公开(公告)号：CN101335203A

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：CN200810108560.3

申请日：2008-05-27

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 后藤裕史 ,  越智元隆 ,  武富雄一 ,  川上信之

IPC: H01L21/28 ,  H01L21/768 ,  H01L21/84 ,  H01L23/532 ,  H01L29/43 ,  H01L27/12 ,  G02F1/1362 ,  G02F1/1343 ,  H01B13/00 ,  H01B5/14

CPC classification number: G02F1/136286 ,  B32B2457/20 ,  C22C21/00 ,  G02F2001/136295

Abstract: 本发明提供一种层叠构造及其制造方法，其不增加氧化物透明导电膜和Al合金膜之间的接触电阻且直接连接氧化物透明导电膜和Al合金、布线电阻小，在显影液等电解质液中不易发生电池作用腐蚀。其中制造层叠构造的方法具备有：在基板上形成所述氧化物透明导电膜的第一工序、在该氧化物透明导电膜上形成含有离子化倾向比铝小的合金成分的Al合金膜的第二工序、在由铝和所述合金成分构成的金属间化合物的析出温度以上，对所述Al合金膜进行加热的第三工序。

公开(公告)号：CN100433369C

公开(公告)日：2008-11-12

申请号：CN200510009027.8

申请日：2005-02-16

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 林和志 ,  橘武史 ,  横田嘉宏 ,  川上信之

IPC: H01L31/00 ,  G01J1/02

CPC classification number: G01J1/429 ,  G01J2001/0276 ,  H01L31/028 ,  H01L31/09 ,  H01L31/1085 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/12032 ,  Y02E10/547 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种紫外线传感器，它包括衬底；位于衬底上用作探测器的金刚石层；以及至少一对排列在金刚石层上的表面电极。此金刚石层的表面处具有探测区，此探测器具有至少一个从表面电极暴露的子区，且此子区具有位于其上的由氧化物或氟化物组成的覆盖层。一种制造紫外线传感器的方法，它包括下列步骤：在衬底上形成用作探测器的金刚石层；在金刚石层上形成至少一对表面电极；以及在存在于金刚石层表面处的探测区的至少一个子区上，形成由氧化物或氟化物组成的覆盖层，此子区被从表面电极暴露。

公开(公告)号：CN1745497A

公开(公告)日：2006-03-08

申请号：CN200480003063.7

申请日：2004-01-05

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 丸山政克 ,  川上信之 ,  福本吉人 ,  平野贵之

IPC: H01P3/16 ,  H01P11/00

CPC classification number: H01P3/165 ,  H01P11/006 ,  Y10T428/24182

Abstract: 本发明提供了一种介电线，其具有足够的强度，并适于批量生产，以及提供了一种该介电线的制造方法。该制造方法是一种用于制造介电线的制造方法，该介电线具有介电带和介电层，介电带位于两个大致相互平行的导电板之间，并且介电带具有比导电板窄的宽度，介电层填充在两个导电板之间除了介电带以外的其它部分，该介电层由介电常数比介电带的介电常数小的多孔材料组成。该介电线(NRD波导)通过下列步骤制成：使用介电原材料在导电板之一上形成薄膜的薄膜成形步骤；将介电原材料的上述薄膜的一部分暴露到预定的光线、光束以及蒸汽下的带暴露步骤，其中该部分具有相应于介电带的形状；以及使得介电原材料整个薄膜多孔的孔成形步骤。

公开(公告)号：CN1243366C

公开(公告)日：2006-02-22

申请号：CN02800274.1

申请日：2002-02-08

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 增田薰 ,  饭岛胜之 ,  铃木哲雄 ,  川上信之 ,  山形昌弘 ,  达里尔·W·彼得斯 ,  马修·I·埃贝

IPC: H01L21/00 ,  B08B3/00 ,  C11D1/00 ,  C11D3/37

CPC classification number: C11D7/02 ,  B08B7/0021 ,  C11D7/04 ,  C11D7/10 ,  C11D7/3209 ,  C11D7/3218 ,  C11D7/5004 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/422 ,  G03F7/425 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31133 ,  H01L21/67086

Abstract: 本发明提供了一种从物体微观结构中去除残余物的方法，该方法包括的步骤有：制备去除剂，该去除剂包含二氧化碳、去除残余物的添加剂、和在加压流体状态下将添加剂溶解于该二氧化碳的助溶剂；将物体与去除剂接触以从物体中去除残余物。还提供了一种用来实现此方法的装置。

公开(公告)号：CN1674301A

公开(公告)日：2005-09-28

申请号：CN200510009027.8

申请日：2005-02-16

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 林和志 ,  橘武史 ,  横田嘉宏 ,  川上信之

IPC: H01L31/00 ,  G01J1/02

CPC classification number: G01J1/429 ,  G01J2001/0276 ,  H01L31/028 ,  H01L31/09 ,  H01L31/1085 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/12032 ,  Y02E10/547 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种紫外线传感器，它包括衬底；位于衬底上用作探测器的金刚石层；以及至少一对排列在金刚石层上的表面电极。此金刚石层的表面处具有探测区，此探测器具有至少一个从表面电极暴露的子区，且此子区具有位于其上的由氧化物或氟化物组成的覆盖层。一种制造紫外线传感器的方法，它包括下列步骤：在衬底上形成用作探测器的金刚石层；在金刚石层上形成至少一对表面电极；以及在存在于金刚石层表面处的探测区的至少一个子区上，形成由氧化物或氟化物组成的覆盖层，此子区被从表面电极暴露。

公开(公告)号：CN1457502A

公开(公告)日：2003-11-19

申请号：CN02800274.1

申请日：2002-02-08

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 增田薰 ,  饭岛胜之 ,  铃木哲雄 ,  川上信之 ,  山形昌弘 ,  达里尔·W·彼得斯 ,  马修·I·埃贝

IPC: H01L21/00 ,  B08B3/00 ,  C11D1/00 ,  C11D3/37

CPC classification number: C11D7/02 ,  B08B7/0021 ,  C11D7/04 ,  C11D7/10 ,  C11D7/3209 ,  C11D7/3218 ,  C11D7/5004 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/422 ,  G03F7/425 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31133 ,  H01L21/67086

Abstract: 本发明提供了一种从物体微观结构中去除残余物的方法，该方法包括的步骤有：制备去除剂，该去除剂包含二氧化碳、去除残余物的添加剂、和在加压流体状态下将添加剂溶解于该二氧化碳的助溶剂；将物体与去除剂接触以从物体中去除残余物。还提供了一种用来实现此方法的装置。