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公开(公告)号：CN203325857U
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201320090450.5
申请日：2013-02-27
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 史蒂文·韦尔豪费尔贝克 , 罗曼·古科
IPC: H01L21/673
CPC classification number: B05C13/02 , H01L21/67754 , H01L21/68707 , H01L21/68771
Abstract: 本实用新型涉及基板承载板，并且提供了用于同时处理多个基板的方法和设备。在一个实施例，提供了用于支撑多个基板的承载板。所述承载板包括盘状主体，所述盘状主体具有第一侧和与所述第一侧相对的、实质平坦的第二侧，并且所述承载板包括形成在所述盘状主体的第一侧中的多个凹部。多个凹部的各个凹部都包括从第一侧的表面到凹部的底表面渐缩的侧壁和设置在所述凹部的底表面上方并几何对中在所述凹部的支撑结构。
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