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    弹性波装置及其制造方法
    42.
    发明公开
    弹性波装置及其制造方法 有权

    公开(公告)号：CN101765971A

    公开(公告)日：2010-06-30

    申请号：CN200880100519.X

    申请日：2008-06-30

    Applicant: 株式会社村田制作所

    Inventor： 田中伸拓 ,  山崎央

    IPC: H03H9/145 ,  H03H3/08 ,  H03H9/25

    CPC classification number: H03H9/059 ,  H01L2224/11 ,  H03H3/08 ,  H03H9/0222 ,  H03H9/02897 ,  H03H9/02929 ,  H03H9/02992 ,  H03H9/14541 ,  H03H9/725

    Abstract: 本发明提供一种弹性波装置及其制造方法，所述弹性波装置在使用了凸点的倒装式接合时，不仅不易在压电基板上产生裂纹，还能够降低配线图案彼此的电连接部即接触部的接触电阻，改善插入损耗。所述弹性波装置(1)在压电基板(2)上形成第一、第二层叠导电膜，通过第一层叠导电膜(33)形成IDT电极及第一配线图案(16)，通过第二层叠导电膜(31)形成连接凸点(32)的电极焊盘(9)及第二配线图案(17)，形成至少一个第二配线图案(17)重合在第一配线图案(16)上而使两者电连接的接触部(B)，第一层叠导电膜(33)的最上层导电膜由Ti膜(33a)构成，第二层叠导电膜(31)的最下层导电膜是由Al或以Al为主体的合金构成的Al系导电膜(31c)。

    流体控制装置
    44.
    发明公开
    流体控制装置 审中-实审

    公开(公告)号：CN117307453A

    公开(公告)日：2023-12-29

    申请号：CN202311100524.3

    申请日：2020-05-14

    Applicant: 株式会社村田制作所

    Inventor： 田中伸拓

    IPC: F04B43/04 ,  F04B45/047

    Abstract: 本发明提供一种流体控制装置。流体控制装置(10)具备第一主板(20)、压电元件(30)、第二主板(40)、侧板(50)、第一膜(61)以及第二膜(62)。流体控制装置(10)的泵室(100)由被第一主板(20)、第二主板(40)以及侧板(50)围起来的空间实现。整流部用基座部件(80)配置在第一主板(20)与上述第二主板(40)之间。第一膜(61)配置于第一主板(20)且为可动部相对于固定端成为侧板(50)侧的形状。第二膜(62)配置于整流部用基座部件(80)的主面(802)，且为可动部相对于固定端成为与侧板(50)相反侧的形状。

    泵装置
    45.
    发明公开
    泵装置 审中-实审

    公开(公告)号：CN116635632A

    公开(公告)日：2023-08-22

    申请号：CN202180086396.4

    申请日：2021-11-29

    Applicant: 株式会社村田制作所

    Inventor： 田中伸拓

    IPC: F04B45/047

    Abstract: 泵装置(1)具备压电泵(10)和蓄热部件(51)。压电泵(10)具备在一个主面配置有压电元件(22)的平板(211)、以及在内部配置有平板(211)且将平板(211)支承为能够振动的壳体。蓄热部件(51)配置于壳体。

    流体控制装置以及血压计
    46.
    发明授权
    流体控制装置以及血压计 有权

    公开(公告)号：CN110198662B

    公开(公告)日：2022-08-16

    申请号：CN201880008071.2

    申请日：2018-01-22

    Applicant: 株式会社村田制作所

    Inventor： 田中伸拓

    IPC: A61B5/0225

    Abstract: 流体控制装置(101)具有泵(20)、通过该泵(20)加压或者减压的容器(70)、在打开状态下使容器(70)与外部连通的阀门(60)、以及控制泵(20)和阀门(60)的控制部(90)。控制部(90)通过关闭阀门(60)，并驱动泵(20)来对容器(70)加压或者减压，之后，通过打开阀门(60)，并驱动泵(20)对泵(20)进行冷却。由此，实现泵的温度上升的抑制或者流体控制装置的便利性的提高。

    泵
    47.
    发明公开
    泵 有权

    公开(公告)号：CN114876777A

    公开(公告)日：2022-08-09

    申请号：CN202210421343.X

    申请日：2018-12-04

    Applicant: 株式会社村田制作所

    Inventor： 近藤大辅 ,  和田宽昭 ,  田中伸拓 ,  横井宏之 ,  阿知波宽基 ,  竹村洋

    IPC: F04B45/047 ,  F04B43/04 ,  H01L41/09

    Abstract: 泵(1A)具备外壳(10)、限定泵室(21)的第1振动体(30)、第2振动体(40)及周壁部(50)、以及驱动体(60)。外壳(10)具有与第1振动体(30)对置的第1壁部和与第2振动体(40)对置的第2壁部。第1壁部包括：朝向第1振动体(30)侧开口并且与第1振动体(30)的包含中央部的部分对置的第1凹部(11a)；和与第1凹部(11a)相邻的第1周围部(11b)。由第1振动体(30)与第1壁部限定的第1室(80)包括由第1凹部(11a)和第1振动体(30)限定的第1宽大部(81)、和由第1周围部(11b)和第1振动体(30)限定的第1狭窄部(82)。第1狭窄部(82)形成为与第1振动体(30)的至少局部重叠。

    流体控制装置
    48.
    发明公开
    流体控制装置 有权

    公开(公告)号：CN114127421A

    公开(公告)日：2022-03-01

    申请号：CN202080048399.4

    申请日：2020-05-14

    Applicant: 株式会社村田制作所

    Inventor： 田中伸拓 ,  川端友德

    IPC: F04B43/02 ,  F04B43/04 ,  F04B45/04 ,  F04B45/047

    Abstract: 流体控制装置(10)具备第一主板(20)、压电元件(30)、第二主板(40)、侧板(50)、第一薄膜(61)以及第二薄膜(62)。流体控制装置(10)的泵室(100)通过由第一主板(20)、第二主板(40)以及侧板(50)围起的空间实现。第一薄膜(61)配置于第一主板(20)的靠泵室(100)侧，并配置于第一主表面(211)，并具有一个端成为可动端的可动部。第二薄膜(62)配置于第二主板(40)的靠泵室(100)侧，并配置于第三主表面(401)，具有一个端成为可动端的可动部。第一薄膜(61)和第二薄膜(62)配置于第一主板(20)的第一开口(230)与第二主板(40)的第二开口(400)之间。

    流体控制装置
    49.
    发明授权
    流体控制装置 有权

    公开(公告)号：CN110337542B

    公开(公告)日：2021-04-27

    申请号：CN201880014233.3

    申请日：2018-02-23

    Applicant: 株式会社村田制作所

    Inventor： 冈口健二朗 ,  田中伸拓

    IPC: F04B43/04 ,  F04B43/02

    Abstract: 流体控制装置具备：压电泵，具有压电元件；驱动电路，被施加驱动电源电压，来驱动压电元件；以及起动电路，设置在电源电压的输入部与驱动电路之间。起动电路使驱动电源电压在起动后的第一阶段(P1)上升到小于稳态电压(Vc)的电压(V1)，在接着第一阶段(P1)的第二阶段(P2)使其维持或者下降，在接着第二阶段(P2)的第三阶段(P3)使其上升到稳态电压(Vc)。

    泵装置
    50.
    发明公开
    泵装置 有权

    公开(公告)号：CN111727319A

    公开(公告)日：2020-09-29

    申请号：CN201980013507.1

    申请日：2019-02-14

    Applicant: 株式会社村田制作所

    Inventor： 田中伸拓

    IPC: F04B9/00 ,  F04B23/06

    Abstract: 泵装置具备：第1压电泵；第2压电泵，其与第1压电泵的上游侧串联连接；驱动部，其对第1压电泵和第2压电泵供给交流的输入电力；以及分配设定部，其对分别供给于第1压电泵和第2压电泵的来自驱动部的输入电力的分配比例进行设定，分配设定部将向第2压电泵输入的输入电力相对于向第1压电泵输入的输入电力之比例设定为大于1且1.57以下。

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