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公开(公告)号：CN217639747U
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202122376235.9
申请日：2021-09-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及微机电系统MEMS镜器件和便携式电子装置。微机电镜器件包括半导体材料的支撑框架和半导体材料板。板被连接到支撑框架，以能够围绕至少一个旋转轴线被定向。反射层被布置在板的第一区域上。压电致动结构在板的、相邻于反射层的第二区域上延伸。压电致动结构被配置为施加力来诸如修改板的曲率。本实用新型的实施例提供了MEMS镜器件的改进，例如消除或减少镜结构中的板的变形并且改进板的平面度。
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公开(公告)号：CN217323375U
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202120950316.2
申请日：2021-05-06
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B81B3/00
Abstract: 本公开的各实施例涉及微机电结构致动器以及微流体阀。微机电结构致动器由以下部件形成：基底，围绕腔体；可变形结构，悬置在腔体上；致动结构，由第一压电材料的第一压电区域形成，由可变形结构支撑并且被配置为引起可变形结构的变形；以及检测结构，由第二压电材料的第二压电区域形成，由可变形结构支撑并且被配置为检测可变形结构的变形。压电电阻器是在存在机械应力的情况下经历电阻变化并且因此允许通过电压或电流检测来检测可变形结构的变形的设备。然而，该检测是主动检测，并且因此意味着具有高能耗的电流的通过。
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公开(公告)号：CN221239140U
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202321542759.3
申请日：2023-06-16
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及包括微机电镜面设备的电子设备。一种微机电器件具有在由第一水平轴线和第二水平轴线限定的水平面中延伸的第一可倾斜镜面结构，并且包括限定界定腔体的框架的固定结构、承载反射区域的可倾斜元件，该可倾斜元件弹性地悬置在腔体上方并且具有第一中间对称轴线和第二中间对称轴线，通过位于第二水平轴线的相对侧的第一耦合结构和第二耦合结构弹性地耦合到框架。第一可倾斜镜面结构具有驱动结构，该驱动结构耦合到可倾斜元件以引起围绕第一水平轴线的旋转。第一可倾斜镜面结构相对于第二水平轴线是非对称的，并且沿着第一水平轴线在第二水平轴线的第一侧具有第一延伸，并且在第二水平轴线的与第一侧相对的第二侧具有大于第一延伸的第二延伸。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN217148569U
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202122381608.1
申请日：2021-09-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及微机电设备。例如，一种微机电设备，包括：固定结构，具有限定腔体的框架；可倾斜结构，弹性地悬置于腔体上方，并且在水平面中具有主延伸部；压电驱动的致动结构，可被偏置以使可倾斜结构围绕第一和第二旋转轴进行期望旋转；以及支撑结构，与固定结构集成，并且从框架延伸到腔体中。杠杆元件通过弹性悬置元件在第一端处弹性地耦合到可倾斜结构，并且通过限定杠杆旋转轴的弹性连接元件在第二端处耦合到支撑结构。杠杆元件被弹性地耦合到致动结构，使得它们的偏置引起可倾斜结构围绕第一和第二旋转轴的期望旋转。
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公开(公告)号：CN216662479U
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202121559437.0
申请日：2021-07-09
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 一种MEMS微镜设备，形成在包括容纳体和对光辐射透明的盖的封装件中。封装件形成容纳具有反射表面的可倾斜平台的腔。元结构形成在盖上和/或反射表面上，并且包括多个衍射光学元件。本公开的实施例提供了具有改进性能的MEMS微镜设备，降低或消除了伪像，降低了制造成本。
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公开(公告)号：CN214335449U
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202023095104.5
申请日：2020-12-21
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及光学微机电设备和微型投影仪装置。为了制造光学微机电设备，加工具有第一表面和第二表面的半导体材料的第一晶片，以形成悬挂镜结构、围绕悬挂镜结构的固定结构、在固定结构与悬挂镜结构之间延伸的弹性支撑元件、以及耦接到悬挂镜结构的致动结构。第二晶片被单独加工，以形成由底壁界定的室，该底壁具有贯通开口。第二晶片以如下方式被接合到第一晶片的第一表面，该方式使得室覆盖在致动结构上，并且贯通开口与悬挂镜结构对准。此外，第三晶片被接合到第一晶片的第二表面，以形成复合晶片设备。该复合晶片设备然后被切割以形成光学微机电设备。
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公开(公告)号：CN212864129U
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202020418918.9
申请日：2020-03-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电设备和微型投影仪装置。MEMS设备形成在半导体材料的裸片中，该裸片具有在其中限定的腔并且具有锚固部分。可倾斜结构弹性地悬挂在腔之上，并且具有在水平平面中的主延伸部。第一和第二支撑臂在锚固部分与可倾斜结构的相对侧之间延伸。第一和第二谐振压电致动结构旨在被偏置，从而引起可倾斜结构绕旋转轴线的旋转。第一支撑臂由第一和第二扭转弹簧形成，第一和第二扭转弹簧对于从水平平面离开的运动是刚性的、并且顺从于绕旋转轴线的扭转，并且第一和第二扭转弹簧在约束区域处耦合在一起。第一和第二谐振压电致动结构在第一支撑臂的第一侧和第二侧上，在锚固部分与约束结构之间延伸。
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公开(公告)号：CN211378154U
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202020363275.2
申请日：2020-03-20
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电结构以及微型投影仪设备。一种微机电结构，包括：半导体材料的体部，该体部具有固定框架，该固定框架在内部限定腔；可移动块，该可移动块弹性地悬挂在腔中，并且利用围绕第一旋转轴线的第一谐振运动、以及围绕与第一旋转轴线正交的第二旋转轴线的第二谐振运动而可移动。以悬臂方式在腔中延伸的第一对和第二对支撑元件刚性地耦合到框架，并且可压电变形以引起可移动块围绕第一旋转轴线和第二旋转轴线的旋转。第一对和第二对弹性耦合元件弹性地耦合在可移动块与第一对和第二对支撑元件之间。由于第一对和第二对弹性耦合元件，可移动块的第一和第二旋转运动彼此解耦合并且彼此不干扰。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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