公开(公告)号：CN1243366C

公开(公告)日：2006-02-22

申请号：CN02800274.1

申请日：2002-02-08

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 增田薰 ,  饭岛胜之 ,  铃木哲雄 ,  川上信之 ,  山形昌弘 ,  达里尔·W·彼得斯 ,  马修·I·埃贝

IPC: H01L21/00 ,  B08B3/00 ,  C11D1/00 ,  C11D3/37

CPC classification number: C11D7/02 ,  B08B7/0021 ,  C11D7/04 ,  C11D7/10 ,  C11D7/3209 ,  C11D7/3218 ,  C11D7/5004 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/422 ,  G03F7/425 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31133 ,  H01L21/67086

Abstract: 本发明提供了一种从物体微观结构中去除残余物的方法，该方法包括的步骤有：制备去除剂，该去除剂包含二氧化碳、去除残余物的添加剂、和在加压流体状态下将添加剂溶解于该二氧化碳的助溶剂；将物体与去除剂接触以从物体中去除残余物。还提供了一种用来实现此方法的装置。

公开(公告)号：CN1542910A

公开(公告)日：2004-11-03

申请号：CN200410044791.4

申请日：2002-02-08

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 达里尔·W·彼得斯 ,  马修·I·埃贝

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/302 ,  B08B3/00 ,  C11D1/00 ,  C11D3/37

CPC classification number: C11D7/02 ,  B08B7/0021 ,  C11D7/04 ,  C11D7/10 ,  C11D7/3209 ,  C11D7/3218 ,  C11D7/5004 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/422 ,  G03F7/425 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31133 ,  H01L21/67086

Abstract: 本发明提供了一种从物体微观结构中去除残余物的方法，该方法包括的步骤有：制备去除剂，该去除剂包含二氧化碳、去除残余物的添加剂、和在加压流体状态下将添加剂溶解于该二氧化碳的助溶剂；将物体与去除剂接触以从物体中去除残余物。还提供了一种用来实现此方法的装置。

公开(公告)号：CN1457502A

公开(公告)日：2003-11-19

申请号：CN02800274.1

申请日：2002-02-08

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 增田薰 ,  饭岛胜之 ,  铃木哲雄 ,  川上信之 ,  山形昌弘 ,  达里尔·W·彼得斯 ,  马修·I·埃贝

IPC: H01L21/00 ,  B08B3/00 ,  C11D1/00 ,  C11D3/37

CPC classification number: C11D7/02 ,  B08B7/0021 ,  C11D7/04 ,  C11D7/10 ,  C11D7/3209 ,  C11D7/3218 ,  C11D7/5004 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/422 ,  G03F7/425 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31133 ,  H01L21/67086

Abstract: 本发明提供了一种从物体微观结构中去除残余物的方法，该方法包括的步骤有：制备去除剂，该去除剂包含二氧化碳、去除残余物的添加剂、和在加压流体状态下将添加剂溶解于该二氧化碳的助溶剂；将物体与去除剂接触以从物体中去除残余物。还提供了一种用来实现此方法的装置。