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公开(公告)号：CN112152582B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202010865511.5
申请日：2020-08-25
Applicant: 中山市博顿光电科技有限公司 , 佛山市博顿光电科技有限公司
Abstract: 本申请涉及一种离子源驱动电源的滤波电路及其滤波参数检测方法和装置，所述离子源驱动电源的滤波电路为LC滤波电路，串联在离子源驱动电源与离子源负载之间，包括串联的电感和并联的滤波电容；所述滤波电路用于对所述离子源驱动电源输出的实时电流波形的高频振荡进行抑制，滤除所述实时电流波形中的高频振荡干扰信号。本申请提供的上述技术方案，通过采用高频滤波元件的LC滤波电路，串联电感器和并联滤波电容，在离子源驱动电源输出电源时，滤波电路可以保证离子源驱动电源输出平滑的直流电压，滤除离子源负载中不稳定导致的高频干扰，避免损坏电源。
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公开(公告)号：CN117826230A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311851909.3
申请日：2023-12-29
Applicant: 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
IPC: G01T1/29
Abstract: 本申请涉及一种离子束测量方法、装置、离子束束流测量系统及真空设备；所述方法包括：在对真空设备的离子源输出的离子束进行测量时，根据离子源的空间模型确定测量点序列及其位置参数，并计算将探测装置移动到相应测量点的控制参数，然后根据控制参数依次控制探测装置移动至各个测量点位置测量束流参数，再根据束流参数生成离子源的离子束束流分布图；该技术方案，采用移动式的探测装置对各个位置点进行测量束流参数，相对于法拉第筒阵列测量方式，可以提升测量数据一致性，能够获得准确的性能参数；而且可以根据需求设置测量点数量，可以在空间模型中任意位置选点来测量，适合不同应用场景下的测量需求。
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公开(公告)号：CN117758225A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202410046480.9
申请日：2024-01-11
Applicant: 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
IPC: C23C14/50 , C23C16/458
Abstract: 本申请涉及一种工件架及真空设备，工件架第一转轴第二转轴以及安装结构；安装结构设计为U型结构形状，包括两个侧边支臂和底部平台，每个安装结构上设置有至少一个用于放置工件的工件盘安装在安装结构的底部平台上；在工作时，第一转轴和第二转轴绕旋转轴线转动，使得安装结构在真空设备的真空腔体内进行空间翻转，将工件盘置于不同空间位置在安装结构上设计了平衡装置，对安装结构进行配平使得安装结构在翻转中形成动平衡，从而使得安装结构在翻转中形成动态平衡该技术方案，实现了二维空间调整功能，提升了真空设备的工作效率，减少真空设备在镀膜/刻蚀过程中产生的振动，保持了真空设备工作稳定性。
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公开(公告)号：CN117512552A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311652945.7
申请日：2023-12-04
Applicant: 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
Abstract: 本申请涉及一种旋转工件盘及其控制方法、真空设备；所述旋转工件盘包括旋转机构、工件盘和旋转轴，旋转机构通过所述旋转轴连接工件盘；在旋转轴上设有转动机构，转动机构位于工件盘上部位置；转动机构连接一导向部件，导向部件在工件盘上方沿工件盘直径方向延伸，在导向部件上设有配重块；转动机构驱动导向部件绕旋转轴轴线进行旋转，使得导向部件旋转至相对于工件盘平面上的设定角度位置；导向部件推动配重块沿工件盘直径方向进行移动，使得配重块移动至距离旋转轴轴线设定距离位置处。该技术方案，实现了上料操作过程的自动化配平，提升了上料操作工作效率，确保旋转工件盘的平衡，增强了真空设备的工作稳定性，提升了工件镀膜或刻蚀的质量。
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公开(公告)号：CN116005123A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211743783.3
申请日：2022-12-30
Applicant: 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
Abstract: 本申请涉及一种真空镀膜设备及其镀膜控制方法，所述设备包括：真空腔室，内置有连接控制系统的产品转盘、溅射系统以及离子源；光谱检测装置，连接至控制系统，用于在镀膜过程中检测镀膜产品的光谱能量数据并上报至控制系统；控制系统，用于控制产品转盘、溅射系统以及离子源的运行，采集光谱检测装置检测的光谱能量数据并计算镀膜产品的实时透射率，在膜层厚度接近目标厚度时，基于实时透射率预测出已镀膜的实际厚度；依据实际厚度计算换层判停时间并输出换层判停指令进行换层操作，直至完成所有膜层的镀膜；该技术方案，极大提升了换层判停精度，特别是层数较多的镀膜中，避免了镀膜层数增加所带来的误差累积，提升了镀膜产品的膜层质量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113774353A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202111083183.4
申请日：2021-09-15
Applicant: 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
IPC: C23C14/54
Abstract: 本申请涉及一种镀膜过程的工艺参数优化方法、装置及镀膜实时监控系统，该方法包括：获取薄膜的目标性能参数和薄膜镀制的初始工艺参数；对目标性能参数进行光学计算得到对应的目标光谱曲线；在薄膜镀制过程中，读取光控系统实时计算的膜层的透过率曲线，根据透过率曲线计算膜层的实际光谱曲线；对初始工艺参数进行调整并实时计算实际光谱曲线与目标光谱曲线之间的差值，直至实际光谱曲线与目标光谱曲线一致；记录调整得到的镀制过程的实际工艺参数，利用实际工艺参数优化初始工艺参数并输出相应的光学导纳；该技术方案，实现了对膜层的初始参数的误差检测和校正，保证该膜层的镀膜过程可监控和可预测，实现对每个膜层的镀膜过程的稳定和精准控制。
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公开(公告)号：CN112965003A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110138449.4
申请日：2021-02-01
Applicant: 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
Abstract: 本申请涉及一种电源老化负载电路，包括至少两个发热控制单元，采样电路，以及控制电路；所述发热控制单元包括调节电路和MOS管，各个发热控制单元的MOS管源极和漏极串联后连接在电源的正负极两端；其中，所述调节电路分别连接所述控制电路；所述采样电路用于对电源信号进行采样得到电源反馈信号输出至所述控制电路；所述控制电路用于接收输入的电源参考信号，将所述电源参考信号与所述电源反馈信号进行比对，输出控制信号至所述调节电路；所述调节电路用于根据所述控制信号调节所述MOS管的栅极电压以调节MOS管的内阻；该技术方案，通过把发热控制单元串联起来，增加了负载电压，提升了电源老化负载电路使用范围。
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公开(公告)号：CN112908817A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110085599.3
申请日：2021-01-22
Applicant: 中山市博顿光电科技有限公司 , 佛山市博顿光电科技有限公司
Abstract: 本申请涉及一种射频阴极中和器，包括：电离腔室，靶材，维持极，发射极，以及磁铁组件；靶材通过第一绝缘部件设置在电离腔室底部，维持极和发射极设于电离腔室顶部，靶材连接射频电源，磁铁组件向电离腔室提供磁场；在工作中，向电离腔室通入工作气体，利用磁铁组件产生的磁场和射频电源输出的射频电磁波对工作气体进行电离产生等离子体；维持极和发射极用于分离等离子体中的正离子和负电子，并将负电子输出；该技术方案，使用了电容性射频驱动的方式驱动中和器，射频负载面对地直流绝缘，对地等效为电容，具有更高匹配效率，设备结构更加简单；而且通过引入磁场和射频电共同作用，使得等离子体更加活泼，也提高了电离效率。
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公开(公告)号：CN112908816A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110085518.X
申请日：2021-01-22
Applicant: 中山市博顿光电科技有限公司 , 佛山市博顿光电科技有限公司
Abstract: 本申请涉及一种中空阴极管启动方法、装置及中空阴极中和器，所述方法包括：向中空阴极管导入工作气体；启动维持电源，向中空阴极管输入维持电流；对所述中空阴极管的头部位置进行持续加热；当所述中空阴极管的头部位置的温度满足热电子输出时，控制温度调整至设定温度值；开启阴极电源向中空阴极中和器提供工作电源；该技术方案能适应低温阴极材料工作环境，降低了高压启动对电源的要求，无需大量的气体流量来启动，便于启动控制。
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公开(公告)号：CN112885697A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110034534.6
申请日：2021-01-11
Applicant: 佛山市博顿光电科技有限公司 , 中山市博顿光电科技有限公司
IPC: H01J37/32
Abstract: 本申请涉及一种离子源安装结构及真空设备，离子源安装结构包括：固定离子源的连接板，连接板通过滑动系统连接在真空腔体的面板上；连接板上设有提升机构，用于提升连接板相对于面板滑动运动；离子源通过旋转结构与连接板连接，用于将离子源相对于连接板翻转一角度，将离子源转向至设定位置；该技术方案，通过固定离子源的连接板、提升机构、滑动系统以及旋转结构；在需要对离子源进行维护/维修时，通过提升机构提升连接板。连接板在滑动系统导向下相对于面板提升一定距离，然后并将离子源绕旋转结构翻转一角度，将离子源转向至设定位置；从而可以使离子源的工作面朝向侧边，便于工程人员对离子源进行维护/维修作业，提升了作业效率。
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