显示器件的缺陷检测方法及显示器件的缺陷检测装置

    公开(公告)号:CN103499588A

    公开(公告)日:2014-01-08

    申请号:CN201310364410.X

    申请日:2008-09-26

    Abstract: 本发明提供一种显示器件(50)的缺陷检测方法及显示器件的缺陷检测装置,可以判定是能够在修理线中修正的缺陷还是必须停止生产线的缺陷。显示器件的缺陷检测方法具备:对显示器件的每个局部区域计测特征量(P32),基于计测出的区域的特征量计数判定为缺陷区域的区域的缺陷计数步骤(P36);在缺陷计数步骤中缺陷数大于第一阈值的情况下,停止显示器件的生产线的步骤(P38、P42);在缺陷计数步骤中缺陷数小于第一阈值的情况下,计算给定面积内的缺陷密度的缺陷密度计算步骤(P38);在缺陷密度计算步骤中缺陷密度大于第二阈值的情况下,停止显示器件的生产线的步骤(P40、P42)。

    基板匣、基板保管装置及基板处理系统

    公开(公告)号:CN102834340A

    公开(公告)日:2012-12-19

    申请号:CN201180018294.5

    申请日:2011-04-11

    Abstract: 基板匣(CTR),具备:收容部(1)、搬出口(3)、搬入口(2)、导引部(4)。收容部(1)收容带状的基板(FB)。搬出口(3)及搬入口(2)是设于收容部(1)且供基板(FB)通过。导引部(4)将基板(FB)从搬入口(2)导引至搬出口(3)。导引部(4)包含可动导引板(45)及移动滚筒(47,48)。移动滚筒(47,48)包含伸缩部(52b)。首先,可动导引板(45)被保持水平且伸缩部(52b)收缩。基板(FB)的前端部支承在导引板(45)上。当使用搬入滚筒(23)送入基板(FB)时,导引板(45)旋动成垂直姿势。随着基板(FB)搬入,伸缩部(52b)逐渐延伸。基板匣(CTR)是连接于基板处理装置(FPA)。

    显示器件的缺陷检测方法及显示器件的缺陷检测装置

    公开(公告)号:CN101861516A

    公开(公告)日:2010-10-13

    申请号:CN200880110250.3

    申请日:2008-09-26

    Abstract: 本发明提供一种显示器件(50)的缺陷检测方法及显示器件的缺陷检测装置,可以判定是能够在修理线中修正的缺陷还是必须停止生产线的缺陷。显示器件的缺陷检测方法具备:对显示器件的每个局部区域计测特征量(P32),基于计测出的区域的特征量计数判定为缺陷区域的区域的缺陷计数步骤(P36);在缺陷计数步骤中缺陷数大于第一阈值的情况下,停止显示器件的生产线的步骤(P38、P42);在缺陷计数步骤中缺陷数小于第一阈值的情况下,计算给定面积内的缺陷密度的缺陷密度计算步骤(P38);在缺陷密度计算步骤中缺陷密度大于第二阈值的情况下,停止显示器件的生产线的步骤(P40、P42)。

Patent Agency Ranking