设置有喷溅件；激光器，其位于所述密封腔室外，且所述激光器的发射端对应所述光学元件、喷溅件设置。本发明，利用激光辐照光学元件和待研究的喷溅材料，可以使得光学元件表面沉积产生微纳颗粒，并通过对光学元件进行调节，即可获得全口径覆盖和不同角度入射喷溅的微纳颗粒，实现了光学元件表面受到污染的真实还原。
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