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公开(公告)号:CN106270842A
公开(公告)日:2017-01-04
申请号:CN201610844656.0
申请日:2016-09-22
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 一种抑制微细电化学加工杂散腐蚀的加工装置和方法,该装置包括:储液槽;微细加工电极;高频脉冲电源;垂直位移台,用于带动所述微细加工电极实现加工所需的垂直进给运动;绝缘罩,所述绝缘罩包围在所述微细加工电极的外围;三维位移台,用于带动所述绝缘罩和所述垂直位移台实现水平的xy向以及垂直的z向运动;其中所述绝缘罩的垂直位置由所述三维位移台的z向运动控制,所述微细加工电极的垂直进给运动由所述垂直位移台控制,所述微细加工电极的平面扫描运动由所述三维位移台的xy向运动控制。本发明的加工装置和加工方法既可抑制型腔表面的杂散腐蚀,也可避免固定绝缘层对铣削侧壁加工的影响。
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公开(公告)号:CN105896239A
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201610398024.6
申请日:2016-06-07
Applicant: 清华大学深圳研究生院
CPC classification number: H01S3/0385 , H01S3/2232
Abstract: 本发明公开了一种射频CO2激光器及其使用的平板电极、螺纹孔结构,射频CO2激光器包括密封壳体、平板电极和填充在所述密封壳体和平板电极之间的气体;所述密封壳体上设置有用于抽真空、充气的接口;所述平板电极上设置有螺纹孔,且为盲孔,所述螺纹孔周围开设有与所述螺纹孔连通的光孔,且至少所述光孔的底部与所述螺纹孔的底部连通。本发明,在平板电极上设计了改进的螺纹孔结构,有效地解决了螺纹孔中残留杂质气体的问题和密封腔体抽真空不彻底的问题,密封腔体内的气体可保持稳定性,使得射频CO2激光器的工作寿命较长。
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公开(公告)号:CN105665049A
公开(公告)日:2016-06-15
申请号:CN201610058795.0
申请日:2016-01-28
Applicant: 清华大学深圳研究生院
CPC classification number: B01L3/022 , B01L3/50273 , B01L2400/02 , B01L2400/0622
Abstract: 一种疏液微阀式微量液体提取装置和提取方法,该提取装置包括基体和形成在基体上的流体入口、流体出口、疏液微阀、毛细流道和喷嘴,流体入口与喷嘴之间通过毛细流道连接,流体出口通过毛细流道连接到流体入口与喷嘴之间的毛细流道上,并在毛细流道的交汇处形成分流点,疏液微阀设置在流体入口与喷嘴之间的毛细流道上且位于分流点与喷嘴之间,疏液微阀采用疏液结构,疏液微阀在其受到的液体压力超过其开启压力时允许液体流过,否则阻碍液体流过。本发明能够有效解决现有液体提取装置缺乏皮升级液体处理能力的问题,实现微量液体精确提取和分配。
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公开(公告)号:CN105238676A
公开(公告)日:2016-01-13
申请号:CN201510674143.5
申请日:2015-10-15
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: C12M1/00 , B01L3/00 , B41J29/393
CPC classification number: C12M33/00 , B01L3/5027 , B41J29/393
Abstract: 一种用于细胞打印的微流控芯片,其中的微流道包括在细胞悬浮液入口、培养液入口与液体出口之间的圆弧形的主流道,所述主流道在中间位置与压缩气体流道以及喷射出口连通,形成细胞捕捉区,在所述细胞捕捉区设置有用于捕捉细胞的钩状微挡流结构,所述钩状微挡流结构的凹陷侧迎向所述主流道的来流方向以及所述喷射出口,所述钩状微挡流结构与所述主流道的近端壁面的最大距离大于目标细胞直径且小于目标细胞直径的两倍,而最小距离小于目标细胞直径,所述钩状微挡流结构与所述主流道的远端壁面的最小距离大于目标细胞直径。
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公开(公告)号:CN104985266A
公开(公告)日:2015-10-21
申请号:CN201510400520.6
申请日:2015-07-09
Applicant: 清华大学深圳研究生院
CPC classification number: B23H9/06 , B23H3/04 , B23H3/10 , B23H9/04 , B23H11/003 , B23H2300/10
Abstract: 一种基于电化学微加工的纳米压印滚筒模具制备装置,包括:旋转轴,待加工滚筒模具装于所述旋转轴上;电极架和装于所述电极架上的微细加工电极,所述微细加工电极与所述待加工滚筒模具相对安置;用于安置电极架的移动台,所述移动台能够实现垂直和水平运动;在所述微细加工电极的加工区域喷射刻蚀液的喷头;在所述微细加工电极和所述待加工滚筒模具之间加载高频脉冲电信号的高频脉冲电源。一种纳米压印滚筒模具制备方法,使用所述的纳米压印滚筒模具制备装置。该装置结构简单,成本低,加工效率和加工精度高。
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公开(公告)号:CN101845646A
公开(公告)日:2010-09-29
申请号:CN200910080813.5
申请日:2009-03-23
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种具有单晶和多晶结构的金纳米线的制备方法,包括以下步骤:1)采用半导体工艺在硅片上形成的金或铂的金属电极对;2)将上述硅片放入电镀槽的电镀液中,并在金属电极对上通以交流电,进行金纳米线的电沉积;3)将硅片取出,清洗烘干,完成具有单晶和多晶结构的金纳米线的制备。本发明的方法无需模板、具有简单快速、经济地实现单晶和多晶结构的金纳米线的制备。所获得的单晶和多晶结构的金纳米线的直径在5~100nm,长径比大于200。
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公开(公告)号:CN119309727A
公开(公告)日:2025-01-14
申请号:CN202411447699.6
申请日:2024-10-16
Applicant: 清华大学深圳国际研究生院
IPC: G01L5/165 , G06F30/17 , G06F30/23 , G06F30/27 , G06N3/0499 , G06N3/084 , G06N3/006 , G06F119/14 , G06F111/04 , G06F111/06
Abstract: 一种电容式小型六维力传感器、优化设计方法及六维力解耦方法,该传感器包含三T型梁式弹性体、下电极板、上电极板和底座,三T型梁式弹性体将外界六维力转换为位移变化,上电极板与弹性体连接,上电极板与下电极板形成六组正对电极,包括三组水平和三组垂直布置的电极,构成六组平行平板电容结构。当传感器受到外力作用时,弹性体的形变带动上电极板产生位移,改变电容值,将力的信息转化为六个电容信号输出。该传感器设计紧凑、尺寸小,便于集成至机器人手指尖等狭小空间。基于电容测量原理,具有优异的动态响应性能,能快速响应外力变化。该传感器具有高灵敏度,各方向刚度一致,有效降低力的耦合效应,结合解耦算法实现高精度六维力解耦。
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公开(公告)号:CN114638966B
公开(公告)日:2024-11-05
申请号:CN202210297007.9
申请日:2022-03-24
Applicant: 清华大学深圳国际研究生院
IPC: G06V10/28 , G06V10/44 , G06V10/26 , G06V10/141 , G06V10/147
Abstract: 一种工件铣削加工状态的视觉识别方法,包括以下步骤:A:获取工件表面的灰度图像;B:基于所述灰度图像提取工件表面若干轮廓线;C:计算每条所述轮廓线的指标值Index_D;D:计算所有轮廓线的所述指标值的平均值Index_Dmean;若Index_Dmean小于预定阈值,则判定工件铣削加工状态为稳定,否则执行后续步骤;E:获取步骤A中的灰度图像的轮廓图像;F:将所述轮廓图像均匀分割为若干个子图像;G:计算每个所述子图像的指标值Index_E;H:计算所有子图像的所述指标值的平均值Index_Emean;若Index_Emean大于预定阈值,则判定工件铣削加工状态为受迫振动;否则判定为颤振。该方法具备低实现成本、操作简单、高识别准确度与识别效率、功能全等优点。
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公开(公告)号:CN109540961B
公开(公告)日:2024-10-29
申请号:CN201811311035.1
申请日:2018-11-06
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供了一种测量热学参数的方法、装置及热觉传感器,其中,该方法包括:获取热觉传感器与待测物体接触时的电压和电流,根据该电压和电流,确定热觉传感器与待测物体接触时的电阻;根据该电阻,以及预先标定得到的热觉传感器电阻与温度的关系,确定热觉传感器与待测物体接触面的实测温度;根据热觉传感器与待测物体接触时温度随时间变化的关系,以及热觉传感器与待测物体接触面的实测温度,得到待测物体的热学参数;所述温度随时间变化的关系通过一个传热模型求得。上述技术方案实现了定量测量被接触物体的热学参数。
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公开(公告)号:CN110044523B
公开(公告)日:2024-08-23
申请号:CN201910448528.8
申请日:2019-05-27
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 一种纹理识别压力传感器阵列及其制作方法,该传感器阵列包括压力敏感层、分别设置在压力敏感层两侧的两个电极层和包裹压力敏感层与电极层的聚合物弹性体,压力敏感层包括激光诱导多孔石墨烯薄膜,聚合物弹性体填充于激光诱导多孔石墨烯薄膜的孔隙内,激光诱导多孔石墨烯薄膜形成图形化阵列结构,压力敏感层一侧的电极层包括对应于图形化阵列结构设置的横向电极阵列,压力敏感层另一侧的电极层包括对应于图形化阵列结构设置的纵向电极阵列,横向电极阵列和纵向电极阵列电极在图形化阵列结构所在的压力敏感区交错分布。由此实现微尺寸、高密度、可检测压力大小和分布的压力传感器阵列,具有阵列化压力触觉感知能力和纹理识别功能。
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