公开(公告)号：CN101199923A

公开(公告)日：2008-06-18

申请号：CN200710149666.3

申请日：2007-09-10

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 远藤真一 ,  小柳博

IPC: B01J19/12 ,  B08B7/00 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333 ,  H01L21/304 ,  G21K5/00

Abstract: 本发明要解决的问题是提供一种准分子光照射装置，在利用准分子光清洁液晶面板用玻璃基板等的清洁装置中，可以进行高效的清洁，能够无偏差地清洁大型基板。本发明的准分子光照射装置在并列配置有多根准分子灯的灯壳内具有喷出至少包括氮气等不活泼气体的气体的喷气管，具有由该喷气管和该准分子灯上表面部分及该灯壳的间隔壁包围而成的第一置换空间、以及由该喷气管和该准分子灯下表面部分及搬运的基板包围而成的第二置换空间，通过从该喷气管向该第一置换空间喷出不活泼气体，形成该第一置换空间。

公开(公告)号：CN101131228A

公开(公告)日：2008-02-27

申请号：CN200710141093.X

申请日：2007-08-16

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 菱沼宣是 ,  远藤真一

IPC: F21S2/00 ,  H01L21/00 ,  F21W131/403

Abstract: 提供一种准分子灯装置，可以适于应对基板的大型化，并且可以降低运转成本，可以切实地进行基板表面的处理。本发明涉及的准分子灯装置的特征在于包括：容纳准分子灯的灯罩；气体供给用配管，设置在灯罩内，位于与准分子灯平行且交互的位置，设有气体喷出口；以及气体供给单元，向气体供给用配管中导入含水蒸气的惰性气体，通过上述气体供给单元，绝对湿度控制为预定值的惰性气体被供给到上述气体供给用配管中。此外上述绝对湿度换算成重量绝对湿度为0.5～6.5g/kg。